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中华人民共和国国家标准 太阳能电池生产设备安装工程施工 及质量验收规范 GB 51206-2016 会 中国计划出版社出版发行 网址，www. jhpress. com 地址北京市西城区木樨地北里甲11号国宏大厦C座3层 邮政编码100038电话010 63906433 发行部〉 北京市科星印刷有限责任公司印刷 850mm X 1I68mm 1/ 32 2.5印张61千字 2017年5月第1版2017年5月第1次印刷 食 统一书号155182. 0052 定价15.00元 版权所有侵权必究 侵权举报电话01063906404 如有印装质量问题，请寄本社出版部调换 中华人民共和国住房和城乡建设部公告 第1346号 住房城乡建设部关于发布国家标准 太阳能电池生产设备安装工程 施工及质量验收规范的公告 现批准太阳能电池生产设备安装工程施工及质量验收规范 为国家标准，编号为GB51206-2016，自2017年7月1日起实 施。其中，第4. 1.7、4.6.145，6，7条款为强制性条文，必须严 格执行。 本规范由我部标准定额研究所组织中国计划出版社出版 发行。 中华人民共和国佳房和城乡建设部 2016年10月2S日 目。昌 本规范是根据住房城乡建设部关于印发2011年工程建 设标准规范制订、修订计划〉的通知建标201117号的要 求，由工业和信息化部电子工业标准化研究院电子工程标准定 额站、中国电子系统工程第四建设有限公司会同有关单位共同 编制完成。 本规范在编制过程中，编制组走访了国内有关太阳能电池生 产设备的研发和生产单位，收集了有关太阳能生产设备的搬运、运 输、安装、调试和工程验收要求，在总结国内实践经验、吸收近年来 的科研成果、借鉴国外符合我国国情的先进经验的基础上，广泛征 求了国内有关设计、生产、研究等单位的意见，最后经审查定稿。 本规范共分6章和4个附录，主要技术内容包括总则、术语 和缩略语、基本规定、安装工程施工、设备试运行、工程验收等。 本规范中以黑体字标志的条文为强制性条文，必须严格执行。 本规范由住房城乡建设部负责管理和对强制性条文的解释， 由工业和信息化部负责日常管理，由中国电子系统工程第四建设 有限公司负责具体技术内容的解释。本规范在执行过程中，如发 现需要修改和补充之处，请将意见和有关资料寄至中国电子系统 工程第四建设有限公司太阳能电池生产设备安装工程施工及质 量验收规范管理组地址北京市丰台区南四环西路188号;邮政 编码100070, zgbcefoc. cn ，以供今后修订时参考。 本规范主编单位、参编单位、主要起草人和主要审查人 主编单位工业和信息化部电子工业标准化研究院电子工 程标准定额站 中国电子系统工程第四建设有限公司 1 目次 l总则1 2 术语和缩略语 2 2.1 术语 .. 2 2. 2 缩略语4 3 基本规定 5 4 安装工程施工 6 4. 1 安装前设备材料的储存6 4. 2 施工准备 6 4.3 设备搬运 7 4.4 设备开箱 9 4. 5 设备安装10 4.. 6 二次配管配线 5 设备试运行门们 5. 1 设备试运行前的准备16 5. 2 设备试运行 17 6 工程验收门们 6. 1 一般规定门们 6.2 验收内容 18 6. 3 验收程序.. 21 6. 4 验收不合格的处置21 附录A硅基太阳能电池生产基本工艺流程23 附录B典型太阳能电池生产设备单机试运转及 验收要求24 附录C太阳能电池生产主要设备的安装和验收要求35 1 附录D验收表格 本规范用词说明 引用标准名录.. 附条文说明 2 Contents 1 General provisions 1 2 T erms and abbreviations 2 2. 1 Terms 2 2. 2 Abbreviations 4 3 General requirements 5 4 Construction 6 4. 1 Equipment material storage before tbe installation 6 4. 2 Construction preparation 6 4. 3 Equipment transport... 7 4.4 Equipment unpacking 9 4. 5 Equipment installation 10 4. 6 Hook-up 11 5 Equipment commissioning 16 5. 1 Prepare before commissioning 16 5.2 Equipment commissioning 17 6 Acceptance of works .. 18 6. 1 General requirements.. 18 6.2 Acceptance content 18 6. 3 Acceptance program.. 21 6. 4 Disposal of unqualified acceptance 21 Appendix A The basic process of silicon-based solarcell prod uction 23 Appendix B R equirements of stand-alone commissioning and acceptance for typical equipment of 3 solar cell production 24 Appendix C Requirements of installation and acceptance for major equipment of solar cell production 35 Appendix D Acceptance 37 Explanation of wording in this code 46 List of quoted standards 47 Addition Explanation of provisions 49 4 2 术语和缩略语 2.1术语 2.1.1 太阳能电池solarcell 是指将太阳光能直接转换成电能的器件。 2.1.2 单晶硅太阳能电池monocrystalline silicon solar cell 是以单晶硅为基体材料的太阳能电池。 2.1.3 多晶硅太阳能电池polycrystalline silicon solar cell 是以多晶硅为基体材料的太阳能电池。 2.1.4 非晶硅太阳能电池amorphous silicon solar cell 用非晶硅材料及其合金为基体制造的太阳能电池，亦称无定 形硅太阳能电池，简称a-sl太阳能电池。 2.1. 5 非晶硅薄膜电池amorphous silicon thin film solar cell 以玻璃、不锈钢板、陶资板等为基板，以非晶硅化合物薄膜为 基体材料的太阳能 电池。 2.1.6 化学气相沉积chemical vapor depositionCVD 本规范系指在常压下，化合物分解沉积为薄膜的制作薄膜太 阳能电池的工艺。 2.1.7 低压化学气相沉淀low pr巳ssur巳chemicalvapor deposition LPCVD 本规范系指采用在低压时，气相化合物分解沉积成薄膜的制 作薄膜太阳能电池的工艺。 2.1.8 等离子体化学气相沉积plasma chemical vapor deposition PCVD 本规范系指将气相化合物等离子体分解沉积成薄膜的制作薄 膜太阳能电池的工艺。 2.1. 9 等离子体增强型化学气相沉积 chemical vapor depositionCPECVD plasma enhanced 本规范系指利用等离子体特性来控制或影响气相反应和材料 表面的化学反应过程，并在规定的温度最高至900.C下沉积薄 膜的工艺。 2.1. 10 聚乙烯醇缩丁醒polyvinyl butyral PVB 由聚乙烯醇缩丁醒树脂经增塑剂塑化挤压成型的高分子半透 明的薄膜材料。对无机玻璃有很好的黠结力。 2.1.11 载板carn er 在太阳能电池的工艺设备中，用于传输硅片、承载硅片的运输 载体。 2.1.12 质量流量控制器mass flow controller MFC 用于对气体的质量流量进行精密测量和控制的仪器。 2.1.13 晶体硅太阳能电池生产设备crystalline silicon solar cell production equipment 用来生产硅太阳能电池的工艺设备，包括槽式制绒清洗机、在 线式制绒机、扩散炉设备、PECVD设备、丝网印刷机、烧结炉等 设备。 2.1.14 二次配管配线hook-up 生产厂房中一次管线系统至生产设备接口之间的连接管线。 2.1.15 大宗气体bulk gas 对电子工厂中使用的氮气、氢气、氧气、氧气的统称。 2.1.16 特种气体special ty gas 电子行业生产的掺杂、外延、离子注入、刻蚀等工艺中使用的 具有自燃性、可燃性、毒性、腐蚀性、氧化性、惰性等特殊的气体。 2.1.17 制绒texturing 在单晶硅片表面通过一定的加工手段得到一定形状的绒面结 构的工艺，以增加光线在电池表面的反射折射次数，降低表面反 射率。 3 2. 1.18 丝网印刷electrodes printing 利用感光材料通过照相制版印刷制作电池正负极的工艺。 2.2缩略语 PVCCPolyvinyl chloride 聚氯乙烯 CLPVCCClean polyvinyl chloride 洁净聚氯乙烯 PF A Polytetrafluoro ethylene 四氟乙烯共聚物 PPCPolyprolene 聚丙烯 PVDFCPolyvinylidene fluoride 聚偏氟乙烯 VMBCValve manifold box 阀门分配箱 EPCElectro polished 电抛光 BA C Bright annealed 光亮退火 APCAnnealed and pickled 酸洗钝化 4 4 安装工程施工 4. 1 安装前设备材料的储存 4.1.1 生产设备宜放置于仓库中储存，储存环境应满足设备存放 要求，并应便于搬运。 4.1.2 临时存放在室外的生产设备应做好防潮、防雨、防冻措施。 4.1.3 有特殊存放要求的生产设备，应按产品说明书的要求进行 储存。 4.1.4 设备储存应有专人管理、建立岗位责任制。 4.1. 5 进场的生产设备应及时登记，建立台账。生产设备应标明 设备的名称、规格型号、人库日期等信息。 4.1. 6 现场材料保管应有专人负责。现场材料存放环境应防火、 防雨、防潮。 4.1.7 对于易燃、易爆、有毒、有害危险化学品，应按属性分别设 专门库房存放，专门库房应符合下列规定 1 库房地面材质应防渗漏，并应设置围堪或事故收集装置， 易燃、易爆晶库房地面应采用不发火处理; 2 库房应保持通凤，并应设置事故排凤装置; 3 易燃、易爆晶库房应设置泄爆墙。 4.2施工准备 4.2.1 施工前，应按本规范附录C的要求制定具体的施工方案， 并应提交监理或建设单位批准。 4.2.2 施工前，应制定洁净室管理制度，并应提交监理或建设单 位备案。 4.2.3 进入现场的运输机械应质量可靠、状况良好，特种设备应 履行报检程序。 4.2.4 安装工程施工单位应按质量保证书或产品合格证对材料 进行验收，并应做好记录，办理验收手续;需要复检的材料应有取 样送检证明报告，对质量不合格的材料不得在施工中使用。 4.2.5 进入洁净室的设备、材料应进行清洁处理，外表面不得有 油污、积尘。 4.2.6 施工前厂房应符合下列规定 1 厂房应通水、通电，具备动力供应条件; 2 洁净室的净化空调系统应呈空态，并应调试完毕、运行正 常、达到所需洁净条件; 3 厂房内公用系统应调试完毕，正常运行; 4 消防系统应正常运行。 4.2.7 设备搬运应规划好搬运路线图，并应标注清楚路障、限高 等注意事项。 4.3设备搬运 4.3.1 设备搬运前应对设备进行检查和确认，检查后应做好设备 出库记录。 4.3.2 在室外搬运设备时，道路应平坦、畅通;在整个搬运过程 中，设备应平稳行进，不得有冲击现象。 4.3.3 设备搬运方法应根据设备厂家提供的说明和要求选择，并 应符合现行行业标准工程建设安装工程起重施工规范HG20201 的有关规定。 4.3.4 起吊旋转过程中，起重臂、钢丝绳或设备与架空线缆安全 距离应大于1.5mo 4.3.5 起吊有内包装的设备，应符合下列规定 1 起吊使用的吊索应根据设备重量选用; 2 吊索捆绑位置应避开仪表及结构脆弱部位，并应防止设备 倾斜跌落; 7 3 设备起吊高度宜能顺利拆除外包装底盘; 4 起吊时应控制提升和下降速度，不得产生冲击、碰撞现象; 5 用液压搬运车载运设备时，设备放置应平稳、平衡。 4.3.6 用叉车或汽车搬运设备时，全过程应平稳，不得载货急转， 不得突然启动或停车;叉车应完全停止升降后再缓慢行进，设备距 路面高度应不触及路面障碍。 4.3.7 于动液压车搬运设备时，应符合下列规定 1 应根据设备的重量选用液压车; 2 液压车起步、停车应缓慢，行车速度应均匀，不得产生使设 备倾斜的振动，两侧应有搬运人员全程扶持; 3 货物放置应牢靠、稳固; 4 不得超过规定的高度和宽度; 5 搬运时应当注意成品保护，尤其是地面和墙面，环氧 PVC地面应当铺塑料薄膜和不锈钢板，经过伸缩缝的地方应铺 厚不锈钢板; 6 搬运工具的轮子宜为软胶轮。 4.3.8 当搬运重大、精密设备时，宜采用平稳、可靠且省力的气垫 搬运装置。搬运时操作人员应控制其行进速度，在起步、行进及停 止时不得产生冲击振动现象。 4. 3.9 对于有恒温恒湿要求的精密设备，应使用气垫搬运法及时 搬入洁净室区。 4. 3.10 对于有防微振要求的设备，直采用气垫搬运法进行搬运。 4.3.11 设备从搬入平台经过搬入口、气闸室至洁净室区安装 就位的过程，所经路线的墙壁、墙角、门框、地面应做好保护，保护 的材料不应发尘、积尘。当搬运路线上地面承载能力不足时，应做 好加固工作，加固材料应符合洁净室内的使用要求;当需拆除门框 或墙板时，拆除后应做好保护并应及时恢复。 4. 3. 12 当在活动地板上吊装设备时，宜采用龙门架、于动葫芦等 起重装置，龙门架支脚应设置荷重分散板，并应核对活动地板的承 载能力，当不能满足起吊荷载时应进行加固，井应编制吊装技术 方案。 4.3.13 洁净室室内外设备搬运人员不应交叉作业，在洁净室里 面设立缓冲区，缓冲区地面应用不锈钢板保护，设备的反光保护膜 包装可在洁净室外拆除，但保护膜应在缓冲区或者洁净室内拆除。 4.4设备开箱 4.4.1 设备开箱时，建设单位、设备供应商、监理单位、施工单位 均应参加，并由采购方负责。开箱检查应包括下列内容 1 箱号、装箱清单; 2 设备的名称、规格型号; 3 设备的技术文件; 4 设备的随机附件、专有工具。 4.4.2 设备开箱前应检查包装箱外观是否完好，有无破损、漫水 现象。 4. 4.3 有防震贴、防倾贴等运输智能标贴的包装箱，开箱前标贴 显示应正常。 4.4.4 设备箱体不得倒置;有防震、防倾斜要求的，应采取避免倾 斜的措施。 4.4.5 设备开箱宜在卸货平台进行，不得在运输工具上开箱。 4.4.6 设备开箱宜按照从顶板开始，再拆除四面箱板，保留设备 箱底的顺序。 4.4.7 设备零部件开箱宜按照先拆除箱盖，进行零部件清点，然 后将零部件放回箱内保存的顺序。 4.4.8 设备零部件堆放应按照安装先后顺序，先安装的放在外面 或上面，后安装的放在里面或下面。 4.4.9 设备开箱应采用专用开箱工具。 4.4.10 设备的外亮不应有碰伤、变形、机械损坏、油漆剥落、锈蚀 等现象。 9 4基础上平面应与活动地板的地坪面平齐，允许误差为 O3mm。 4.5.5 设备找正、调平的水平度或垂直度应符合设备技术文件的 要求;设备找正调平的基准面、基准线或基准点确定后，设备找正、 调平应在选定的测量位置上进行测量，复查、检验时不得改变原测 量的基准位置。 4.5.6 设备的安装、组装应符合下列规定 1 设备安装应牢固、可靠; 2 设备试运行中不得出现紧固件松动或磨损; 3 设备试运行中不得出现部件或零件的脱离; 4 合理选择紧固件，所用紧固件的种类应减少; 5 选用的紧固件应符合国家标准和设计文件、设备说明书的 要求，并采用抗腐蚀处理; 6 沉头螺钉安装后不允许突出被连接件表面。 4.5.7 在独立基础上或自流坪地面上安装需要固定的设备时，宜 采用化学锚栓或二次灌浆固定。 4.5.8 在基础或地板上开孔时，应用吸尘设备吸尽孔内的尘埃。 4.5.9 当设备需跨越壁板安装时，应符合下列规定 1 应根据设备安装所需的位置在壁板上开洞; 2 开洞作业不得划伤、污染需保留的壁板表面或对洁净环境 造成污染; 3 设备安装后，四周间隙应采用微孔泡沫带密封，其材质和 色泽应与该厂房内装修格调一致。 4.5.10 设备的接地系统安装应牢固、可靠。 4.5.11 设备安装时，应保护设备本体自带仪表、接口短管，并应 避免碰撞、损伤。 4.6 二次配管配线 4.6.1 二次配管配线应包括下列管线安装 11 1 各种给水、排水系统的一次管道阀门至设备接口之间的 配管; 2各种气体动力系统的一次管道阀门至设备接口之间的 配管; 3 各种工艺排风、排气系统的一次管道阀门至设备接口之间 的配管; 4 生产动力终端工艺母线或配电盘至设备接口之间的配管 配线。 4.6.2 设备二次配管配线作业应在设备安装完成后进行，并应与 设备供应商复核设备的接口位置、种类、数量、尺寸、型式等信息。 4.6.3 二次配管配线的材料宜与一次配管配线的材质一致，并应 符合下列规定 1 工艺冷却水应根据工艺设备水质要求选用，直采用不锈钢 管或PVC管，管配件及阀门宜采用与管道相同的材质; 2 管线与设备的连接方式应便于拆卸更换，对于易产生振动 的设备应采用柔性连接等减少振动影响的连接方式; 3 工艺冷却水系统的温度计、压力表宜采用不锈钢材质; 4压缩空气和氮气系统根据工艺生产线品质要求宜选用 SUS304 BA或SUS316LBA管道，间门宜选用球间;其余大宗气 体系统和特种气体系统宜采用SUS316LEP管道，阀门口径小于 等于1/2“时应采用SUS316LEP隔膜间，阅门口径大于1/2“时应 采用波纹管截止阅;特种气体系统当采用双套管时，内管宜采用 SUS 316L EP管道，外管宜采用SUS304AP外抛管; 5 氧气管道、管件、垫片及其他附件都应脱脂，阅门、仪表应 在制造厂已脱脂完毕; 6 化学药液输送宜采用双层管或PP管;双层管内管宜为 PFA管，外管宜采用透明PVC管;阅门宜采用与管道材质相同的 耐腐蚀隔膜阅和阅门箱设置方式，不宜直接设置阅门于管道上; 7 有机排风管宜采用SUS304不锈钢材料，使用氧弧焊 12 连接; 8 酸碱排风管宜采用PVC、PP等防腐蚀材料焊接或熔接; 9 对耐蚀性、耐热性、强度有特殊要求的，宜采用不锈钢内衬 特氟龙管道; 10 热排风介质温度大于55.C时，应对管路设置绝热层，绝 热材料不得采用易破碎、掉渣和对人体有剌激作用的材质;阀门应 采用与排风管相同的材质; 11 纯水管路材质宜采用PVDF、PP、PFA、CLPVC; 12 温度大于80.C的酸碱排水不宜采用PVC、PP管道接管， 可采用化工PVC;采用PP管时不得直接排放; 13 含有高浓度氢氟酸、硝酸的排水管道，宜采用双层管道， 内管宜为PVDF管或PP管，外管宜采用透明PVC管; 14 洁净室内的电气配管宜采用外表面光滑的金属管，与设 备连接采用的穿线软管应为不燃材料; 15 特种气体、大宗气体、纯水和化学品系统的二次配管配 线安装工程应符合现行国家标准特种气体系统工程技术规范 GB 50646、大宗气体纯化及输送系统工程技术规范GB50724、 电子工业纯水系统设计规范GB50685和电子工业化学品系统 工程技术规范GB50781的有关规定。 4.6.4 二次配管配线施工时，应根据现场实际情况进行空间整合 优化设计，使管线排列整齐、美观，走向合理，维修方便，不得在操 作面布设管线。 4.6.5 当在活动地板上开孔时，应符合现行国家标准微电子生 产设备安装工程施工及验收规范GB50467的有关规定。 4.6.6 洁净室内的二次配管配线安装需开洞时，不得影响承重结 构，且开洞时不得对洁净室造成污染。 4.6.7 二次配管应采用专用设备对管道进行平口、切割、焊接 作业。 4.6.8 洁净室内不宜进行电焊作业，特殊情况应采取有效的防护 13 措施;在保证及时防护、及时清理，不污染洁净室的情况下，直优先 使用氧弧焊进行焊接作业;输送大宗气体、非腐蚀性溶剂的不锈钢 管，当采用焊接连接时，应采用鸽极氢弧焊机施焊，且其保护气体 的纯度不应低于管网本底气体的纯度。 4.6.9 不锈钢管焊接质量应符合下列规定 1 两管端应垂直于管中心轴线，端面应平整光滑、元毛刺; 2 对口不得有间隙，直径小于或等于2英寸的不锈钢管，错 边量不得大于管壁厚度的10;直径大于2英寸的不锈钢管，错 边量不得大于管壁厚度的15; 3 焊接应为自熔全焊透焊缝，管内外焊缝平整光滑，焊波整 齐美观。焊缝的凹凸不平度不得大于管壁厚度的10; 4 焊缝应焊趾整齐，焊缝宽度应一致，其误差不得大于 0.2mm，管内焊缝表面宽度直为外缝表面宽度的60; 5 管内、外焊缝表面不得有气孔、裂纹等缺陷，管内焊缝及热 影响区不应有氧化变色。 4.6.10 PVC管粘接应符合下列规定 1 应选用管材生产厂家配套的专用胶水和清洁剂;胶水与管 材应相匹配，与使用说明一致; 2 室外温度低于5 0C 时，胶水应保存在室内; 3 粘接后管路两端应开放通风; 4 管路粘接后，胶水固化时间应符合说明书要求，达到设计 强度方可进行通水试压。 4.6.11 高纯介质二次配管时，管道预制作业应在专门防尘、防静 电的洁净小室内进行，加工件经洁净处理后密封搬入洁净厂房内 进行安装，洁净小室的空气洁净度等级宜采用8级。 4.6.12 二次配管支、吊架安装应牢固可靠，并应符合下列规定 1 二次配管支、吊架宜采用碳钢镀辞或不锈钢材料，切割断 面应做防腐处理; 2 管卡应与管道直径相匹配; 14 3 不锈钢管与碳钢支架、管卡之间应分别设置隔离垫和隔离 套管，隔离垫宜采用软质聚四氟乙烯板，套管宜采用聚乙烯软管。 4.6.13 二次配管标识应与一次配管配线标识一致。 4.6.14 二次配管进行压力试验时，应符合下列规定 1 试验介质应采用高纯氮气或高纯氧气，其纯度不得低于管 道工作介质纯度; 2 不得采用水压试验; 3 待试管道与生产设备无关系统应采用盲板或采取其他措 施隔开，待试管道上的安全阅、爆破板及仪表元件应拆下或隔离; 4 试验用压力表宜采用专用管道压力测试记录仪，当采用普 通压力表时，其精度不应低于1.5级; 5 介质为氢气、酸碱药液等具有危险性、腐蚀性的二次配管 安装完成后必须进行压力试验; 6 压力试验应分为强度试验和气密性试验;强度试验应采用 设计压力的1.15倍，保压30min无损坏、无泄漏为合格;气密性试 验应采用设计压力的1.05倍，保压24h无压降、无泄漏为合格; 7 二次配管压力试验开始时应测量试验温度，试验温度严禁 选择材料脆性转变的温度。 4.6.15 二次配管安装完成后，宜做泄漏试验。 4.6.16 二次配管试验完成后，应填写设备配管检验批质量验收 记录。 4.6.17 当设计文件规定以氨气进行泄漏性试验时，应符合现行 国家标准无损检测氮泄漏检测方法GB/T15823的有关规定。 4.6.18 二次配管压力试验完成后，应脱开设备进行吹扫。吹扫 气体的纯度不应低于管网输送介质的纯度。 . 15 . 5 设备试运行 5. 1 设备试运行前的准备 5.1.1 设备试运行前应符合下列规定 1 设备应安装完毕，自检合格; 2 设备所需各种气体动力配管配线应与设备接通，各种介质 的各项参数应符合设备使用要求; 3 给水、排水、排气、排风管路应与设备接通; 4 电气线路应相位正确，接线端子连接牢固、可靠，器件应接 线正确，元短路、断路现象; 5 电气装置应接地正确，连接牢固、可靠，接地电阻应符合设 备要求; 6 房间洁净度、温湿度、照度、静电防护指标应测试合格; 7 室内各项安全设施和消防设施应满足使用要求。 5.1. 2 设备安全性测试应符合下列规定 1 当绝缘电阻测试时，应将绝缘电阻测试仪的正极端接至设 备相线端，负极端接至设备机壳，电源输入端与机壳之间应施加 500V直流电压，稳定10s后测试的绝缘电阻应大于lMD.; 2 当耐压测试时，应将耐压测试仪的高压端接至设备相线 端，接地端接至设备机壳进行耐压测试，设备抗电强度应符合现行 国家标准测量控制和试验室用电器设备的安全要求第一部分 通用要求GB4793. 1的有关规定; 3 当泄漏电流测试开路电压超过规定的安全限值时，应采用 串接一个500D.电阻的电流表与设备接地端子串联测量设备的泄 漏电流，测试值不应大于5mA。 5.1.3 对于有噪声限制的设备，应进行噪声测试。噪声测试应采 用声级计在设备水平面四个方向上，应在离地高度1.2m.距离设 备1m处进行测量。在人员操作位置应以每天暴露时间8h计，其 等效连续A声级噪声不应大于85dB。 5.2 设备试运行 5.2.1 外接电源及接地应按设备电路图接好，检查确认无误后接 通总电源。 5.2.2 在开机状态下，用钳形电流表测量设备电压、电流和功率， 用相序表测量相序，应满足设备使用的要求。 5.2.3 设备调试应按产品说明书或技术文件中规定的调试项目 和步骤进行，并应按本规范附录D中表D.o. 5的要求记录。 5.2.4 设备调试合格后，应连续通电无故障工作24h.并应按本 规范附录D表中D.0.6的要求记录。 5.2. 5 设备连续工作前后应进行主要性能指标测试，测试结果应 符合产品规范的要求。 17 6工程验收 6.1一般规定 6.1. 1 太阳能电池生产设备二次配管配线工程完成后，应对各系 统进行自验，合格后方可进行验收。 6.1. 2 设备安装施工单位应向建设单位提交工程质量验收记录， 验收记录应按本规范附录D的有关要求填写。 6.2验收内容 6.2. 1 太阳能电池生产设备安装工程交接验收应由建设单位组 织安装工程施工单位、设计单位组成验收组，并应在接到安装工程 施工单位提交的验收报告后进行，验收报告应符合本规范附录D 的有关要求。 6.2.2 验收应在设备找正、调平后进行设备安装交接验收，设备 配管配线完成后应进行配管配线交接验收。 6.2. 3 工程验收时，太阳能电池生产设备安装工程施工单位提交 文件应包括下列内容 1 设备安装工程施工合同; 2 主要材料合格证或质量保证书; 3 设备开箱检查记录; 4 设备安装检验批质量记录及分项工程质量验收记录; 5 设备配管配线检验批质量记录及分项工程质量验收记录; 6 管道焊接检验记录; 7 设备二次配管压力试验、冲吹洗记录; 8 竣工图及设计变更文件; 9 工程质量事故处理记录; 10 设备随机技术文件; 11 隐蔽工程验收记录。 6.2.4 太阳能电池生产设备安装工程质量主要控制项目应符合 下列规定 1 设备安装的平面坐标位置应符合设计要求。 检验方法对照图纸用钢卷尺检查。 2 垫板安装位置应准确、接触应紧密、无松动现象。 检验方法目测和用小挪头轻击垫板检查。 3 防位移、倾倒的压板设置方向应正确、紧固牢靠。 检验方法对照设备安装使用说明书目测和用小挪头轻击压 板检查。 4 特殊基础上平面水平度、安装水平度应符合设计和技术文 件的要求，调整水平度的螺脚均应与垫板紧密接触。 检验方法用水平尺和塞尺测量基础上平面不平度;用水平仪 测量基础水平度，抽拉垫板检查接触紧密度。 5 设备安装的水平度、垂直度应符合设备安装使用说明书的 要求。 检验方法用水平仪测量。 6 二次配管的管材、管件、阀门应符合设计要求，并应有产品 合格证和产品质量证明书。 检验方法查看设计图纸、产品合格证和产品质量证明书。 7 管线布置和走向应符合设计要求。 检验方法对照图纸检查。 8 管道的对接焊缝处及曲管处不得焊接支管;焊缝距起弯 点、支吊架边缘应大于50mm。 检验方法目测或用钢卷尺测量。 9 管道支吊架间距应符合设计或要求。 检验方法观察或用钢卷尺测量。 10 二次配管压力试验应按本规范第4.6. 14条的有关要求。 19 1型号、规格应符合设计要求; 2进出口方向应正确; 3于轮朝向应合理。 检验方法对照图纸检查型号、规格，观察检查安装的正确性。 6.2.6 验收组应对工程质量进行评价，提出验收结论。参加验收 单位代表应在验收记录表上签字认可，验收记录表应按本规范附 录D中表D.O. 8的要求。 6.3验收程序 6.3.1 太阳能电池生产设备安装工程竣工验收应由建设单位组 织安装工程施工单位、设备供应商、设计单位组成验收组，根据施 工合同、设计文件及设备技术文件进行竣工验收。 6.3.2 设备安装工程竣工验收时设备调试单位应提供每台设备 的单机试运转记录。若设备安装与单机调试非同一单位时，设备 安装单位应予以协助。 6.3.3 验收组应对太阳能电池生产设备安装工程的所有工程内 容进行全面审核、检查，检查时应做好记录，各项指标应符合设计 要求。 6.3.4 验收组应对工程质量进行评价，提出验收结论和验收报 告，并应按本规范附录D中表D.O. 9的要求。参加验收单位代表 应在验收报告上签字确认。 6.3.5 太阳能电池生产设备安装工程验收合格，可进行试生产。 6.4 验收不合格的处置 6.4.1 当太阳能电池生产设备安装工程、设备二次配管配线安装 工程不符合规定的质量要求时，处理应符合下列规定 1 经返工后的设备安装检验批、二次配管配线检验批应重新 进行验收。 2 经返修后的分项工程仍能满足安全和使用性能要求，可按 21 技术处理方案和协商文件进行验收。 6.4.2 经过返修仍不能满足安全使用和性能要求的分项工程，不 得验收通过。 22 附录A硅基太阳能电池生产基本工艺流程 A.O.l 晶硅太阳能电池生产可按下列工艺流程设置。 硅片检查消洗制绒 || 扩散制结 减反射膜制备|| 去磷硅玻璃|| 刻蚀 电极制备 |一| 测试 || 包装 图A.0.1 硅太阳能电池工艺流程 A. O. 2 非晶硅薄膜电池生产可按下列工艺流程设置。 玻璃清洗 l| 激光刻蚀 || 镀膜 激光刻蚀|| 电极制备 || 激光刻蚀 封装 |一| 测试 |一| 包装 图A.O. 2 非晶硅薄膜电池生产工艺流程 23 附录B典型太阳能电池生产设备单机 试运转及验收要求 8.1 在线式表面制绒机 8.1.1 设备运转前应检查下列项目，并应在符合要求后进行单 机试运转 1 环境洁净度等级直为7级，温度应为22.5.C l2. 5.C，相 对温度应为4070; 2 湿度传感器、室内温度传感器、风压传感器、空气传感器应 避开气体放空口及出风口处; 3 接地电阻不应大于10; 4 不间断三相交流电源电压应为380V士10，频率应 为50Hz; 5 冷却水压力应为O.3肌1PaO.4MPa，循环流量应为6m 3 /h 7. 5m3/h; 6 纯水电阻率不应小于18MO cm，压力应为O.3MPa 0.4MPa，流量应为1.7m3/h; 7 压缩空气压力应为O.讪1PaO.仙1Pa，流量应为1.3m3/ min; 8 排风风量不应小于5400m 3 /h。 8.1. 2 验收项目应符合下列规定 1 设备的温度传感器、压力传感器、液体流量计工作应显示 正常; 2 传动滚轮运转应平稳; 3 所有工艺槽温度应可调，温度允许偏差为ll“C; 4 设备破片率应小于0.2; 5 药液注入量应可调，体积允许偏差为士1。 8.2 槽式扩散前清洗设备 8.2.1 试运转前应检查下列项目，并应在符合要求后进行单机 试运行 1 环境洁净度等级应为6级，温度应为22.5.C l2. 5C，相 对湿度应为4070; 2 湿度传感器、室内温度传感器、风压传感器、空气传感器应 避开气体放空口及出风口处; 3 接地电阻不应大于10; 4不间断三相交流电源电压应为3 80Vl10，频率应为 50Hz，功率应为10kW; 5 去离子水压力应为O.2MPa0. 3MPa，流量应为60L/rninj 6 压缩空气压力应为0.5MPa0.6MPa，流量应为60L/min; 7 氮气压力应为O.5MPa0. 6MPa，流量应为80L/min; 8 排风量应为4000m 3 /h。 8.2.2 验收项目应符合下列规定 1 各工艺槽注药液时间、比例应符合工艺要求; 2 各工艺槽排放时间应符合工艺要求; 3 机械
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