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第 9期 2 0 1 1年 9月 组 合 机 床 与 自 动 化 加 工 技 术 M od ul a r M a c h i ne To o l＆ Aut o m a t i c M a nuf a c t ur i ng Te c h ni qu e NO． 9 S e p．2 01 1 文 章 编 号 1 0 0 12 2 6 5 2 0 1 1 0 90 0 6 60 4 P L C伺服控制在太阳能电池组件搬运机械手中的应用 丛 明 ， 刘 冬 ， 杜 宇 ， 孙 强 大连 理 工大 学 机 械 工程 学 院 ， 辽 宁 大连 1 1 6 0 2 3 摘 要 针 对 太 阳能 电池组 件 生产过 程 中存 在 的 工人 劳动 强度 大和 生产 效 率低 等 问题 ， 设 计 一种 采 用 真 空吸 盘 结构 的太 阳能 电池 组件搬 运 机械 手 ， 搭 建 由 P L C 可编 程控 制 器 、 伺 服 电机 及 驱 动 器构 成 的控 制 系统 ， 并提 出一种 基 于 P L C的位置 伺服 控 制 方 法。 系统 P L C程 序 采 用模 块化 思 想进 行 设 计 ， 并利 用组 态软件 对 触摸屏 进行 组 态 ， 通 过 串行 端 口建 立 P L C与 触摸 屏之 间 的通 讯 ， 实现 P L C与触 模 屏 对搬运 机械 手 的联 合控 制 。应 用结 果表 明 ， 搬 运机 械 手及 其控 制 系统具 有较 好 的 交互性 与 灵 活性 且机 械 手 自动运 行过 程稳 定 可 靠达到 了预 期 的设 计 目的 。 关键 词 P L C； 伺服 控 制 ； 机 械 手 ； 触摸屏 ； 太 阳能 电组 件 中图分类 号 T G 6 5 ； T P 2 7 3 文 献标 识码 A Appl i c a t i on o f PLC S e r v o Co nt r o l i n The Tr a n s po r t M a n i pul a t o r f o r S o l a r Ce l l M o d ul e C O N G Mi n g ，L I U D o n g ，D U Y u ， S U N Q i a n g S c h o o l o f Me c h a n i c a l E n g i n e e r i n g ，D a l i a n Un i v e r s i t y o f T e c h n o l o g y，Da l i a n L i a o n i n g 1 1 6 0 2 3，C h i n a Abs t r a c tAi mi ng a t t h e h e a vy ph ys i c a l l a bo ur a n d l o w pr o d u c t i o n e ffi c i e n c y， e t c e x i s t i ng i n pr o d u c t i on pr o c e s s o f t h e s o l a r c e l l mo d ul e ， a t r a n s po r t ma ni pul a t o r wh i c h us e s v a c uu m c u ps s t r uc t ur e i s d e s i g n e d． The c o n t r o l s ys t e m i s s e t u p b a s e d o n PLC， s e r vo mo t o r a nd d r i v e r ， a nd a l s o a po s i t i o n s e r vo c o n t r o l me t ho d b a s e d o n PLC i s pr e s e n t e d．M o d u l a r i z a t i o n i s a d o pt e d f o r t h e d e s i gn o f PLC pr og r a mme a n d t h e t o uc h s c r e e n i s c o nf i g ur e d b y us ing t he c o nf i g u r a t i o n s o f t w a r e ． Th e c o n ne c t i o n be t we e n t he PLC a nd t o u c h s c r e e n i s e s t a b l i s h e d v i a s e r i a l p o r t t o j o int l y c o n t r o l t h e mo v e me n t o f t h e mani p u l a t o r ． Th e r e s u l t s h o ws t h a t t h e t r a n s po r t man i pu l a t o r a n d i t s c o n t r o l s ys t e m ha v e g oo d int e r a c t i o n an d fle xib i l i t y a n d a u t o ma t i c o pe r a t i o n pr o c e s s i s s t a b l e an d r e l i a bl e ， fin a l l y，r e a c he s t h e d e s i r e d d e s i gn pu r po s e ． Ke y wo r dsPLC； s e r v o c o n t r o l ；ma n i p l ul a t o r ；t o uc h s c r e e n；s ol a r e e l l mod u l e 0 引言 1 太 阳能电池组件搬运机械手 的结构 与功能 机械 手作 为 一 种 自动 化 装 备 ， 在 生 产 线 上 下 料 作业 中可 以代 替 人 完 成 繁 重 劳 动 ， 实 现 生 产 的 自动 化 j 。工 业 自动化 技术 水 平 的不 断提 高 和 人 们对 生 产效 率 提 出 的新 要 求 ， 促 使 机 械 手 技 术 得 到 快 速 发 展。P L C具有可靠性 高 、 通用 性强和使用 简便等优 点 ， 能够为 自动化设备提供可靠 的控制方案， 广泛应 用 于各 种工业 自动 化 生产 过程 。本 文 针 对 国 内某 公 司太 阳能 电池组 件 生 产过 程 中存在 的工 人 劳动 强 度 大和 生产 率 低 等 问题 ， 设 计 一 种 太 阳能 电池 组 件 搬 运机 械手 。利 用 P L C 、 触 摸 屏 、 伺 服 电 机 及 驱 动器 搭 建搬 运机 械 手 的 控 制 系 统 ， 提 出一 种 基 于 P L C的位 置伺 服控 制 方 法 ， 实 现 太 阳能 电 池 组 件 生 产 线 传 输 过程 的 自动 化 。 太 阳能 电池组件搬 运机械手 是整个太 阳能 电池组 件生产 线上 自动 化设 备 的一 部 分 ， 其 主要 任务 是 将 太 阳能电池组件从 托 盘搬 运到 生 产线 下一 单元 ， 根 据 生 产节 拍定制整个 工作 循环 小 于 3 0 s 。依据 太 阳能 电 池 组件 如图 1 所示 具 体的结 构 尺寸 和搬 运路 线 ， 设计 一 种大跨度横梁结构的搬运机械手 ， 其整体结构模型 如 图 2所示 。该搬 运机 械手 主要 由水 平 移 动单 元 、 竖 直移 动单元 、 真 空 吸盘 机械 手 和支 架组 成 。水平 方 向 上 由伺服 电机经 同步带驱 动整个机 械手在横梁上 做水 平直线 运动 。竖 直方 向上 由两个伺 服电机 同步运 动 经 滚珠 丝杠减速带 动 真空 吸盘 机 械手 做垂 直 直线 运 动 。 真空 吸盘机械手 由 1 5个真空 吸盘组成 ， 以保证 吸附 过 程 中太 阳能 电池 组件均匀 受力 。 收 稿 日期 2 0 1 01 20 9 作者简 介 丛 明 1 9 6 3 一 ， 男 ， 辽宁大连人 ， 大连理工大学机械工程学院教授 ， 博士 ， 研究方向为机器人技术及 应用 、 结构有 限元分析及优 化 Ema i l c o n g m d l u t ． e d u ． e ll 。 2 0 1 1年 9月 丛 明， 等 P L C伺 服 控制在 太 阳 能 电池 组件搬 运机 械 手 中的应 用 6 7 图 1太 阳能 电池 组 件 实物 图 1 ． 水 平 移 动单 元 2 ． 竖 直 移 动 单 兀 3 ． 真 空 吸盘 机 械 手 4 ． 支 架 图 2搬运机械手整体结构模型 搬 运机 械 手 整 体 吸 附 机 构 采 用 了 框 架 组 合 结 构 ， 材料选用铝合金型材 ， 采用高强度专用螺栓加弹 性扣件 的内部 隐藏连接方式 ， 坚 固而又可靠 。为 了 满 足 用 户生 产 的不 同规 格太 阳能 电池 组件 的 搬运 操 作 ， 搬运机械手真空吸盘 的位置 可以根据具体 的太 阳能 电池组 件 尺 寸进 行 调 节 ， 从 而增 强 了 搬 运 机 械 手 的适 应性 。 2 P L C与触摸 屏联合控制 系统 由于 P L C的人 机 交 互 性 能较 差 ， 操 作 人 员 难 以 直 观地 观测 P L C和 搬 运 机 械 手 系 统 的 工作 状 况 ， 故 需 配备 一个 上 位机来 配 合 P L C进行 控 制 。搬 运机 械 手 的控制系统主要包括 四个模块 P L C与触 摸屏联 合 控制 模块 、 执行 模 块 、 检 测模 块 和显 示 模 块 。根 据 搬 运机 械手 的功能 要 求 ， 在设 计 中 ， 上 位 机 、 下 位 机 、 执行模块和检测模块分别采用 了触摸屏 、 P L C 、 驱动 系统和传感系统 ， 其中显示模块 的功能由触摸屏 实 现 ， 控 制 系统 硬 件 结 构 如 图 3所 示 。触 摸 屏 作 为 操 作人 员与 P L C交 互 的工 具 ， 其 作 用 为 接 收 指 令 输 入 、 显示操作 画面和当前的工作状 态。P L C及 其扩 展 模块 接收 传 感 器 采 集 开 关 量 信 号 ， 同 时 通 过 串 口 与 触摸 屏实 时通 讯 ， 并 接 收 触 摸 屏 传 来 的 中 间 变 量 信号 ， 发送脉冲信号给驱动器 ， 驱动伺服电机带动机 械 手运 动 。 根据工作过程中所需要 I ／ O点数和控制 系统 的 功能要求 ， 可编程控制器选用了 Mi c r o P L C S I MA T I C S 7 ． 2 0 0系 列 C P U 2 2 4 ， 触 摸 屏 选 用 了 为 Mi c r o P L C S I MA T I C s 7 2 0 0应 用而 定 制 的具 有 图形 功 能 的 设 备 S I MA T I C H MI K T P 1 7 8 mi c r o 。伺服 电机 与驱 动 器选 用 了松下 公 司 的 A C伺 服 电机 MHMD 0 4 2 P 1 C和 驱 动器 MB DD T 2 2 1 0。 广 一 一 I 触摸屏 I l 蜂鸣器和指示灯 _P ￡ 一 一 一 一 j e 一 一 f i 一 i J 堡 曼 ． 。 当 塑 l 一 感系统 i 广 L 圃溺 ； i． ⋯ ．一 至 篓 _ ． j 图 3控 制 系统 硬 件 结构 图 3 P L C位 置伺服控 制方法 根据生产过程 中太 阳能 电池 组件 的搬运路线 ， 搬运机械手控制模式采用点到点 的位 置伺 服控制。 位置伺服控制过程通过 s 7 ． 2 0 0 C P U发送脉冲序列来 完成。C P U发送一个脉冲序列和一个方 向信号给伺 服驱动器 ， 经过驱动器转换 为响应 的电压信号提供 给伺 服 电机 ， 驱 动器 接 收 伺服 电机 反馈 信 号 ， 重 新 计 算伺服 电机运 动 目标 的位置 ， 达 到精 确控制伺服 电 机运动的目的 。图4是由 s 7 2 0 0 C P U和松下伺服 驱动器 MB D D T 2 2 1 0组 成 的位 置伺 服 控 制 系 统 其 中 M B D D T 2 2 1 0接收来 自 s 7 ． 2 0 0 C P U的 目标位置和方 向 的脉 冲信 号后 完 成 对定 位 单 元 的 闭环 位 置伺 服 控 匍I 。 S 图 4位 置伺 服 控 制 系 统 为 了实现 P L C的位 置伺 服控制 功 能 ， 使 用 “ MA P S E R V ” 指令库的功能块 ， 利用 Q O ． 0和 Q O ． 2或 Q O ． 1 和 Q 0 ． 3输 出脉 冲串来 控制 MB D D T 2 2 1 0实 现 位置 伺 服控制功能 ， 利用 I O ． 0和 I O ． 1作为参考点输入实现 整个系统 寻零 功能。在实现位置伺服控制 过程 中， 主要调 用 的库 函数有 Q O x C T R L ～ Q O X H o m e 、 Q O x Mo v e A b s o l u t e ～ Q O X Mo v e V e l o c i t y和 Q O x S t o p ， 它 们 的功能分别是使 能位控功能和传递全局参数 、 寻 找参考 点 位置 、 绝 对 位 置 运动 定 位 、 以预 置速 度 运 动 和停止 运 动 。通 过 几个 库 函数 的协 调 调 用 可 以达 到 准 确 的位置 伺服 控制 。 4控 制 系统 软 件 设 计 4 ． 1触 摸 屏程序 设计 要使触摸屏能够在生产 自动化 中完成控制和监 视 的任 务 ， 需 要 对 触 摸 屏 进 行 组 态 。触 摸 屏 的 软 件 设计 包括 画面设 计 和变 量 连接 。为 了实 现 系 统功 能 要求 和保 证 系 统 较 好 的人 机 交 互 性 能 ， 设 计 的触 摸 屏操作 画 面结 构如 图 5所示 。 6 8 组合 机床 与 自动化 加 工技 术 第 9期 零 点 开 关 到 托 盘 距 离 主 画面 零 的库 函数调 用格 式 如 图 6所示 。 I 位 l l 一I 机 械 手 到 托 盘 距 离 机 械 手 到 传 输 线 距 离 水 皿 和 垂 直 位 置 已 抓 取 工 件 数 及 清 零 伺 服 报 警 复 位 J 耋 I 5触 撰 屏 操 作 l笪 J 面 结构 触 摸屏 不 仅 监 控 和 显 示 当前 的工 作 状 态 ， 而 且 也 要对 P L C的 动 作 进 行 控 制 。所 以需 要 设 置 变 量 ， 建 立触 摸屏 组态 变 量 和 P L C的响应 I ／ 0点 及各 个 存 储 单元 之 间 的关 系 ， 创 建 相 应 的事 件 ， 实 现 触 摸 屏 组 态 功能 对 P L C参 数 的输 入 ， P L C 当前 值 在 触 摸 屏 上 的输 出功 能 。最 后 在 触 摸 屏 和 P L C之 间建 立 通 讯 ， 达 到实 时 的监测 和 控制 。 4 ． 2 PLC程 序设 计 4 ， 2 ． 1 P L C的 I ／ 0分配 根 据功 能要 求 和位 置 伺 服 控 制 系统 中 I ／ 0 口的 绑 定 ， P L C的 I ／ 0分 配如 表 1所示 。 表 1 P LC 的 I ／ O 口分 配 表 输入点 输 出点 地址 功 能 地 址 功 能 I O 0 X参考点 Q 0 ． 0 x轴脉冲输出 l O 1 z参考点 Q 0 1 z 1 、 z 2轴脉 冲输 出 m． 2 X正 限位 Q 0 ． 2 x轴方向输出 l O ． 3 x负限位 Q 0 ． 3 Z 1 、 z 2轴方向输出 I O ． 4 料位开关 Q 0 ． 4 【 O 5 托盘升 Q 0 ． 5 报警复位 I O ． 6 上限位 Q 0 ． 6 真空 吸 I O ． 7 暂停 Q 0 7 真空放 I 1 ． O 自动许可 Q 1 ． 0 外部启动 I l 1 x伺服报警 Q 1 1 报警灯 I 1 ． 2 z 1伺服报警 Q 2 ． 1 气缸 下降 I 1 ． 3 z 2服报警 Q 2 ． 2 气缸 上升 4 x轴定 位完成 I 1 ． 5 z轴定位完成 I 2 ． O 下降到位 l 2 ． 1 上升 到 位 I 2 ． 2 真 空 表 吸 到 位 提 示 I 2 ． 3 真空表放到位提示 4 ． 2 ． 2系统 初始 化 机 械 手操 作 前 ， 其 水 平 和垂 直 方 向 的位 置 均 是 随意 的 ， 所 以在 开 机后 ， 进 入 自动 循 环 之前 需 要 对 系 统 进行 初 始化 。具 体操 作 如下 z轴 归 零 ， 轴 归 零 。 机 械手 的机 械 零 位 在 工 作 空 间 的 左 上 角 处 ， 两 坐 标 轴 归零 均采 用 P L C库 函数 中 的 Q O X H o m e 。X轴 归 Q 0 _ 0 _ H o me E N P卜 E X E C U ～ 0- P o s i t i o n Do n e 嘲 方 t J O o ． 2 ． S t a r t D i r E r r o r 腹位完成 V 5 0 0 ． 5 腹位报警 V 5 0 0 6 图 6 X轴 归零 库 函 数 调 用 格 式 在 初 始化过 程 中 ， 为 了尽 量 减 少 归零 的 时 间 ， 采 用 的轨 迹 路线 如 图 7所示 。 图 7归 零 轨 迹 路 线 4 ． 2 ． 3 P L C程 序设 计 P L C程 序 设 计 采 用 了 模 块 化 的 程 序 设 计 思 想 。机 械手 的动 作 实 现 均 在 子 程 序 中完 成 ， 主 程 序 只 负责初 始 化 和 调 用 子 程 序 ， 保 证 了 良好 的维 护 性 和清 晰 的代 码 结 构 ， 增 强 太 阳 能 电 池 组 件 搬 运 机 械手 P L C控制 程 序 的可 读 性 和调 试 过 程 的方 便 性 ， 并 且方 便用 户根 据后 续 提 出的新要 求 完善 程序 。 机 械手归零 后 ， 根 据机 械手 的 实 际工况 和 避 障要 求 ， 在 自动运 行过程 中选取 的轨迹 路线如 图 8所示 。 Z D C D 图 8机 械 手 运 行 轨迹 机械 手归 零后 处 于 0点 ， 自动 程 序开 始 运 行 后 ， 机械 手 以零 点 0作 为起 始 点 ， 当前 工 序 结 束 后 机 械 手接 受 自动许 可 指令 进 入 循 环 。运 行轨 迹 中 的各 节 点坐 标 由操作 者 经触 摸屏 传递 给 P L C ， 机 械 手 自动循 环示 意 图如 图 9所 示 。 5调试与应 用 将 P L C程序 和触 摸 屏 编 辑 界 面 通 过 P C机 下 载 到可 编程 控 制 器 和 触 摸 屏 中， 通 过 手 动操 作 界 面 将 太 阳能 电池组 件搬 运 路 线 中对 应 的节 点 数据 测 量 出 并通 过触 摸屏 存储 到 P L C存储 器 中。 由于所 搬 运 的 太 阳能 电池 组 件 体 积 和 重 量 较 大 ， 为 了保 证 搬 运 过 程 的平稳 性 ， 且 限 制 整 个 循 环 时 间小 于 3 0 s ， 故 需 对 各段 运行 速 度 和 加 速 度 进 行设 定 ， 经 试 验 可 知 水 平 速度 脉 冲为 1 0 0 0 0 0 ． 3 2 m ／ s ， 垂直 速 度 脉 冲 为 5 0 0 0 2 0 1 1年 9月 丛 明， 等 P L C伺服控制在太阳能电池组件搬运机械手中的应用 6 9 0 ． 1 6 m／ s ， 加 速 度 时 间 均 采 用 0 ， 5 s时 循 周 期 为 2 6 s 。机 械 手试运 行后 ， 系统稳 定性 能较 好 ， 并 且 整个 系统 振动 较小 ， 符合 设计 要求 。 系统初始化运 行到0 点 3 -自 动许可 从D 或 点运行l 到 点 l 十z 轴 定位完 成 机械手吸取太 l 阳能电池片 l { I 真空度到值 从 点运行到B l 点 l 4 - z 轴 定 位 完 成 从口 点运行到C l 点 l 从C 点运行到 l D点 l 十z 轴定位 完成 机械手放太阳 l 能电池组件l 十 真空度到值 从D 点运行到 l C点 I 十z 轴定 位完 成 从C 点运行到 l B 点 I 图 9机 械 手 自动 循 环 示 意 图 6 结束语 本 文设 计 了一 种 太 阳 能 电 池 组 件 搬 运 机 械 手 ， 并搭建 由 P L C和 触 摸 屏 组 成 的位 置 伺 服 控 制 系 统 。 提 出一种 基 于 P L C的位 置 伺 服 控 制 方 法 ， 利 用 P L C 中 “ MA P S E R V” 指 令 库 的 功 能 块 实 现 了 太 阳 能 电 池组 件搬 运 过 程 的 自动 化 。 经 现 场 调 试 与 实 际 应 用 ， 搬 运 机械 手 自动 运行 过 程 具 有 高 的可 靠 性 和 稳 定性 ， 且 整个操 作 过程 具 有 简 单 与安 全 等 特点 ， 满 足 用户 对不 同型号 太 阳能 电池 组 件 的搬运 要 求 。 同 时 搭建 的控 制 系 统 具 有 较 强 的 I ／ O扩 展 能 力 ， P L C程 序设计 采 用 了模 块 化 设 计 思 想 ， 可 为 后 续 生 产 线 设 备 的完善 与改 造提 供较 大 的空 间。 [ 参 考文献] [ 1 ]刘 自龙．机械手在压力机生产线上应用的安全控制 [ J ] ． 设计与研究 ， 2 0 i 0 7 7 3 7 5 ． [ 2 ]X i a o Y a n j u n ，Z h o u J i n g ，G u a n Y u m i n g ，e t a 1 ．T h e R e s e a r c h o f Aut o ma t i c Mo l d Ma ni p ul a t o r Co n t r o l S y s t e m o n P L C[ C] ．I n t e r n a t i o n a l C o n f e r e n c e o n I n f o r m a t i o n E n g i n e e r i ng， 2 01 0 2 0 0 2 03． [ 3 ]李伟光 ， 刘铨权 ， 许 阳钊 ， 等．基 于 P L C和触 摸屏 的 D V D 盒 自动化生产 线设 计 [ J ] ．机械 与 电子 ， 2 0 0 9 5 7 1 7 4． [ 4 ]李晓宁．例说西 门子 P L C s 7 2 0 0 [ M] ．北京 人 民邮电出 版社 ， 2 0 0 8 ． [ 5 ]胡佳 丽 ， 闫宝瑞 ， 张安震 ， 等 ．s 7 2 0 0 P L C在伺服 电机 位置 控制中的应用 [ J ] ．自动化仪表 ， 2 0 0 9 ， 3 0 1 2 3 8 4 1 ． [ 6 ]陈娟 ， 周猛 ， 薛钧义．面向对象 的程 序设计方 法在 P L C程 序设 计 中的 应 用 [ J ] ．西北 民族 学 院学 报 自然科 学 版 ， 2 0 0 0 ， 2 1 3 7 2 4 2 7 ， 3 7 ． 编辑李秀敏 上接 第 6 5页 4实 践 应 用 采用本文所提出的方案开发 的系统已在 山东济 宁博 特丝 杠 厂 中 实 际 应 用 ， 实 践 证 明 此 系 统 具 有 良 好 的精度 和稳 定性 。 图 5是 用 开发 的测 量 系统 测 量 一 根 丝杠 的动 态误 差报 告 。 滚珠篮缸萱 I 毋态行褒 量瓤告 辕鼍撵 鼙 辅孵1 目 杩∞钾 I鞫嘻 I a R ,l i g 婚璩照辐嘲嘲 麓I 邋 赶●I l I 粤 4 0 0 G 7 3 6●薯， 2 8 ． 2 6 1 程囊 i 睫 曹黛 爰藏 纛 1 ∞ 赫 藏 0 0 0 _ll_ 0 - 0 0 0_ll ∞ 鬻 l ‰ - l l _≯ } _l 0 0 0 0 l l 0 P 黝 嚣 瓣 l l_0 l 薹 鬟 0 0 舶． 壤 缝 溅 鬻 ■ 了 0 一 0 0 _ l_ 0 l i 0 _ lll l l _◆ 0 慧 l 0 0 l l _ 一 孽 2 l B 4 3 2 帕9 黼 t O e t l 采嗣嘲 痰轴 蠢■融I 麓 邕托蛾 顶 目 兜 墓 绷 盈I 港糍 P I 媾 疆 獭疗 麓内平 端孵 疆麓 麓 { S 傩尊 麓静黛鼹 M 翻 棚内霸 穗摹 猎 I v h 1 1 ’ a 霉 赛戆 奠蠢姻敷L 抛 O 糖t ∞喇隈如蠢雌 V ∞ 口 S 1 3 ,2 露 糕} 睫C ． e 椭内 行麓强捌 I 7 , 7 鼙嘲 瀚 it ,．t 0 图 5动态误差报告 [ 参考文献 ] [ 1 ]刘莉 ， 李世伟 ， 宋 现春 ， 等．精 密滚珠 丝杠 螺旋线 误差 动 态测 量方法 的研究 [ J ] ．组 合机 床 与 自动话 加 工技 术 ， 2 0 0 7 5 5 96 6 ． [ 2 ]于复生 ， 沈孝 芹 ， 张 国雄 ， 等．滚 珠丝 杠误差 检测 的速度 自适应系统 [ J ] ．制造技术与机床 ， 2 0 0 4 4 8 58 7 ． [ 3 ]宋现春 ， 张强．基于 F P G A 的滚 珠 丝杠 螺旋 线误差 动 态 检测系统 [ J ] ．山东建筑大学学报 ， 2 0 0 8 ， 2 3 1 2 7 3 0 ． [ 4 ]厉超．三米滚珠 丝杠 螺距 精度 动态测 量 系统研究 [ D] ． 济南 山东大学 ， 2 0 0 7 ． [ 5 ]Y i n A i h u a ， e t c ． A C o m p u t e r A i d e d B a l l s c r e w D y n a m i c L e a d e r r o r Me a s u r i ng Sy s t e m． Pr o c e e d i 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