Al含量对(Ti,+Al)N膜结构性能影响的研究进展.pdf

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第6 0 卷第3 期 20 08 年8 月 有色金属 N o n f e r r o u sM e t a l s V 0 1 .6 0 .N o .3 A u g u s t 20 08 A 1 含量对 T i ,A 1 N 膜结构性能影n 向的研究进展 李国芳1 ,王顺花1 ,石宗利2 1 .兰州交通大学机电学院,兰州7 3 0 0 7 0 ;2 .湖南大学材料科学与工程学院,长沙4 10 0 8 0 摘 要 T i ,A 1 N 是在T i N 基础上发展起来的一种多元膜,目前A 1 元素对 T i ,A I N 膜的性能影响研究较多,但是不够系 统,而且存在一些矛盾之处。综述了~元素在 T i .~ N 膜中的作用机理和A l 铝含量对 T i ,A I N 膜结构、抗高温氧化、硬度、耐 磨性、结合强度等的影响。指出了 T i 。A D N 膜的发展方向。 关键词金属材料; T i 。A I N 膜;综述;结构;性能 中图分类号T G l 7 4 .4 4 ;T B 3 8 3文献标识码A文章编号1 0 0 1 0 2 1 1 2 0 0 8 0 3 0 0 5 3 0 5 T i N 镀层是2 0 世纪8 0 年代以来一直引人关注 的一种防护镀层。由于其硬度高、摩擦系数低、耐磨 耐蚀性能好面倍受青睐【1 J ,在刀具、钻头等工具中 能使平均寿命提高2 ~1 0 倍【2 1 。然而,T i N 镀层也 存在一些不足之处,限制了其进一步的扩大应用。 其一是该镀层的抗氧化性能较差,在较高温度下 5 5 0 ℃ ,其化学稳定性变差,易氧化形成T i 0 2 [ 3 1 ,此 外,高温下依附在膜表面的其他元素也易向膜内扩 散导致深层性能的下降。其二是镀层的韧性较差, 与基材的结合力尚不够理想。为了解决这一问题。 通过合金化的途径开发了一系列抗氧化性能优异的 多元超硬膜,如 T i ,舢 N , T i ,Z r N ,T i C ,N 等, 这些多元合金硬质膜比T i N 具有更高的硬度、耐磨 性及耐蚀性能,其韧性也进一步得到改善,其中 T i , ~ N 被认为最有前途。目前A 1 元素对 T i ,~ N 膜的性能影响研究较多,但是不够系统,而且存在一 些矛盾之处,综述了灿含量对 T i ,~ N 膜结构性 能影响的研究进展。 1 础对膜结构及表面形貌的影响 T i N 的晶格结构为面心立方N a C l 结构,并且在 含氮量为3 7 .5 %~5 0 %内时以一种含氮固溶体的 形式存在。在 T i ,A 1 I N 结构中,舢的原子半径 0 .1 4 3 n m t , b 于T i 原子的半径 0 .1 4 6 n m ,因此面 心立方晶体结构的A 1 原子可置换T i N 中T i 原子 而使T i N 晶体结构产生畸变,使晶面间距减小,形 收稿日期2 0 0 6 1 2 0 1 基金项目兰州交通大学青蓝人才资助项目 2 0 0 2 [ 1 4 5 ] 作者简介李昌芳 1 9 7 9 一 .男,山西平遥县人.硕士生。主要从事 硬质薄膜等方面的研究。 成 T i ,A 1 N ,其晶体结构如图1 所示。不同的舢 含量,会产生不同的结构。W a h l s t r o m [ 4J 等研究了不 同魁含量T i 卜。趟。N 膜的相结构变化规律,结果表 明,z ≤0 .5 2 ,膜由单相B 1 一N a C l 结构的T i 卜~,N 0 0 2 晶粒组成。0 .5 2 z ≤0 .5 9 ,膜由两相B 1 一 N a C l 结构的贫A t N 的T i 卜~。N 0 0 2 晶粒和纤 锌矿结构的富A 1 的T i 卜。~N 0 0 0 2 和 1 0 1 1 晶 粒组成。0 .5 9 z ≤0 .8 6 ,膜由单相多晶纤锌矿结 构的富A 1 N 的T i l 一~。N 0 0 0 2 和T i 卜。~N 1 0 i l 晶粒组成。z 1 ,膜由单相纤锌矿结构的 趾N 0 0 0 2 晶粒组成。 6 图1 T i 。A 1 N 单胞晶体结构 F i g .1C r y s t a ls t r u c t 山.eo f T i .A I N K o n t e r L 5J 等认为,由于甜的原子半径小于T i 原子的半径,随着~含量的增加,晶格常数减小,而 W a h l s t r o m E6 J 等人以过渡金属氮化物的价键特征对 此做出解释。在T i N 中存在着T i 原子的3 d 电子向 N 原子的转移。~原子代替T i N 晶格中的T i 原子 后减弱了这种效果,使N 原子的有效半径减小,从 而使单位晶胞减小。丁晖[ 7 j 等认为T i ,砧的原子半’ 径差别很小,不足以引起如实验所示的晶格常数变 万方数据 有色金属第6 0 卷 化,第二种解释更具有其合理性,晶格常数随~含 量变化关系如图2 所示。 当 T i ,~ N 镀层为面心立方结构时,随~含 量的增加, 1 1 1 择优取向明显减弱。 2 0 0 择优取 向明显增强,在舢含量较高时,膜趋向于随机生长。 ~的引入改变了各晶面的晶面能,同时引起晶格畸 变,产生畸变能,择优取向的变化则是这些变化共同 作用的结果。张德元[ 8 ] 借助于s E M 发现灿对膜表 面形貌,除粗糙度略有增加外。无明显影响。 图2 T i .触 N 的晶格常数随触含量的变化规律 F i g .2 R u l eo f T i ,A I Nl a t t i c ew i t hA Ic o n t e n tc h a n g e 2 ~含量对 T i ,础 N 膜抗高温氧化 性能的影响 T i N 的氧化开始温度为5 3 7 ℃左右。在5 5 0 ℃以 上会迅速地被氧化为T i 0 2 ,而 T i ,A 1 N 膜的抗高 温氧化温度可达8 0 0 ℃,其氧化是扩散反应,过程满 足A r r h e n i u s 公式⋯。 乔学亮f 1 0 】等认为膜的抗氧化性能实际是使膜 中的某种元素选择性氧化,在膜表面形成一层保护 性氧化层,以此避免基体在高温下的持续氧化。膜 的抗氧化性理论上主要取决于膜的氧化速度以及膜 的厚度.当加入剐后,由于鸽0 3 要比T i 0 2 稳定, 因而 T i ,A 1 N 膜在高温氧化时将会优先形成 ~2 0 3 ,随着膜中越含量的增加,膜表面所形成的 鸽0 3 会更完整直至覆盖整个表面。由于A 1 2 0 3 的 致密度大大高于T i Q ,而且氧在A t 0 3 的扩散速度 远低于在T i 0 2 中的扩散速度,且氧在m 1 2 0 s 中的起 始扩散温度明显高于它在T i 0 2 中的起始扩散温度。 极大地抑制了 T i ,A 1 N 膜内层的继续氧化,从而 提高了膜的抗氧化能力。当温度超过8 0 0 ℃以后, 由于A 1 2 0 3 保护层稳定性下降,不能阻止膜的进一 步氧化,因而氧化速度急剧增加。在~含量低 含 量 0 .2 5 时,由于舢含量不足。难以形成完整、致 密连续的~2 0 3 保护膜,而形成的~2 0 3 和T i 0 2 膨 胀系数不同,形成微裂纹,为0 2 扩散提供通道。由 于~2 0 3 和T i 0 2 的混合氧化膜不致密,保护性差, 所以氧化依旧进行的较快。王永康[ 9 ] 等的研究表 明,随着膜~含量的不同,各膜的抗高温氧化性能 从优到劣依次为T i o .7 仙.3 N ,T i o .5 仙.5 N ,T i 0 .9 3 A t o .0 7 N 和T i N 。 3 砧含量对 T i ,灿 N 膜硬度的影响 如前所述,趾引起的择优取向、晶格畸变以及 晶体结构变化等均对膜硬度有影响。由于~原子 置换T i N 中的一部分T i 原子使晶格产生畸变,晶 格畸变度大的膜晶界较多,位错也较多且不易滑移 而导致膜硬度较高[ 1 1 ] 。多数研究认为随砧含量的 增加,膜硬度升高,当m 含量超过一定值以后,又出 现下降的趋势,但这个临界~含量值又略有差异, 这可能与制备方法等工艺因素有关。如马胜利[ 1 2 】 等用P C V D 制备了T i l 一~N 膜,当x 为0 .6 0 时, 硬度达到最大值 约3 5 G P a ,随后开始下降,当X 为 0 .8 0 时,硬度仍保持在3 0 G P a 左右,当X 超过0 .8 3 时.硬度显著下降。李明升[ 1 3 ] 等用电弧离子镀的制 备方法,当X 值在0 .3 3 左右,硬度达到最大值.然后 随着A 1 含量的进一步增加,硬度开始下降,当x 值 由0 .6 4 增加到0 .7 9 时,膜的硬度迅速下降至9 8 0 0 k N /m m 2 左右,从氮化物和碳化物的硬度与键能及 原子间隙大小有直接关系给出解释。在价电子浓度 v E C 为8 .4 ~8 .6 时,硬度达到最大值,而计算表 明T i 0 .6 7 A 1 0 .3 3 N 的价电子浓度为8 .6 。刚好为达到 最大硬度的最佳价电子浓度。膜硬度与~含量之 间的关系如图3 所示3 4 砧含量对 T i ,~ N 膜摩擦学性能 的影响 张德元u 4 ] 等采用多弧离子镀的制备方法,认为 ~对 T i ,A 1 N 膜耐磨性的作用具有双重性。一方 面~的引入不破坏原膜层的化学稳定性,由于~ 的引入使膜的整体硬度大幅度提高,在磨损过程中 表面几个原子层中舢发生氧化,而A t 2 0 3 具有更高 的硬度,趾含量增加,F e 与 T i ,A t N 膜层之间的摩 擦系数下降,减磨性能提高。另一方面~使膜层的 致密性下降,~含量增加时,膜基结合力下降,~含 量增大至一定程度时,导致膜层早期失效。 硬膜在应力的反复作用下表面区域将产生一个 复杂的塑性变形区,随着应力场的反复作用,膜层就 万方数据 第3 期李国芳等A 1 含量对 T i ,~ N 膜结构性能影响的研究迸展5 5 会在表层产生裂纹,并不断长大、连接。当垂直的裂 纹和水平的裂纹相连接后,片状的磨屑就会剥落。 材料表面的磨损更可以继续通过变形、裂纹的形核 和长大、磨屑断裂的方式反复进行。由于 T i ,~ N 膜的韧性比T i N 膜好,在 T i ,A 1 N 膜中裂纹不易 形成,而且即使裂纹形成后也不容易扩展,从而使它 的磨损过程呈现为低磨损率的缓慢磨损型[ 1 1 】。 总之,多数研究表明,随着趟含量增加,摩擦系 数、临界载荷随A 1 含量的增加而减小,减摩性能提 高。镀层由以粘着磨损为主过渡到以磨粒磨损为 主,以微剥落为主要磨损形式,伴随着少量划伤,与 钢对磨时其粘附倾向很小。 P E E ● Z 三 趟 髫 图3 T i 。A i N 膜硬度随A I 含量的变化【”】 F 遮.3H a r d 朗e 鹞o f T i ,P d Nw i t hA Ic o n t e n tc h a n g e [ 1 ’】 5 ~含量对 T i ,~ N 膜结合强度的 影响 采用多弧离子镀的方法,一般认为与T i N 膜相 比, T i ,A 1 N 膜中由于舢液滴的存在,使膜的表 面质量和致密性有所下降,导致 T i ,~ N 膜与基体 的结合力下降。然而随着研究的逐步深入,通过工 艺的调整、方法的改进,这方面有了很大的突破。如 文献[ 1 5 ] 报道,在高速钢表面镀T i N 膜层时,划痕 试验的膜基结合力值为3 3 N ,制备的 T i 。~ N 膜层 的结合力最小值为3 5 N ,最大值可达4 1 N ,结果如表 1 所示,随着铝的加入,膜基结合力有较大程度的提 高。然而。由于膜基结合力除与舢含量有关外,还 与基体表面粗糙度、基体温度、过度层等工艺因素有 关,因此~的加入能有较大程度提高膜基结合力还 有待商榷。 李明升C 1 3 ] 等采用电弧离子镀的方法,在 1 C r l l N i 2 W 2 M o V 不锈钢表面上沉积了 T i ,舢 N 膜,结果显示在z 0 .5 0 时,随着~含量的增加, 膜基界面的结合强度缓慢上升,之后随着趟含量的 增加,结合强度有所降低,~含量较高时,膜与基体 之间的结合强度低于相同条件下沉积的T i N 膜和 A 1 N 膜。认为在赳含量较低时,结合强度增加可能 与膜的硬度及韧性的增加有关,~含量较高时,结 合强度反而下降可能是低的膜硬度及不同的晶体结 构造成的。图4 是T i l 一。烈。N 与基体之间的结合 强度与~含量之间的关系。 表1 不同铝含量时的膜层硬度和 膜基结合力 划痕法测定 ’ T a b l e1l - l R l “ d e n e 船a n da d h e s i o ns t r e n g t ho f 1 r i ,A I Nw i t h A Ic o n t e n tc h a n g e D e t e r m i n a t i o no fs c r a t c h e s ” j /% 24 681 0 膜基结合力/N3 53 84 14 03 9 荟 { 擎 繇 磋 擎 图4T i l - ,A I ,N 与基体之间的结合 强度与A l 含量之间的关系 F 电.4A d h e s k ms 咐l g t ho f ∞,h 1 Nw i t h ~e o t l t e n tc h a n g e 6~含量对 T i ,舢 N 膜残余应力和 表面脆性的影响 膜的表面脆性是决定膜强化效果的一个极重要 的因素,只有较低的表面脆性才能保证膜在使用过 程中不会因开裂、剥落而失效,影响膜表面脆性的主 要因素是膜的残余应力和厚度。乔学亮【1 6 ] 等利用 刚性球体压人法测定了 T i ,~ N 膜的表面脆性。 结果表明,随着膜中趾含量的增加, T i 。A 1 N 膜 的表面脆性不断降低,当~含量在2 2 .5 %~3 0 % 的范围内时膜的表面脆性最低,此后随着~含量的 进一步增加,膜的表面脆性又呈上升的趋势。对膜 中的残余应力的计算结果表明,随着~含量的增 加,残余应力呈先降后升的趋势.认为A 1 的加入 使得膜的内应力下降,从而减轻了膜的表面脆性。 7 灿含量对 T i ,灿 N 膜的冷热疲劳 性能的影响 T i N 膜有大量的针孔和球状的T i 液滴缺陷,热 万方数据 有色金属第6 0 卷 疲劳裂纹主要产生在这些地方,也产生在镀层与基 体的界面处。陈建国I n ] 等采用多弧离子镀的制备 方法,认为由于 T i ,A 1 N 镀层的针孔和液滴缺陷大 大减少,且液滴主要是较大铺展开的铝液滴,因而对 抗氧化性和热疲劳性能均有好处。在铝液滴处基本 上找不到热疲劳裂纹。~大大改善了 T i ,舢 N 膜 的热疲劳性能,在交变的热应力作用下,疲劳微裂纹 首先产生于镀层表面的缺陷处或镀层与基体的界面 处,由此使基体暴露而氧化。在热循环过程中氧化膜 与基体结合性能不好,易在热应力作用下开裂迸一步 氧化而形成氧化腐蚀沟,从而使裂纹加速扩展。 由于 T i 。A 1 N 较T i N 镀层具有较高的强度和 韧性,而且在高温条件下具有较好的结构稳定性,从 而能阻止镀层在空气中加热时氧化过程的发生,因 而 T i ,A 1 N 在冷热循环的条件下具有较高的热疲 劳抗力[ 17 | 。 8A 1 对 T i ,趟 N 膜的耐腐蚀性能 对于 T i ,砧 N 与T i N 的耐蚀性比较说法不 一。如蒋生蕊等【1 8 J 用直流磁控溅射沉积了 T i ,A 1 N 膜,认为尽管趾的选择性氧化形成了A 1 2 0 ,保护 层,但是 T i ,~ N 的耐蚀性却不如T i N 好。而于 力郎【1 9 ] 用空心阴极离子镀工艺制备的 T i ,~ N 膜,认为由于趾的优先蒸发,界面处产生富舢层, 使膜中的疏松柱状晶组织变为更致密且无贯穿的柱 状晶组织,从而减弱了单一T i N 膜中微孔的作用, 参考文献 与T i N 膜相比,添加~后的 T i ,A 1 N 膜具有强烈 的 1 1 1 择优取向,膜以 1 1 1 密排面平行于基体表 面生长,使膜在晶胞尺度上的微观小平面更为致密, 因而 T i ,~ N 具有比T i N 更好的耐蚀性。耐腐蚀 性能与膜的表面特性有关,不同的方法制备出膜的 表面特性是不一样的,因而会有不同的耐蚀性能。 9 鲇对 T i ,灿 N 膜颜色的影响 不同~含量 T i ,A 1 N 膜的颜色变化如表2 所 示,其影响机理鲜有报道。 表2 不同A l 含量 T i ,A 1 N 膜的颜色变化[ 圳 T a b l e2C o l o r so f T i ,A I Nw i t hA Ic o n t e n tc h a n g e 膜组成T i N9 .2 5 %A I2 1 .7 8 %A t2 7 .0 5 %A I5 0 %A /A h q 1 0结语 综上所述,趟的加入改变了膜的结构,从而提 高了膜的性能,但是目前就~对膜的影响机理认识 还不够,许多研究还存在很多问题和矛盾之处,关于 ~对 T i ,A 1 N 膜的性能影响研究应侧重几个方 面。 1 舢对膜的结构演变过程尤其是高温下膜的 稳定性机理研究。 2 针对不同的制备方法系统开 展趟含量相对变化对膜性能尤其是机械性能的影 响及其机理的研究。 3 纳米多层膜的研究是今后 膜的主要发展方向,根据~含量对膜的影响,考虑 T i A 1 .N 纳米梯度多层膜的开发和应用。 [ 1 ] M o l a l r i u sJM ,S k o r h o n e rAS .C o m p a r i s o no fc u t t i n gp e d o r m a n c eo fi o n p l a t e dN b N ,z r N ,T i Na n d T i A l Nc o a t i n g s [ J ] . S u r fC o a t ,1 9 8 7 ,3 3 3 1 1 7 ~1 3 2 . [ 2 ] R a n d a w aH ,J o h n s o nPC .Ar e n e wo fc a t h o d i ca l ep [ a s a m ad e p o s i t i o np r o c e s sa n dt h e i ra p p l i c a t i o n s [ J ] .S u r f &C o a t i n gT e c h , 1 9 8 7 ,3 1 2 3 0 3 3 1 8 . [ 3 ] V a n c o i l l eE ,C d i sJP ,R o c sJR .M e c h a n i c a lp r o p e r t i e s0 1 1h e a tt r e a t e da n dw o r t r lP V DT i N , T i ,A 1 N , T i N b a n dT i C , N e o a t i n g sa n dm e a s u r e db yn o n i n d e n t a t i o n [ J ] .T h i nS o l i dF i l m s ,1 9 9 3 ,2 2 4 1 1 6 8 1 6 9 . [ 4 ] W a h l s t r o mU ,H u l t m a nL ,S u n d g r e nJE .C r y s t a lg r o w t ha n dm i c r o s t r u c t u r eo fp o l y e r y s t a l l i n eT i 卜A I ,Na l l o yf i l m sd e p o s i t e d b yu l t r a h i g h v a c u l l r nd u a l t a r g e tm a g n e t r o ns p u t t e r i n g [ J ] .T h i nS o l i dF i l m s ,1 9 9 3 ,2 3 5 2 6 2 6 4 . [ 5 ] K o n t e rO ,M u n zWD .I n d u s t r i a ld e p o s i t i o no fb i n a r y ,t e r n a r y ,a n dq u a t e r n a r yn i t r i d e so ft i t a n i u m ,z i r c o n i u m ,a n da l u m i n i u m [ J ] .JV a eS dT e c h n o l ,1 9 8 7 ,h 5 4 2 1 7 3 2 1 7 6 . [ 6 ] D e m i sT ,G e o r g eJ .H i g ht e m p e r a t u r em i c m h a r d n e s sc o a t i n g sp r o d u c e db yp h y s i c a la n dc h e m i c a lv a p o rd e p o s i t i o n [ J ] .T h i n ∞M f i l m s ,1 9 8 7 ,B 3 4 1 9 3 6 . [ 7 ] 丁晖,刘颂,陈可炜. T i ,A 1 N 镀层的结构及氧化行为[ J ] .沈阳工业大学学报,2 0 0 1 ,2 3 1 4 6 . [ 8 ] 张德元,邓鸣,彭文屹,等.多弧离子镀 n ~。 N 系超硬膜中A l 的作用[ J ] .材料科学与工程,1 9 9 7 ,1 5 2 6 1 6 4 . [ 9 ] 王永康,熊仁章,李炳生,等.A l 含量对“ H 1 一x A l x N 膜组织结构的影响[ J ] .宁波大学学报 理工版 ,2 0 0 2 ,1 5 3 加一4 1 . [ 1 0 ] 乔学亮,游少鑫,吴一平,等.砧含量对 T i ,A I N 膜抗氧性能的影响[ J ] .热加工工艺。1 9 9 5 , 1 2 6 2 7 . [ 1 1 ] 陈建国,程宇航,游少鑫,等. T i ,A I N 膜的制备及性能[ J ] .表面技术,1 9 9 8 ,2 7 4 1 5 1 7 . 万方数据 第3 期 李国芳等A 1 含量对 T .,~ N 膜结构性能影响的研究迸展5 7 [ 1 2 ] 马胜利,徐健,介万奇,等.P C V D 制备T i l 一。~N 硬质膜的结构和硬度[ J ] .金属学报,2 0 0 4 ,4 0 6 6 6 9 6 7 2 . [ 1 3 ] 李明升,王福会,王铁钢,等.电弧离子镀 T i ,A 1 N 复合膜的结构和性能研究C J ] .金属学报,2 0 0 3 ,3 9 1 5 5 6 0 . 【1 4 ] 张德元,邓鸣,彭文屹,等.离子镀T i A I N 超硬膜耐磨性研究[ J ] .金属热处理学报,1 9 9 7 ,1 8 2 4 0 4 4 . [ 1 5 ] 刘德浚,王少刚,姚正军,等.多元超硬膜T i A I N 的制各及其组织性能研究[ J ] .热加工工艺,1 9 9 9 , 6 2 2 2 3 . [ 1 6 ] 乔学亮,吴一平,陈建国,等.~含量对 n ,A I N 涂膜表面脆性的影响[ J ] .华中理工大学学报,1 9 9 5 ,2 3 1 2 9 6 9 8 . 【1 7 ] 赵建生,徐强,吴一平,等. n ,~ N ,T d q 镀层的冷热疲劳性能研究[ J ] .兵器材料科学与工程,1 9 9 5 ,1 8 6 1 9 2 3 . [ 1 8 ] 蒋生蕊,彭栋梁,赵学应,等.直流磁控溅射沉积 T i ,~ N 膜的研究[ J ] .金属学报,1 9 9 4 ,3 0 5 1 3 2 3 2 一B 2 3 7 . [ 1 9 ] 于力郎,丰群,于志明,等.离子镀T i 趾 N 膜的结构与耐蚀性[ J ] .腐蚀科学与防护技术,1 9 9 9 ,1 1 2 8 4 8 8 . [ 2 0 3 吴一平,乔学亮,陈建国,等.多弧离子沉积 1 r i ,A I N 膜的制备工艺[ J ] .兵器材料科学与工程,1 9 9 5 ,1 8 5 2 5 2 9 . R e s e a r c hP r o g r e s si nA IC o n t e n tE f f e c to nC r y s t a l l i n e S t r u c t u r ea n dP r o p e r t i e so f T i 。A I NF i l m L fG u o - f a n 9 1 ,W A N GS h u n .h u a l ,S H IZ o n g - l i 2 1 .C o l l e g eo fM e c h a n i c a l E l e c t r o n i cE n g i n e e r i n g ,L a n z h o uJ i a o t o n gU n i v e r s i t y ,L a n z h o u7 3 0 0 7 0 ,C h i n a ; 2 .S c h o o lo yM a t e r i a l sS c i e n c ea n d E n g i n e e r i n g ,H u n a nU n i v e r s i t y ,C h a n g s h a4 1 0 0 8 0 ,C h i n a A b s t r a c t T i ,A 1 Ni sak i n do ft e r n a r yf i l mb a s e do nt h eT i Nf i l m .A tp r e s e n t ,m u c hr e , s e a r c h e si ne f f e c to fA I c o n t e n to np r o p e r t i e so f T i ,A 1 Nf i l ma r ec a r r i e do u t ,b u tn o ts y s t e m a t i c ,a n ds o m ev i e w p o i n t sa r em u t u a l l y a n t i n o m y .T h er e s e a r c hr e s u l t So fa c t i o nm e c h a n i s mA Ie l e m e n ti n T i ,A I Nf i l ma n dt h ee f f e c to fA Ie l e m e n to n t h ec r y s t a l l i n es t r u c t u r e ,o x i d a t i o nr e s i s t a n c ei nh i g ht e m p e r a t u r e ,h a r d n e s s 。w e a rr e s i s t a n c e ,a d h e s i v es t r e n g t h e t c .o f T i ,A 1 Nf i l ma r es u m m a r i z e d ,a n dt h et r e n d so f T i ,A 1 Nf i l md e v e l o p i n gi nf u t u r es t u d ya l ep o i n t e d o u t .. K e y w o r d s m e t a lm a t e r i a l ; T i ,A I Nf i l m ;r e v i e w ;c r y s t a l l i n es t r u c t u r e ;p r o p e r t y 万方数据
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