冶金法制备太阳能硅过程的湿法除硼研究.pdf

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第 3 8卷 第 1 1 期 2 0 1 0年 1 1月 化学工程 C H E MI C A L E N G I N E E R I N G C H I N A Vo 1 . 38 No. 1 1 NO V.2 0l 0 冶金法制备太 阳能硅过程 的湿法 除硼研究 汤培平,陈云霞,徐敏 ,朱丽,刘宏宇,王文宾 厦门大学 化学化工学院,福建 厦门3 6 1 0 0 5 摘要 湿法提纯作为冶金法路线制备太阳能级硅前处理工序, 可去除大部分铁铝等碱金属及硼杂质 , 提高最终产品 收率。实验考察了湿法除硼过程主要工艺因素 浸出剂浓度、 温度 、 时间、 搅拌等对产品纯度的影响, 采用S E M对产 品进行表征。当工艺条件为 c H N O 6 . 5 m o l / L , c H S O 6 m o l / L , 温度 1 2 0℃、 时间4 h , 处理后产品中杂质 质量分数为3 . 5 7 41 0 ~, 湿法过程单元的去除率为4 4 . 5 8 %。实验结果为高等级太阳能级硅制备工业化开发大幅 度降低成本提供了技术基础。 关键 词 太阳能硅 ;冶金级硅 ; 湿法冶金 ; 除硼 中图分类号 T F 1 1 1 . 3 文献标识码 A 文章编号 1 0 0 5 - 9 9 5 4 2 0 1 0 1 1 -0 0 6 8 - 0 4 Hy d r o m e t a l l u r g i c a l p u r i fic a t i o n b o r o n p r o c e s s f o r p r e p a r i n g s o l a r - g r a d e s i l i c o n wi t h me t a l l u r g i c a l r o u t e T AN G P e i - p j n g , C HE N Y u n - x i a, X U Mi n, Z HU L i , L I U Ho n g - y u, WA NG We n b i n C o H e g e o f C h e m i s t r y a n d C h e m i c a l E n g i n e e r i n g , X i a me n U n i v e r s i t y , X i a m e n 3 6 1 0 0 5 , F u j i a n P r o v i n c e , C h i n a A b s t r a c t A s a p r e - t r e a t m e n t p r o c e s s f o r p r e p a ri n g s o l a r g r a d e s i l i c o n S G S i ,t h e h y d r o m e t a l l u r g i c a l r o u t e c a n r e mo v e n o t o n l y mo s t o f a l k a l i me t a l l i k e i r o n a n d a l u mi n u m b u t a l s o b o r o n i mp u ri t y i n me t a l l u r g i c al- g r a d e s i l i c o n MG S i t o r a i s e t h e fi n a l p r o d u c t y i e l d .T h e f a c t o r s s u c h a s t h e c o n c e n t r a t i o n o f l e a c h i n g a g e n t ,t e m p e r a t u r e , t i me a n d s t i r r i n g we r e r e s e a r c h e d i n t h e p r o c e s s o f r e mo v i n g bo r o n,a n d t h e s a mp l e s we r e c h a r a c t e riz e d b y I CP, S E M, e t c . T h e r e s u l t s h o w s t h a t w h e n M G S i p o w d e r i s l e a c h e d a t a p p r o p ri a t e c o n d i t i o n s o f c H N O 3 6 . 5 m o L / L , C H2 S O 4 6 m o l / L , r e a c t i o n t e m p e r a t u r e 1 2 0℃ , r e a c t i o n t i m e 4 h , t h e fi n a l b o r o n i m p u ri t i e s ma s s f r a c t i o n a f t e r t r e a t me n t c a n b e r e d u c e d t o 3. 5 7 4 1 0~ .a n d t h e r e mo v a l r a t e o f b o r o n i mp u rit y i n MG. S i p o wd e r i s 4 4. 58 % . T h e e x p e fime n t r e s u l t s p r o v i d e t h e t e c h n i c al r e f e r e n c e for r e du c i n g t h e c o s t o f i n d us t ria l i z e d d e v e l o p me n t o f S G S i p r e p a r a t i o n. Ke y wo r d s s o l a r - g r a d e s i l i c o n;me t a l l u r g i c a l gra d e s i l i c o n;h y d r o me t a l l u r g y;b o r o n r e mo v al 多晶硅 是制 备单 晶 硅和 太 阳能 电池 的原 材 料 , 是全球 电子工业及 光伏产业 的基 石 。导致 多晶硅光 电转化性能恶化 的杂质主要 是过渡区金 属杂质和一些非金属杂质。根据 E 拉尔森等 研究 , 太 阳能级 硅 中硼 、 磷 、 铁、 钙 、 钛 、 铝 、 碳 和钠 等杂质 的总质量分数应 低于 l O一, 硅 的质量分数 至少为 9 9 . 9 9 9 9 %。不同杂质在体系 中分凝 系数 不同 , 定向凝 固精炼等冶金法很难除去杂质硼 , 太 阳能级多晶硅 中硼杂质 质量分数在相 当程度上影 响了产品价格 。因此 , 世界各 国都竞 相开发 低成 本、 低能耗的除硼工艺与技术 。 目前除硼 的方法 主要有定 向凝 固精炼和真空 精炼 处理 、 气吹纯化 、 等 离子体精炼 、 湿法 冶金 技术等 。由于硼的分凝系数约等于 1 , 工况下其 蒸气压接近 于硅元素 , 单级火 法冶金过 程的 除硼 效果很难达到 高级别太 阳能硅 的要 求 ; 气吹纯 化或等离子体工艺除硼效果好 , 但设备 昂贵、 易损 耗 , 气 、 电用量大 , 收率 低 , 成本高 。湿法冶金技 术过程可在常温下操作, 具有成本低廉、 设备简 单 , 处理量大 , 生产周期短的优 点 』 。 目前有采用 湿法冶金技术串接定 向凝 固等火法冶金技术 以去 除冶金级 硅 中硼研究 的文献 报道。Y O S H [ I K A WA 等 用工业硅 和 A l 融合 成 S i A 1 合金 , 再通过 定 向凝固和酸浸去 除硼 。吴展平等“ 用热的强酸再 作者简介 汤培平 1 9 5 6 一 , 男 , 教授 , 从事化工过程开发与设计研究 , 电话 1 3 6 1 6 0 2 3 6 8 5 , E - m a i l P P t a n g x mu . e d u . C I I 。 汤培平等冶金法制备太阳能硅过程 的湿法 除硼研究 6 9 经熔炼处理去除冶金级硅 中的硼。庞爱锁等 用 高温氧化提纯和酸浸 2步使硼 的质量分数 降低到 41 0 ~。文献报道 的深 度除 硼过程 基本 采用 酸 浸 2步法或与火法 冶金结合 等方式 。本实验通过 对时间、 温度 、 酸浸 出剂及浓度 、 搅 拌等 因素进行 综合优化 , 通过 一步酸浸 预提纯工 艺就可 大幅度 降低冶金级硅中的硼元素质量分数 降低到 3 . 5 7 4 1 0 , 极大地降低 了过程成本 。 1 实验 1 . 1 分析仪器和试剂 聚四氟 乙烯带压容器 , D F . 1 0 1 S集热式恒温加 热磁 力搅 拌 器 , S N B I I I A循 环 水 式 多用 真 空 泵 , Y P 2 0 2 N电子天平 , D N G . 9 0 7 0 A型电热恒温鼓风干 燥箱 , 德国里奥 L E O . 1 5 3 0场发射扫描电子显微镜 , 美国 T h e r mo F i s h e r S c i e n t i f i c公司的 电感耦合等离 子光谱仪 I C P - A E S 6 3 0 0 。 硅粉粒径 7 5 m, 杂质 W B6 . 4 4 91 0一, H N O 、 H S O 等其他原料 , 均为 A R。去离子水 电导 率小于 1 . 0 p S / c m。 其中, 原料硅粉由碳热还原工艺经磨碎获得。浸 出是液一 固间反应过程, 在其他条件相同的情况下, 浸出 速度与液固接触表面成正 比, 因此, 颗粒越小 , 硅粉经 纯化后的杂质去除率越高。当硅粉磨至接近 或略低 于 平均多晶硅结构的晶粒直径 粒径约 1 0 0 , 可 以使杂质充分地暴露在硅粉颗粒表面, 酸浸的效果高。 但矿块不宜过分磨细 , 否则将影响后续过滤等单元的 正常操作, 降低收率 J 。综合考虑粉碎成本 、 纯化效果 和原料收率, 本研究采用的硅粉粒径为 7 5 m。 1 . 2 实 验方法 HN O 3 、 H S O 和去离子水配制浸 出剂 5 0 g , 与 硅粉按一定液固质量 比混合 , 在一定温度 、 时间、 搅 拌条件下 , 在高压密闭容器中进行浸出反应 , 反应完 成后用真空泵抽滤、 洗涤, 洗净后硅粉于 6 0℃下恒 温烘干 , 用 I C P - A E S分析硼杂质质量分数。 1 . 3酸浸原理 金属硅制备过程 中冷却时 , 随着硅 晶体的生长, 各种分凝系数小的杂质发生偏聚。由于杂质的多样 性和质量分数的不同, 偏聚体在晶界处以金属盐的 形式存在 。硼元素在熔融硅凝固时其分凝系数接近 1 , 但硼在金属盐中的溶解度比在金属硅中的溶解度 大 , 导致硼杂质部分 富集在杂质偏聚体内。杂质偏 聚体阻碍硅 晶体正常生长, 产生品格缺陷, 致使该处 的强度下降。粉碎金属硅时 , 因应力集中, 该处率先 破裂暴露在颗粒表面。当采用酸浸处理硅粉时, 可 以与酸浸出剂发生反应并从硅表面溶解到溶液 中, 经液固分离 , 最终达到提纯的效果 。 硼可以与 H N O 、 H F 、 王水或 H O 等氧化性酸 发生反应 J 。考虑各类 酸的腐蚀程度及操作相 对安全性 , 本实验采用 了 H N O , 和 H s 0 的混合溶 液作为浸出剂来进行酸浸提纯。 通常认为 , H N O 可将硼氧化为硼酸 , 反应式如 下 B 3 HNO3} H3 BO33 NO2 H B O 为一元酸。在冷水中溶解度很小, 在热 水中易溶_ l J 。H B O 加 热时会 发生 以下形式 的 分解 , 其机理是先失去 1 分子水成为偏硼酸 , 然后成 为四硼酸, 最后成为酸酐 。 B O H 3 坚 B 2 O 3 H 2 O 本实验 H B O 在高温下发生分解反应 , 产生氮 氧化物气体。体系中加入浓 H S O , 可抑制 H N O 过 度分解 , 使反应持续。随着反应的进行, 产生的气体 使部分硅细粉颗粒发生“ 气浮现象” , 硅粉漂浮在液体 表面 , 反应结束也无法 自行沉淀, 影响了硅粉 回收操 作。体系中 H S 0 的另一作用是通过 H 。 S O 中的氢 离子改变硅粉表面电荷, 由于硅粉含有微量金属元素 杂质 , 且表面带负电荷 , 加入 H s 0 , 使硅粉改性 , 改 性后的硅粉表观吸水率和膨胀倍数增大, 在介质中分 散 『生 好 , 有利于硅粉颗粒的沉淀收集 ; 同时氢离子置 换硅粒表面的钙、 镁、 铁等其他一些金属杂质, 达到深 度纯化的目的, 强化提纯效果和硅粉回收率。 2实验 结果与讨 论 2 . 1 酸浸时问对提纯结果的影响 一 定浓度 H N O 3 、 H 2 S O 的浸出剂 , 在 8 O℃下酸 浸硅粉 0 . 5 _ _ 6 h , c H N O 3 7 m o l / L , 搅拌转速为 1 5 0 r / mi n , 结果 如 图 1所示 。 时 间/ h 图 1 酸浸时间对硼杂质去除率的影响 F i g . 1 Re mo v a l r a t e o f b o r o n a f t e r b e i n g l e a c h e d w i t h d i ffe r e n t t i me 7 O 化学工程2 0 1 0年第 3 8卷第 1 1 期 实验表明在 1 _ _ 4 h之间延长酸浸时间 , 硅 中杂 硼的去除率呈较明显 的上升趋势, 至 4 h以后去除 率上升减缓 , 反应基本趋于平衡。为使杂质有效浸 出并考虑到成本因素, 选择 4 h为最适合 的浸 出时 间。 2 . 2 酸浸温度对提纯结果的影响 一 定 浓 度 HN O , H S O 4的 浸 出 剂 , 在 2 0 1 4 0 o C下酸浸硅粉 4 h , C H N O 7 m o l / L , 搅拌转 速为 1 5 0 r / mi n , 结果如图2所示。 温 度/ * C 图 2 酸浸温度对硼杂质去除率的影 响 Fi g . 2 Re mo v a l r a te o fb o r o n a f t e r b e i n g l e a c h e d a t d iffe mm t e mp e r a t u r e s 实验表 明在 2 0 3 0℃, 反应温度升高 , 杂质硼 去除率上升趋势缓慢。在 3 0 1 2 0 c C, 温度对除硼 效率的影响加大 , 至 1 2 0℃时 , 去除率达到最高。温 度较高的情况下 , 反应速率较快。但 1 2 0 一l 4 O℃, 温度提高 , 去除率反而下降, 分析为浸出液随着温度 升高挥发 , 浓度下降 , 酸的氧化性减弱 , 反而对浸 出 结果不利。因此宜选择 1 2 0℃作为浸 出反应的工艺 条件 。 2 . 3 H N O 浓度对提纯结果的影响 浓度为 4 7 . 5 m o l / L的 H N O 与 H 2 S O 4的浸 出剂 , 在 室 温 下 酸 浸 硅 粉 4 h ,搅 拌 转 速 为 1 5 0 r / mi n , 结果如图 3所示。 H NO3 浓度/ too l L - 图 3 I -I NO3浓度对硼杂质去除率 的影响 F i g . 3 Re mo v al r a t e o f b o r o n a f t e r b e i n g l e a c h e d wi t h v a r i o u s c o n c e n t r a t i o n o f HNO3 可以看 出, 浓度 为 4 m o L / L的 H N O 对 杂质 B 的去除效果不佳 , 实验结果显示 , 浓度为 4 7 m o l / L 时, 随着 酸 浓 度 的 增 大, 去 除 率 有 明 显 上 升 , 当 H N O 浓度为 6 . 5 mo l / L时 , 去除率最高。 2 . 4 H S O 浓度对提纯结果的影响 4 mo l / L的 H S O 与 H N O 的浸出剂 , 在室 温下酸浸硅粉 4 h , 搅拌转速为 1 5 0 r / m i n , 结果如图 4所 示 H2 S O 浓 度/ mo 1 . L 一 图 4 H2 S O4浓度对硼杂质去除率的影响 F i g . 4 Re mo v M r a t e of b o r o n a f t e r l e a c h ed w i t h v a ri o u s e o n c e r t r a ti o u of H2 s o, 可以看 出, H S O 浓 度 在 4 _ _ 6 mo l / L时 , 随 着 H s 0 浓度 的增大 , 浸出剂对杂质 B的去除率 有 明显上 升 , 当 H S O 浓度 为 6 7 . 5 m o l / L时 , 去除率趋于平缓 。选择 6 m o l / L为最佳 的 H S O 浓度。 2 . 5 搅拌对提纯结果 的影响 一 定浓度 HN O , H 2 S O 的浸出剂在 1 2 0℃下酸 浸硅粉 4 h , H N O 浓度为 6 . 5 mo l / L , H 2 S O 浓度为 6 m o l / L, 搅 拌 转 速 1 5 0 r / m i n 。第 1个 实 验 搅拌 4 h , 第 2个实验在酸浸过程初始时搅拌 3 0 m i n后停 止搅拌 , 结果如表 1所示 。酸浸初始 2 0 m i n内反应 过程迅速, 产生大量气体, 造成酸浸过程中固液混合 物的膨胀, 若无搅拌将导致部分硅粉悬浮在 固液混 合液表面, 不利于固液相之间的接触, 因此酸浸初期 必须搅拌以排除不利因素。反应 3 0 m i n后膨胀 消 失, 此后 , 搅拌对实验结果影响小 。 表 1 不 同搅拌条件下的纯化效果 T a b l e 1 Re mo v a l r a t e s o f i mp u r i t i e s a f t e r b e i n g l e a c h e d u n d e r d i ff e r e n t s t i r r i n g e o n d t i o n s 汤培平等冶金法制备太阳能硅过程的湿法除硼研究 7 1 2 . 6 优化条件下的浸出结果 认为各因素相互独立 , 各单因素实验结果取优 值 硅粉粒径约为 4 4 m, 浸 出剂 中 HN O 浓度为 6 . 5 m o l / L , H2 S O 4浓 度 为 6 mo l / L ,反 应 温 度 1 2 0 o C, 反应时间4 h , 搅拌转速 1 5 0 r / m i n作为最优 条件 , 实验结果如表 2所示 , 可见通过湿法冶金可以 去除冶金级硅 中大部分的硼杂质。 表 2 最优条件下的纯化效果 T a b l e 2 P u r i f i c a t i o n o f MG S i u n d e r o p t i mu m c o n d i t i o n s 2 . 7 酸浸对硅晶体的影响 图 5, 图 6是 冶 金 级 硅 片 场 发 射 扫 描 电镜 F E S E M 放大 2万倍 的电子 图像 。从 酸洗前 后 的图片对 比来看 , 酸洗前 的硅片表 面有数条擦 痕 平行展步 , 杂质颗粒分 散范 围大 。分 析擦痕 的机 械原因 , 在于硅颗粒受 粉碎 时巨大剪切 作用力 的 影响 , 即相对运动 的细微颗粒 的尖锐棱 角在颗粒 表面刻蚀划过 , “ 犁” 下运 动痕迹 。经过 酸洗之后 见图 6, 划痕基本 消失 , 半径较小 的颗粒杂质也减 少 , 杂质颗 粒变 得 比较规 整 。即经 过 酸洗 之后 , 硅片表面 的物理性缺 陷消失得 比较明显 ; 但 物理 性缺陷 的多 少 和元 素之 间是 否存 在着 彼此 的联 系 , 有待深入研究 。小颗粒杂 质 的减少 及杂质 的 相对规 整则 有 利 于 提 高 下 一 级 火 法 提 纯 的去 除率 M a g 2 0 0 0 k 图 5 酸浸前硅片的扫描 电镜 图 F i g . 5 S EM mi c r o g r a p h o f MG- S i b e f o r e b e i n g l e a c h e d M a g 2 0 0 0 kx 图 6酸浸后硅片的扫描电镜 图 F i g . 6 S E M mi c r o g r a p h o f MG S i a f t e r b e i n g l e a c h e d 3结论 1 浸出过程的各 因素中, 温度 、 时间和浓度对 杂质浸出影响贡献大 , 提 高浸出温度、 延长酸浸时 间、 增大浸出剂浓度都能显著提 高浸出效率 。当硅 粉粒径约为 4 4 m, 最优浸出工艺条件为 H N O 浓 度为 6 . 5 m o l Z L , H 2 S O 4浓度为 6 m o L / L , 反应 温度 1 2 0 o C, 反应时间4 h , 搅拌转速 1 5 0 r / mi n 。在该工 艺条件下, 可使液固分离后杂质硼 的质量分数降低 到 3 . 5 7 41 0 。 。。 , 去除率达到 4 4 . 5 8 %。 2 在浸出剂 HN O 和 H S O 的作用下 , 由于 气体 的产生 , 部分超细粉在气浮作用下悬浮在固液 混合物中, 须有一定的搅拌强度 , 打破包覆细粉的微 气泡 , 使固液混合接触均匀充分。同时 , 强化硅粉在 浸出剂 中分散性 , 强化了浸出过程。 3 采用密闭带压体系进行冶金级硅的酸洗过 程 , 可以有效减少酸的挥发 , 减少 了浸 出剂的用量 , 同时可对浸出剂进行有效 回收 , 降低对环境的影响。 参考文献 [ 1 ] 马文会 , 戴永 年 , 杨斌 , 等. 太 阳能级 硅制 备新技 术研 究进展[ J ] . 新材料产业 , 2 0 0 6 1 0 1 2 1 6 . [ 2 ] 拉尔森 E, 郭秀平 , 肖力子. 太 阳能 电池级石英 的制造 工艺和原料[ J ] . 国外金属矿选矿, 2 0 0 5 , 4 2 4 2 0 - 2 5 . [ 3 ] 王烨, 伍继君. 太阳能级硅制备技术与除硼工艺研究 现状[ J ] . 中国稀土学报, 2 0 0 8 , 2 6 8 9 2 0 - 9 2 4 . [ 4 ] 田金星. 高纯石英砂的提纯工艺研究[ J ] . 中国矿业, 1 9 9 9 , 8 3 5 5 - 5 8 . [ 5 ] B R A G A A F B , MO R E I R A S P , Z A M P I E R I P R, e t a 1 . Ne w p r o c e s s e s f o r t h e p r o d u c t i o n o f s o l a r -- g r a d e p o l y e r y s .. t a l l i n e s i l i c o n a r e v i e w『 J ] .S o l a r E n e r g y Ma t e r i a l s a n d S o l ar C e l l s , 2 0 0 8 , 9 2 4 4 1 8 - 4 2 4 . 【 下转第7 6页】 7 6 化学工程2 0 1 0年第 3 8卷第 1 1期 [ 3 ] [ 4 ] [ 5 ] [ 6 ] [ 7 ] J I R AP A T A,P U ANGR AT K,S ER AP HI N S . Vi s i b l e l i g h t a b s o r p t i o n a b i l i t y a n d p h o t o e a t aly t i c o x i d a t i o n a c t i v i t y o f v a r i o u s i n t e r s t i ti a l N d o p e d T i O2 p r e p a r e d f r o m d i ff e r e n t n i t r o g e n d o p a n t s [ J ] . J o u r n a l o f H a z a r d o u s Ma t e r i a l s , 2 0 0 9 , 1 6 8 1 2 5 3 - 2 6 1 . YA O K S, WANG D Y, C HANG C Y,e t a1. P h o t o c a t aly t i c d i s i n f e c t i o n o f p h y t o p a 【 h o g e n i c b a c t e r i a b y d y e s e n s i t i z e d T i O 2 t h i n fi l m a c t i v a t e d b y v i s i b l e l i g h t [ J . S u r f a c e a n d C o a t i n g s T e c h n o l o g y , 2 0 0 7 , 2 0 2 4 / 5 / 6 / 7 1 3 2 9 1 3 3 2 . ANPO Ma s a ka z u,TAKEUCHI M a s a t o .The de s i g n a nd d e v e l o p me n t o f h i g h l y r e a c t i v e t i t a n i u m o x i d e p h o t o e a t a l y s t s o p e r a t i n g u n d e r v i s i b l e l i g h t i r r a d i a t i o n [ J ] . J o u r n a l o f C a t a l y s i s , 2 0 0 3 , 2 1 6 1 / 2 5 0 5 5 1 6 . TADASHI Ma t s una g a,HI ROYUKI Ya ma o ka,SHI N I CHI RO Oh t a ni . e t a1. Hi g h ph o t o c a t a l y t i c a c t i v i t y o f p al l a d i u m d e p o s i t e d m e s o p o r o u s T i O 2 / S i O 2 f i b e r s[ J ] . A p p l i e d C a t a l y s i s A G e n e r al, 2 0 0 8 , 3 5 1 2 2 3 1 2 3 8 . I RI E Hi r o s h i , WAT ANARE Yu k a,HAS H/ MOT O Ka z u h i t o . Ca r b o n d o p e d a n a t a s e T i O2 p o wd e r s a s a v i s i b l e l i g h t s e n s i t i v e p h o t o c a t a l y s t [ J ] . C h e mi s t r y L e t t e r s , 2 0 0 3 , 3 2 8 7 7 2 7 3 . [ 8 ] I H A R A T a t s u h i k o , MI Y O S H I M o t o s u k e , I R I Y A MA Y u , e t a1. Vi s i b l e l i g h t a c t i v e t i t a n i u m o x i d e p h o t o e a t a l y s t r e a l i z e d b y a n o x y g e n d e fi c i e n t s t r u c t u r e a n d b y n i t r o g e n d o p i n g l J ] . A p p l i e d C a t a l y s i s B E n v i r o n me n t a l , 2 0 0 3 , 4 2 4 4 0 3 - 4 0 9 . [ 9 ] MA R T A I L .He t c r o g e o u o u s p h o t o c a t a l y s i s t r a n s i t i o n me t a l i o n s i n p h o t o c a t a l y t i c s y s t e m[ J ] . A p p l i e d C a t a l y s i s B E n v i r o n m e n t a l , 1 9 9 9 , 2 3 2 / 3 8 9 1 1 4 . [ 1 0 ] 肖东昌, 夏慧丽, 张涛, 等. 新型纳米光催化剂 b”/ S / T i O 的制备及其可见光活性研究[ J ] . 中国稀土学报, 2 0 0 6, 2 4 6 6 7 1 - 6 7 4 . 1 1 1 S A K T H I V E L S ,J A N C Z A R E K M,K I S C H H . V i s i b l e l i g h t a c t i v i t y a n d p h o t o e l e e t r o c h e mi c al p r o p e r t i e s o f n i t r o g e n d o p e d T i O 2 [ J ] . J o u rna l o f P h y s i c a l C h e m i s t r y B, 2 0 0 4, 1 0 8 5 0 1 9 3 8 4 1 9 3 8 7 . [ 1 2 ]S I E MO N U, B A HN E M A N N D, T E S T A J J , e t a 1 .He t e r o g e n e o u s p h o t o c a t a l y t i c r e a c ti o n s c o mp a r i n g T i O 2 a n d P t/ T i O 2 [ J ] .J o u r n a l o f P h o t o c h e m i s t r y a n d P h o t o b i o l o gy A Ch e mi s t r y .,2 0 0 2 , 1 4 8 1 / 2 / 3 2 4 7 - 2 5 5 . ⋯0‘l1 ● ● ‘ 0 ‘ 。 ‘⋯’c ’、● t● 、’一’ ‘t ● 一’ ‘⋯ ● 、⋯ 一1 .1 一- ● ⋯0 。 ● ‘一, ● 【 上接第7 1 页】 [ 6 ] Y O S H I K A WA T , A R I M U I L K, MO R I T A K .B o r o n r e m o v a l b y ti t a n i u m a d d i t i o n i n s o l i d i fi c a t i o n r e fi n i n g o f s i l i c o n w i t h S i A 1 m e l t J ] . M e t al l u r g i c a l and M a t e ri a l s T r a n s a c t i o n s B , 2 O 0 5 , 3 6 6 8 3 7 8 4 2 . [ 7 ] 吴展平 , 杜相 华, 杨晗辉 . 太 阳能级硅制备方 法 中国 , 2 0 0 6 1 0 2 0 0 5 5 1 . 8 [ P ] . 2 0 0 7 1 2 1 2 . [ 8 ] 庞爱锁, 潘淼, 郭生士, 等. 金属硅的酸洗和氧化提纯 [ J ] . 厦门大学学报, 2 0 0 9 , 4 8 7 5 4 3 - 5 4 6 . [ 9 ] 汤培平, 徐敏, 王宝璐, 等. 冶金法制备太阳能硅过程 的湿法提纯研究[ J ] . 精细化工, 2 0 0 9 , 2 6 8 7 3 3 - 7 3 7 . 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