细晶粉末冶金TiAI合金的制备.pdf

第 1 8 卷第 5期 、 ， 0 1 ． 1 8 NO ． 5 粉末冶金材料科学与工程 M a t e r i a l s S c i e nc e a n d En g i n e e r i n g o f P o wd e r M e t a l l u r g y 2 01 3年 1 O月 Oc t ． 2 O 1 3 细 晶粉末冶金 T i A l 合金的制备 张俊 红 ，曹钦存 洛阳理工学 院 材料科学与工程系 ，洛 阳 4 7 1 0 2 3 摘要 采用非晶 晶化法制备 由y - T i A1 相组成 、晶粒尺 寸为 0 ． 1 5 m 的粉末冶金 T i 一 5 0 ％A1 原子分数 合金。首先 对 T i 、A1 元素混合粉末进行 高能球磨，制备 T i 5 0 ％A1 非晶粉末 ；再通过 1 0 0 0C／ 1 h热压 ，得到致密度为 9 6 ％ 的 T i 一 5 0 ％A1 合金。采用 x射线衍射研究制备过程中的结构演变；利用透射电镜对非晶粉末和致密 T i A1 合金的微 观形貌进行观察 。结果表明，T i 一 5 0 ％A1 混合粉末经过 1 0 0 h高能球磨后 转化为无 序的非晶相，其结构演变 过程为 T i A1 T i A1 过饱 和固溶 体 h ． C ． p 非 晶相 。T i 一 5 0 ％A 1非 晶粉末在 随后 的热压过程 中发 生晶化 ，晶化温度 为 6 6 0 ～ 7 5 0℃，晶化过程为非晶相 无序a H h ． C ． p T i Al N a 2 ． T i 3 A 1 相 ，非晶晶化后化学成分基本保持不变。 T i 5 0 ％A1 非晶的晶化过程与具有高过冷度的过冷液体的形核过程类似， 目 晶体以非晶结构中存在的 h ． c ． P ．晶体 团簇或以二十面体簇转变的h ．c ．P ．晶体团簇为核心而形核和长大。 关键词T i A 1 合金；细晶；粉末冶金；非晶晶化 中图分类 号T G1 4 6 ． 2 文献标识码 A 文章编 号1 6 7 3 - 0 2 2 4 2 0 1 3 5 - 6 8 7 0 6 Pr e pa r a t i o n o f s u b mi c r o s t r u c t ur e po wde r m e t a l l ur g i c a l t i t a ni u m a l umi n i d e Z HA NG J u n - h o n g ， C A O Qi n G u n De p a r t me n t o f Ma t e r i a l s S c i e n c e a n d E n g i n e e r i n g ， L u o y a n g I n s t i t u t e o f S c i e n c e a n d T e c h n o l o g y , L u o y a n g 4 7 1 0 2 3 ， C h i n a Ab s t r a c t A p o wd e r me t a l l u r g i c a l t i t a n i u m a l u mi n i d e a l l o y T i 一 5 0 ％A1 wi t h me a n g r a i n s i z e o f a b o u t 0 ． 1 5 p ． m． c o mp o s i n g e n t i r e l y o f y - T i A 1 p h a s e wa s p r e p a r e d b y a mo r p h o u s c r y s t a l l i z a t i o n me t h o d u s i n g a mo r p h o u s T i - 5 0 ％A1 a t o m f r a c t i o n p o wd e r s a s r a w ma t e r i a l s ． T h e a mo rph o u s T i 一 5 0 ％ A1 p o wd e r s we r e f a b ric a t e d b y me c h a n i c a l l y a l l o y i n g i n a p l a n e t a r y b a l l m i l l i n g s ys t e m u s i n g Ti a n d A1 p o wd e r s a s r a w ma t e ria l s ，a n d t h e n t h e a mo rp h o u s Ti 一 5 0 ％A1 p o wd e r s we r e h o t p r e s s e d a t 1 0 0 0 ℃ f o r l h t o o b t a i n t h e t i t a n i u m a l u mi n i d e a l l o y ， wh o s e r e l a t i v e d e n s i t y i s a b o u t 9 6 ％． X- r a y d i f f r a c t i o n XR D w a s u s e d t o c h a r a c t e r i z e t h e s t r u c t u r e e v o l u t i o n d u r i n g t h e me c h a n i c a l l y a l l o y i n g a n d t h e p r o c e s s o f c rys t a l l i z a t i o n ； a n d t r a n s mi s s i o n e l e c tr o n mi c r o s c o p e T E M wa s u s e d t o c h a r a c t e r i z e t h e mo rph o l o g i e s o f t h e a mo rph o u s p o w d e r s a n d t h e t i t a n i u m a l u mi n i d e a l l o y ． T h e r e s u l t s s h o w t h a t ， a f t e r 1 0 0 h mi l l i n g ， t h e b l e n d e d p o wd e r s c h a n g e i n t o a n a m o rph o u s p h a s e c o mp l e t e l y ，t h e p r o c e s s o f s t ruc t u r a l t r a n s f o r ma t i o n c a n b e d e s c r i b e d a s T i A1 T i A1 h ． c ． p - - - a mo rph o u s ． Crys t a l l i z a t i o n o c c u r s a t a s u i t a b l e p r o c e s s d u r i n g h o t p r e s s i n g i n t h e t e mp e r a t e r a n g e o f 6 6 0 - 7 5 0 ℃ ， t h e p r o c e s s c a n b e d e s c r i b e d a s a mo r p h o u s - - d i s o r d e r e d a p h a s e H． C． P - - - o r d e r e d 7 - T i A 1 p h a s e o r d e r e d 2 一 T i 3 A1 p h a s e ， i n wh i c h t h e d i s o r d e r e d p h a s e i s a me t a s t a b l e p h a s e ． Du r i n g c r y s t a l l i z a t i o n ， i t i s o b s e r v e d t h a t t h e c h e mi c a l c o mp o s i t i o n s ma i n t a i n i n v a r i a n t ， i t i s s u p p o s e d t h a t t h e tra n s f o r m a t i o n ma y b e s i mi l a r t o t h e p r o c e s s o f n u c l e a t i o n o f u n d e r c o o l i n g l i q u i d ，i n 基金项目国家高技术研究发展计划 8 6 3计划 资助项 目 7 1 5 0 0 5 0 0 4 o 收稿日期2 0 1 2 1 0 2 4 ；修订 日期2 0 1 3 ． 0 3 ． 1 8 通讯作者张俊红，副教授，博士。电话0 3 7 9 6 5 9 2 8 1 9 6 E - ma i l z y y _z j h 1 6 3 ．c o r n 学兔兔 w w w .x u e t u t u .c o m wh i c h t h e d i s o r d e r e d p h a s e ma y n u c l e a t e a n d g r o w a t t h e b a s i c o f t h e h ．c． P c r ys t a l l i ne c l us t e r s whi c h i s i n t h e a mo r p h o u s s t r u c t u r e o r h a s c h a n g e d b y i c o s a h e d r a l c l u s t e r s e x i s t i n g i n t h e a m o r ph o u s s t r u c t u r e ． Ke y wor ds Ti A1 ba s e d a l l oy s ；a m o rp h o us ； c ry s t a l l i za t i o n T i A I 合金具有 舟的比强度和 b L Iq度 ，以及较好 的高温 抗蠕／ 叟、 耐腐蚀性能_ l _ ，是 1 种非常有潜力的 轻质高温结构材料 。f 卜 i 作为 1 种有序金属间化合物 ， 其特有 的晶体结构决定 了该材料 具何 本征脆 性 ，阻碍 了铸锭冶金技术在该材料领域 的应用 。粉末 冶金技术 住制备组织均匀 、细 小的材料及近 净成形方面具有独 特 的优势 ，是制 备难加 I 高温 结构材 料一T i Al 合金 的 重要工 艺 l j J 。但常规的粉末反心烧结法在制备 T i A 1 合金时 ， 存 在 1 个致命的 问题 ， 即烧 结过程 巾 由于 A 1 、 T i 扩散系数相差悬殊 ， A l 原 子 T i A 1 中存在偏扩散 ， 容易形成 K i r k e n d a l l 效应， 致烧结后的组织存在许 多孔 隙。 此‘ 般制 桥伞致密 的粉末冶金 T i AI 基合金 必须存较 高温度和 下反应 合成 ，并且反应合成后 的样 品需要 较长 时间 的扩 散退 火过程 才 能彤成 T i M 基合金 ，敛使 粒粗 人，凶此有必要寻找新 的粉末冶 金工艺来制备 T i A I 合 。 近几年来 ，非平衡技术 的发 展为制 备纳米结构材料 开辟 了新 的领域 [ ，采 用热力 学 半衡 的“晶念组织 ，通过 非晶晶化可 以制备 晶粒 J 寸从几 个纳米 剑哑微米级 的绌品组织 。冈此 ，本 文作者对 非品晶化法制 备粉末 冶金 T i AI 合金技术 进行探索 ，采 L } J 机械合 金化法 制备 T i ． A l 非 晶粉末 ， 然 后经 热压 得 到致 密 的 T i ． 5 0 ％A1合 金 。成 形前 的 T i A 1 非 晶粉 末 _卜 l 于小含台单质念 A l ，解决 了粉术 冶金 T i A1 艺的 K i r k e n d a l l 效应 问题 ，并 H ． 于非 晶 态粉末处 下热 学不稳 定状 态， 经机械合金化后颗 粒非常细 小，提 高了烧 结动力，可 以显著降低烧结温 度 ，因此 叮以制 备f { 』 品粒细小 的 T i A l 基合金 。 本文还 对 品化 【 艺过程 中的组织演变 和晶化机理进行分析 。 1 实验 实验 刚原料 为纯度 9 9 ％的钛粉 和铝粉 ， 粒度分别 为 1 5 0 p r n和 7 5 g m。将 T i 、Al 粉按 原子 比 l l 的比 例混 合，加入 1 ． 5 ％ 质量 分数1 的硬脂酸 ，往 Q M。 1 S P 行星式球磨机 l 进行 1 0 0 h高能球磨。球磨罐转速为 4 5 0 r ／ mi n ，球磨罐材质 为 G C r l 5轴承钢 ，球磨 罐采用 0 彤橡胶 密封 。研磨球 为直 8 ． 5 mm 的硬质合 球，球料质晕 比为 1 5 1 。装料利 m料操 作均在允填高 纯氩气的 套箱 中进行 ，每 隔 一定时间取出少量粉末 作 分析样 晶。球 后的粉末装入石墨模具 ，在 3 5 0 MP a 下预成形 ，再 采用冷 等静压进 一 步成形 ，冷 坯 密度 为 2 ． 7 0 g ／ c m ，相对 密度 约为 6 9 ％。将冷压坯放 入 Hi g h ． Mu l t i 1 0 0 0 0型真 空热压机 中，分别在 8 0 0 ， 9 0 0 ，l 0 0 0 和 1 1 0 0 ℃温度 下热压 l h ，得到 直径 为 2 0 mm、高度 为 1 2 mm 的 T i 一 5 0 ％A1 原子分数1 合金试 样 。 热压在流动 高纯氩气 L 卜 I 进 行， 从 6 0 0℃开始加爪 ， 压 力为 4 0 MP a 。在石墨模具的模壁 涂 A I N涂 ， 并在 J玉坯 与模壁 之间用薄 Mo片 隔开，以防止 坯 与 模 具之间发生反心 。 采 用 日本理 学 D ／ MA X ． r A 型 x 射 线衍 射仪对 T i ． 5 0 ％A1混合 粉木及 合金进 行物相 分析 ，测试条什 为C u 靶 ，石墨 单色器 ， 描速度 为 l ℃／ rai n 。利 J E M一 2 0 0 0 F X I I 型透射 电镜观察显微组织 。 采用 阿基米 德 排水法测定合金 的密度 。 2 实验结果 2 ． 1 T i AI 非 晶粉 末 图 1 所示 为T i 一 5 0 ％A l 混合粉末 过 不同时问球 磨 后的 X R D 谱 。在球磨初期 ，由于承 受了反复的 形 、 破 碎和冷焊过程 ，T j 、A l 晶体粉末皴生 品格畸变 、品 粒碎化 以及元素问 的互扩散 ， 使初始 晶体 的尖锐 X射 线衍射峰宽化 ，峰强减 弱 。 球磨 4 0 h ， A l 的衍射峰 几乎完全消失 。球磨至 6 0 h时 A 1 的衍射峰消失 ，A 1 完伞 固溶到 T i 品格中，形成 T i A1 过饱 崮溶 休，此 2 0 ／ 。 图 1 T i 一 5 0 ％A 1 混合粉末经过 时 球磨 后的 XR D谱 Fi g ． 1 XRD s p e c t r a o f Ti 一 5 0 ％ A1 p o wd e r m e c h a n i c a l l y mi l l e d f ordi f f e r e n tt i me s 学兔兔 w w w .x u e t u t u .c o m 学兔兔 w w w .x u e t u t u .c o m 学兔兔 w w w .x u e t u t u .c o m 第 1 8 卷第 5期 张俊红，等细晶粉末冶金 T i A 1 合金的制备 6 91 粉末烧 结过程通常受 C o b l e 蠕变 、Na b a r r o ． H e r r i n g蠕 变 、幂关系蠕变、 晶界 晶内扩 散、蒸发凝聚等机制控 制。经过长时间高能球磨的 T i ． 5 0 ％A1非晶粉末中存 在大量的点、面、线缺陷，使得原子的扩散迁移能力 增 强，因而大大 降低烧结激活 能，从而使烧结温度显 著 降 低 ； 同 时 ，致 密 化 反 应 的速 度 常 数 K A e x p [ 一 Q ／ 7 ] 式中 Q为烧结激活 能；R为气体常数 ；T为 烧结温度1 ，由此可知随烧结活化能降低，致密化反应 的速 度常数 呈指数 关系升高 ，从而实现 快速致密 化 。另外 ，上式 中的 是包含 原子碰撞 的 “ 频率 因子 ” 的结构参数，通过机械合金化可以改善烧结粉末的接 触情况 而使 增大 ，从而促进烧 结。 在本研究中， T i 一 5 0 ％A 1 非晶的晶化温度比快速凝 固 如 P VD、 磁控 阴极溅射 T i A 1 系非晶的 晶化反应温 度高约 1 0 0 ℃[ 6 - 7 ] ，而 比在 N 2 气氛球磨生成 的 T i ． A 1 系非 晶 的晶化温度 略低f 8 ] 。这可 能是 由于杂质 对非 晶 的稳定化作用引起的，机械合金化时容易引入 O、N、 F e 、 C r 等杂质， 相对于采用快速凝固方法制备的非晶， 采用机械合 金化方法制备 的非 晶中杂质 含量较高 ，而 当机械合金 化在 N 气氛 中进行时 ， 杂质含量更高 ， 杂 质 的存在 一方面可 以加快 非晶化进程 ，另一方面使结 构的混乱度增加，不利于晶化。 在 T i A l 二元相 图 中，a h ． C ．p 相 是高温 稳定相 ， 凝固过程中讲目 在 1 1 2 5℃发生有序～ 无序转变，转化 为 D O1 9 结构的有序 一 T i 3 Al相。通常情况下，即使 快速淬火 也不能抑制 的转变 ，故上述 非晶 晶化 过程 中出现 的 是亚稳相 。 K a m b a rr a E 、 S e n k o v L ， 加 】 、 Ab e [ “ 等发现 在 T i 一 5 0 ％A1 、 T i ． 4 6 ． 5 AI 一 2 N b ． 1 ． 6 C r - 0 ． 5 W 和 T i ． 4 8 ％A 1 均 为原子分数 非 晶的晶化 过程中有亚稳 日 出现 ，而 O v e g o g l u在 T i 一 4 7 A1 3 C r 原子分数 ，％ 预合 金非 晶粉 末 的 晶化过 程 中却未 发 现 亚稳 相 存 在_ 1 ， 其 晶化 的初期相为a 2 y , 当时效温度提 高到 8 0 0 ℃或1 1 0 0 ℃ 时 ，晶化 产物 转变 为 。这 说 明在 Ov e g o g l u 的实验 中 是亚稳 定的 ，当时效温度 升高 时，发生 2 1 ， 转变 ，而 可以看作是由 相通过有 序一 无序转变而来的。因此，结合本实验结果，处于 化 学计量成分 附近 的 T i ． A1 系非 晶的晶化过程 可表述 为非 晶 相 h ． C ． p 或 非 晶晶化 时发 生的相 转变与其结构密切相 关，虽 然 目前对于非 晶结构的了解还处于提 出假设然 后再论 证 阶段 ，但基于对过冷液 体的 了解 ，普遍认为二十 面 体簇是非晶的基本结构单元。二十面体具有非晶体学 对称性，它的配位数是 1 2 ，含有 6个五重旋转轴，1 0 个三重旋转轴，1 5 个二重旋转轴，它在非晶态结构中 具有重要 意义。 目前关于 1 r i 。 A 1系非晶结构的报道还 很少 ，S h i m o n o [ “ ] 采用分 子动力学 MD 模 型对 T i Al 系非晶的结构进行 了研 究， 认为 T i ． 5 0 ％A 1 非晶可能 由 具有二十面体对称 的二十面体簇 和具有晶体学对称 的 晶体簇 2个基本结构单元组成， 这 2个单元相互缠结， 以纳米 尺寸的 网络 单元形式存 在 。按照 S h i mo n o 的 T i ． Al 系非 晶结构模型 ， T i ． 5 0 ％A 1 非晶中的晶体簇应 该是具有 h ． c ．P ． 结构 的结构单元 ，因为 T i ． 5 0 ％A1 非晶 是 由a - T i 过饱和 固溶体经充分球磨而形成 的，机械球 磨虽然打破了a - T i 晶体的长程有序拓扑结构，但局部 区域 仍有可能存在 具有晶体学对称 的 h - c ． P ． 晶体 团簇。 当 T i ． 5 0 ％A1 非晶在外部能量的驱动下发生晶化 时， 晶体 以这种 h ． c ．P ． 结构单元为核 心而形核和长 大；另 外，结构 中的二十面体簇也可通过原子微小的位移转 变 为 h ． c ． P ． 密堆结构而成为 目 的核心 ，因为二十面体 结构与 h ． c ． P ． 密堆结构具有相似性 它们二者的配位 数 同为 1 2 ，二者 的原子最近邻关系及键合关系相 同，因 此由二十面体结构向 h ． c ． P ． 密堆结构转变不涉及化合 键 的破坏 ， 转变前后原子的最近邻 拓扑关系保持不变， 所 需要的能量不大 ，在 一般情况 下是容 易实现 的。 在本研 究中，T i 一 5 0 ％A1 非 晶发生 晶化 时，化学成 分基 本保持不变。 T i 5 0 ％A1 非 晶中 T i 和 A 1 的含量 原 子分 数1 分别为 4 8 ． 5 ％和 4 7 ． 8 ％，晶化后的 目 中 T i 和 A1的含量分别为 4 8 - 3 ％和 4 7 ． 5 ％。这说 明 T i ． 5 0 ％A1 非晶的晶化不需要原子长程扩散的过程，可能与具有 高过冷度的过冷液体的形核过程类似，这有利于形成 细 晶材料 。 4 结论 1 采用 机械 合金 化法制 备 的 T i ． 5 0 ％A 1非 晶粉 末 ，经 1 0 0 0℃／ 1 h热压 ， 得到 晶粒尺寸为 0 ． 1 5 u m 的 细 晶 T i A 1 合金，合金 的致密度 为 9 6 ％，由y ． T i A1 相组 成。与传统元素粉末反应烧结法相比，烧结温度降低 约 3 0 0℃，这是由于机械合金化的非晶粉末中存在大 量 的点、面 、线缺 陷，促进 了活化烧结过程 。 2 T i 一 5 0 ％ A1 元素混合粉，经 1 0 0 h高能球磨，完 全转化为非 晶相 ，其 结构演变过程 为 T j Al - - T i A 1 过饱和 固溶体 h c p 非 晶。 3 T i ． 5 0 ％A 1 非 晶发生 晶化反应 的温度为 6 6 0 ～ 7 5 0 ℃，其 晶化 过程为 非 晶相 无序 Ⅸ 相 h _ c _p T i A l 相 ． T i 3 A1相 ，其 中 目 是 晶化过程 中的介稳相 。 非晶晶化时化学成分基本保持不变，晶化过程可能与 具有高过冷度的过冷液体的形核过程类似 ， 相晶体 以非晶结构 中存在 的 h ． C ． P ．晶体 团簇或 以二十 面体簇 学兔兔 w w w .x u e t u t u .c o m 6 9 2 粉末冶金材料科学 与1 一 程 转变 的 h ． c _P ．晶体团簇 为核心 而形核和长大 。 [ 8 ] 、 V A N G K Y T h e 肿a l b e h a v i o r s o f m e c h a n i c a 1 1 y a l l o y e d T i A 1 i n a n i t r o g e n a t mo s p h e r e『 J 1 ． J o u r n a 1 o f Ma t e r i a l s S c i e n c e 1 9 9 5 ， 3 0 REFERENCES 4 2 7 - 5 4 3 2 - 『 9 ]KAMB AR R A M， VE NI S HI K K OB A Y AS HI K F Na n o ． s t r u c t u r a l i n t e r me t a l l i c c o mp o u n d Ti A1 o b t a i n e d b y 『 1 }Y A MAGuC H M， I N uI H，l T O K． Hig h ． t e mp e r a t u r e s t r u c t u r a l ’ c r y s t a l l i z a t i o n o f me c h a ni c a l l i y a l l o y e d a mo r p h o u s Ti A1 a n d i t s i n t e r me t a l l i c s f J 1 ． Ac t a Ma t e r , 20 0 0， 48 2 1 3 0 7 -3 2 2 ． [ 2 ]wu xi n ． h u a ． Re v i e w o f a l l o y a n d p r o c e s s d e v e l o p me n t o f T i A1 u b 。 q 。 “ t g mj n g 。 wt h[ J 1 _ J 。 m l 。 f M t 。 s i 。 n c c ． 2 0 0 0 , 3 5 28 97 -2 9 0 5 ． a l l o y s f J 1 ． I n t e r me t a l l i c s ， 2 0 0 6 ， 1 4 1 O 1 1 1 4 一l 1 2 2 ． 【 3 ]P AR ANS KY E ， GUT MANAs E Y _ GOT MAN 1 ， e t a 1 ． [ 1 o ] s E NK0 V O N， c AR us O GL U M， F R 0E s F H s y n h e i a n d c h a r a c t e r i z a t i o n o f a Ti Al ／ Ti S i 1 c o mp o s i t e wi t h a s u b mi c r o ． P r e s s u r e a s s i s t e d r e a c t i v e s y n t he s i s o f t i t a n i u m a l u mi ni d e s f r om ～ c r y s t a l l i n e s t r u c t u r e『 J 1 ． Ma t e r S c i E n g A， 2 0 0 1 3 0 0 8 5 - 9 3 d e n s e 5 0 Al 一 5 0 T i e l e me n t a 1 p o wd e r b l e n d s『 J ] ． Me t a l T r a ns ， 1 9 9 6 ， ’ ～ 一 l 1 1 l AB R E ， 0H NUMA M， NAK AMURA M． T h e s t ruc t u r e o f a n e w 2 7 A 2l 3 0 -2 1 3 8 ． [ 4 】MOR RI S M A，L E BOE UF M．I n fl u e n c e o f mi c r o s t r u c t u r e 。 _ D hP 。 f o r l n 。 d d u r i n g t h e 。 盯l Y t g 。o f ry t l l i z a t i o f 4 8 Al ％ a mo rpho us fil m 『 J 1 ． Ac t a Me t a l 1 Ma t e r ,1 9 9 9 ，4 7 1 3 r e fin e me n t o n s t r e ng t h ， d u c t i l i t y a nd t o u g h n e s s o fTiA1 a l l o y s『 J 1 ． 一 ～ 一 。 一 ～ 3 6 07 3 61 4 ． M RS ． 1 9 9 7 ． 4 6 0 1 7 7 -1 8 2 ． [ 5 ] MuR T Y B s ， R ANGA NA T HA N s ． No v e l ma t e r i a l s s y n t h e s i s [ 1 2 ] o VE c GL u M L ， s E NK OV 0 N， s R s uKuMB Ow0Mc HAI N， e t a 1 ． M i c r o s t ru c tur e e v o l u t i o n o f a n a n o c ry s t a l l i n e Ti 一 4 7 Al 一 3 Cr b y me c h a n i c a l a l l o y i n g ／ mi l l i n g『 J 1 ． I n t e ma t i o n a l Ma t e r i a l s a l l o y d u r i n g a n n e a l i n g i n t h e时 y - p h a s e fie l d『 门．Me t a l l M a t e r R e v i e ws ， 1 9 9 8 ， 4 3 f 3 1 1 01 -1 41 T r a ns ．1 9 9 9 ． 3 0 A 7 5l -7 61 f 6 l S E NKOV 0 N， UC HI C M D， ME NON S e t a l C r y s t a l l i z a t i o n f l 3 ] S HI M O N0 M，ON0 DE R A H M o l e c u l a r d y n a mic s s t u d y o n k i n e t i c s o f a n a mo rph o u s Ti Al s h e e t o r o d u c e d b y P VD 『 J 1 f o r ma t i o n a n d c rys t a l l i z a t i o n o f Ti ． Al a mo r ph o u s a l l o ys f J l l Sc r i p t a M e t a l 1 M a t e r , 2 0 0 2 ． 4 6 1 8 7 -1 9 2． 一 一 Ma t e r S c i En gA． 2 0 01 ， 3 0 4 ／ 3 0 6 5l 5 -5 1 9． ABE AKI YAM A S ,ONO DER A Hc l i z a t i o n o f s p u t t e 一’ ’ 编辑 汤 金芝 d e po s i t e d a mo r p h o u s T i 一 5 2 a t ％A1 a l l o y i n g『 J ] ． I S I J I n t e r n a t i o n a l ， 、 ’ ’ 1 9 9 4 ， 3 4 5 1 4 2 9 - 4 3 4 学兔兔 w w w .x u e t u t u .c o m