掺锑氧化锡材料制备方法研究进展.pdf

第6 2 卷第3 期 2010 年8 月 有 色金属 N o n f e 1 T O t l ．sM e t a l s V 0 1 ．6 2 ．N o ．3 A u g ．20 10 掺锑氧化锡材料制备方法研究进展 刘述忠1 ’2 1 ．福州大学紫金矿业学院，福州3 5 0 10 8 ；2 ．昆明冶研新材料股份有限公司，昆明6 5 0 0 3 1 摘要综述掺锑氧化锡制备方法的研究进展。溶胶一凝胶法、喷雾热分解法、水热法、化学沉淀法都是良好的制备方法．但 工业应用都存在一定的不足。溶胶一凝胶法制备的粉体分散性好、纯度商但T 艺控制困难喷雾热分解法简单力．便但不能排除 c l 。。，水热法团聚低，纯度高但设备昂贵。化学沉淀法成本低但容易产生团聚现象。 关键词无机非金属材料；掺锑氧化锡；综述；溶胶一凝胶法；喷雾热分解法；水热法；化学沉淀法 中图分类号T B 3 8 3 ．1 文献标识码A 文章编号1 0 0 1 0 2 1 1 2 0 1 0 0 3 0 0 4 7 0 6 S n O ，因其具有宽禁带 禁带宽度超过 3 ．3 e v “。，因此在可见光和近红外区具有很高的 透光率”“1 。严格化学计量的S n O 为绝缘体⋯，尽 管非化学计量的S n O 由于氧空位而具有一定的导 电性，但由于氧空位常常与环境中的氧反应而使导 电性很不稳定旧1 。为改善S n O 的相关性能，在制 备过程中可以进行I n 阳- 1 0 ] ，F ⋯“2 。，T i ‘13 。，s b ‘1 4 “引， P d [ 1 6 ] ，C d ㈣，B i [ I 引，P t ㈣，N i ㈨等多种元素掺杂处 理。掺锑氧化锡 A T O 因其具有优良的导电性和 高透光率，在太阳能电池“ 1 1 、显示器旧2 | 、气体传感 器‘2 3 - 2 4 ] 、热屏蔽Ⅲ3 、催化剂‘2 引、防静电‘27 。、透明电 极旧引等许多领域获得应用或潜在应用。A T O 粉体 或薄膜材料可以通过溶胶一凝胶法、喷雾热分解法、 水热法、化学沉淀法等多种方法制备。 1 溶胶一凝胶法 该法是上世纪6 0 年代后发展起来的一种制备 玻璃、陶瓷等无机材料的新工艺，近年来许多人用此 法来制备纳米微粒旧9 1 。溶胶凝胶过程可分为三种 胶体溶胶一凝胶过程、无机离子聚合溶胶一凝胶过 程、络合溶胶一凝胶过程。基本原理是将金属醇盐 或无机盐经水解，然后使溶质聚合凝胶化，再将凝胶 干燥、培烧，最后得到无机材料。 溶胶．凝胶法一般包括3 个过程。 1 溶胶的制 备。有两种方法制备溶胶，一是先将部分或全部组 收稿日期2 0 0 8 0 5 2 0 基金项目云南省科研院所技术开发专项基金资助项目 2 0 0 0 K F Z X 一1 3 作者简介刘述忠 1 9 7 2 一 ，男，湖南洞口县人，高级工程师，博士， 主要从事选矿药剂和纳米粉体材料等方面研究。 上上 按给定的比例混合 上 搅拌 卜嬲 浸入与提拉} - 一 上 低温干{ 照 0 烧结 图1s o l g e l 制备A T O 膜的工艺流程 F i g ．1 F l o w s h e e to fA T Of i l mp r e p a r e db ys o l - g e lm e t h o d 分用适当沉淀剂先沉淀出来，经解凝，使原来团聚的 沉淀颗粒分散成原始颗粒，因这种原始颗粒的大小 一般在溶胶体系中胶核的大小范围，因而可制得溶 胶。另一种方法是由同样的盐溶液出发，通过对沉 淀过程的仔细控制，使其首先形成的颗粒不致团聚 为大颗粒而沉淀，从而直接得到胶体溶胶。 2 溶 胶一凝胶转化。溶胶中含有大量的水，凝胶化过程 中，使体系失去流动性，形成一种开放的骨架结构。 实现凝胶作用的途径有两个一是化学法，通过控制 溶胶中电解质浓度实现胶凝化；二是物理法，迫使胶 粒间相互靠近，克服斥力，实现胶凝化。 3 凝胶干 燥。一定条件下 如加热 使溶剂蒸发，得到粉料。 万方数据 4 8 有色金属第6 2 卷 干燥过程中凝胶结构变化很大。 通常溶胶一凝胶过程根据原料种类可分为有机 途径和无机途径两类。在有机途径中，通常是以金 属醇盐为原料，通过水解和缩聚反应而制得溶胶，并 进一步缩聚而得到凝胶。经加热去除有机溶液得到 金属氧化物纳米粒子。无机途径原料一般为无机 盐。由于原料不同制备方法不同，没有统一的工艺。 由于这一途径采用无机盐为原料，价格便宜，比有机 途径更有前途。在无机途径中，溶胶可以通过无机 盐的水解制得，即n M n H ，O M O H 4 n H ， 通过向溶液中加入碱液使得这一水解反应不断向正 方向进行，并形成M O H 。沉淀，然后将沉淀物充 分水洗、过滤并分散于强酸溶液中便得到稳定的溶 胶，经某种方式处理使溶胶变成凝胶，干燥和焙烧后 得到金属氧化物粉体。 图1 是采用溶胶一凝胶法制备掺锑氧化锡的工 艺旧⋯。溶胶一凝胶法的优点是所制得的粉体组分 均匀、颗粒间的分散性良好、纯度高、粒度细。缺点 是胶体溶胶一凝胶过程中在后续的干燥和煅烧阶段 可能形成团聚，工艺参数的控制很困难，难以实现大 型工业化的生产。金属醇盐水解聚合为基础的无机 离子聚合溶胶一凝胶，由于采用金属醇盐为原料，成 本高昂、且操作复杂∞“。由于溶胶一凝胶法可容纳 不溶性组分或不沉淀组分，不溶性颗粒均匀地分散 在含不产生沉淀的组分的溶剂中，经胶凝化，不溶性 组分可自然地固定在凝胶体系中。不溶性组分颗粒 越细，体系化学均匀性越好。烘干后的球形凝胶颗 粒自身烧结温度低，但凝胶颗粒之间烧结性差，块体 材料烧结性不好心9 ’3 2 。3 | 。 2水热法 水热法是在特制的密闭反应容器 高压釜 中， 采用水溶液作为反应介质，通过对反应容器加热，创 造一个高温高压的反应环境，使得通常难溶或不溶 的物质溶解并且重结晶，生成氧化物粉末∞“。根据 设备的不同可分为普通水热法和特殊水热法。特殊 水热法一般是指在水热反应体系中增加直流电场、 磁场、微波场等。按物质的反应方式可分为水热氧 化、水热沉淀、水热合成、水热还原、水热分解、水热 结晶等。 水热法制备纳米粉体一般经历4 个过程。 1 原料在水热介质中溶解，即以离子、分子或离子团的 形式进入溶液。 2 体系中存在的十分有效的热对 流，以及溶解区和生长区之间的浓度差，使溶解的离 子、分子或离子团被输送到生长区。 3 离子、分子 或离子团在生长界面上的吸附。 4 吸附物质在界 面上的运动，直到晶体粉末生成。晶体的形貌与生 长的条件密切相关，反应的温度和压力越高，晶体的 生成速度越快。图2 是J e o nH 等采用水热法制备 掺锑氧化锡纳米粉体的工艺流程“。 乙醇，水，1 ．4 - 丁二醇 添加s n 前驱体 S n C I ． 搅拌1 0 0 r a i n 添加S b 前驱体 S b C - l a 搅拌1 0 0 n f i n 调整p H p H 1 0 搅拌2 4 4 m 4 M P a ，2 0 0 ’下处理2 4 h 蒸馏水洗涤 1 0 0 ℃干燥2 4 h 纳米A T O 粉末 图2 水热法制备掺锑氧化锡的工艺流程 F i g ．2 F l o w s h e e to fn a n o s i z e dS b d o p e dS n 0 2 p r e p a r a t i o nw i t hh y d r o t h e r m a lm e t h o d 该法制得的粉体粒径分布窄，团聚低，纯度高， 晶体粒度细，制备过程中的污染少，制备周期短等。 制备电极材料时，与传统的高温热沉积相比，水热法 制得的掺锑氧化锡电极表面均匀、紧密、连续几乎无 裂纹一“。缺点是设备复杂昂贵，操作不方便。 3沉淀法 沉淀法是制备单分散金属氧化物超细粉体的很 好的方法”“，该法是在含有可溶性阳离子的盐溶液 中，加入各种沉淀剂如O H 一，C O ，。，S O 。“，C O 。2 ‘ 等，形成不同不溶性沉淀，得到的沉淀物再经热分解 或煅烧，便可得到金属氧化物粉末。在含多种阳离 子的溶液中加入沉淀剂后所有离子完全沉淀，则称 之为共沉淀法。一般沉淀过程是不平衡的，但如果 控制溶液中的沉淀剂浓度，使之缓慢地增加，则沉淀 过程处于平衡状态，且沉淀能在整个溶液中均匀地 出现，这种方法被称为均相沉淀法。除上述两种方 法外，还有沉淀转化法、直接转化法和多元醇沉淀法 缝[ 3 8 ] 守。 共沉淀法制备掺锑氧化锡粉体时，目前报导较 多的是采用高纯度的S n C l 。5 H 0 和S b C I ，为原 料，根据设定的比例将二者溶解在强酸性溶液中 如盐酸 ，采用N H ，H 0 或者N a O H 作为水解沉 淀剂，控制合适的p H 值进行沉淀反应。反应的沉 淀经过洗涤过滤，除去影响粉体性质的杂质离子 万方数据 第3 期刘述忠掺锑氧化锡材料制备方法研究进展 4 9 如c 1 一 ，将洗涤干净的沉淀干燥脱水并在合适的 温度下烧结热处理，便得到所需要的掺锑氧化锡粉 体∞卜4 。也有采用s n 和S b 金属为原料，将金属溶 解在H C l 和H N O ， 3 I 的混合溶液中，浓硝酸作为 氧化剂使锑氧化为五价，采用N H ，H 0 沉淀‘42 | 。 共沉淀法的优点是成本低、易于控制M ”，但沉 淀在烧结过程中常常有团聚现象，影响粉体的使用 性能。 4 喷雾热分解法 喷雾热分解在其发展的过程中曾沿用过很多术 语。如美国宾州大学G a r yL ．M e s s i n g 称之为溶液 气溶胶化热分解 s o l u t i o na e r o s o lt h e r m o l y s i s ，R o y 等人称之为溶液蒸发分解 e v a p o r a t i v ed e c o m p o s i t i o n o fs o l u t i o n s ，R u t h n e r 称之为喷雾焙烧 s p r a yr o a s t i n g 。随着这一技术的不断发展，新的化学反应形 式被引入到S P 中，如水解反应、氧化反应、还原反应 等，简单用热解过程来定义已不适合，但因喷雾热分 解这一定义被长期广泛使用，成为一种通俗的叫法， 一直沿用至今Ⅲ1 。 E l a n g o v a nE 等纠采用S n C l 2 2 H 2 0 和S b C I3 为原料，将S n C I 2 H O 溶解在浓盐酸中并用甲醇 稀释，而S b C l ，作为掺杂原料用异丙醇溶解。沉积 基材为清洁干净的玻璃片，并且固定喷雾沉积的温 度为4 0 0 0 C 。在喷雾沉积反应发生之前就将基材温 度生到4 0 0 ℃，沉积完后自然冷却到室温。在沉积 过程中，S n C l 2 发生化学反应S n C l 2 H 2 0 S n O 2 H C I 和S n O 1 ／2 0 一S n O 。在此基础上，也可以 增加超声波“。 与其他沉积技术相比，喷雾热分解法最简单方 便，掺杂元素添加方便，生长率高，能生产出均匀的 大面积涂层。但该方法采用氯化物为原料时，分解 产生的H C I 具有很大的腐蚀性，同时也常常在产品 中有大量C l 元素存在。当给料的浓度较高时由于 黏度大和小颗粒的存在，常常发生喷嘴堵塞7 。刮。 5其他方法 固相法⋯。采用S n O 9 9 ．9 9 ％ 和S b O ， 9 9 ．9 9 ％ 按给定的比例球磨1 2 h 混合均匀，压成 圆块后在1 3 0 0 。C 下烧结2 h ，然后用磁控溅射法在玻 璃基材上沉积成S n O S b 薄膜。采用X R D 检测，没 有发现S b O ，和S b O ，相存在，认为S b 3 和s b “进 入了S n O 的晶格中。两种掺杂离子分别在晶体中 作为受主和施主影响S n O 的导电性。在制备过程 中发生掺杂反应S b ，O ，一2 S b tS n V ”O 3 0 1 0 和 S b ，O ，一2 S b S n 2 e ’ 4 0 ‘O 1 ／2 0 g 。式中 S b ’。。为s b 离子占据S n 的位置带一个负电荷；S b ’。。 为S b 离子占据S n 的位置带一个正电荷；V ”。代表 一个氧空位带两个正电荷；O o 为氧元素在晶格点上 无任何净电荷。固相制备掺锑氧化锡的缺点是一般 要在较高的温度下烧结才能使掺杂反应发生，同时 由于烧结温度较高，可能发生S b 的挥发一’4 “，使掺 杂比例不准。 燃烧法”⋯。Z h a n g 等以分析纯的粒状锡、S b O ， 作为锡锑的原料，将粒状的金属锡溶解在8 m o l ／L 的 H N O ，中，然后过滤除去不溶杂质，掺杂剂S b O ，溶 解在熔化的柠檬酸中。将两种溶液混合并在室温下 搅拌2 h ，然后将氨水滴加到混合溶液中直到p H 达 到7 左右，这样产生了一个含s n 、S b 混合物的稳定 透明溶液。由于柠檬酸的离解以及柠檬酸与金属离 子的反应都依赖于溶液的p H ，因此控制溶液的p H 显得非常重要。只有当溶液的p H 超过6 ．4 ，反应才 能完全。所得的溶液在1 0 0 ℃下慢慢浓缩，去掉多 余的水形成凝胶。这一过程中，溶液黏度越来越大 并且颜色由无色变为绿色。将凝胶在电加热器上加 热，发生自蔓延燃烧反应。整个反应在短时间内发 生并产生黑色的残余灰。随着柠檬酸量的增加残余 灰的颜色由灰色变为黑色，认为颜色的变化是燃烧 不完全的结果。将燃烧残余物在研钵中研磨并过 筛，使粉末小于2 0 0 斗m ，再将粉末在电阻炉中6 0 0 ℃ 烧结2 h 得到A T O 粉体。A T O 晶粒随柠檬酸的增加 而增大，而粉体的团聚性随柠檬酸含量的增加而减 轻。该法由于没有使用含C l 一原料，因此没有C l 一 的影响，大大增加了材料的光电性能。 6结语 A T O 透明导电材料在国外已引起了广泛的关 注，日本、韩国等已经成功实现了产业化。尽管国内 溶胶一凝胶法、喷雾热分解法、水热法、化学沉淀法 等掺锑氧化锡制备方法均有研究，但产业化的某些 关键工艺仍然没有解决。探讨掺锑氧化锡制备的新 方法、新工艺以及对已有方法的改进并实现产业仍 是该领域的重要研究课题。 万方数据 5 0 有色金 属 第6 2 卷 参考文献 [ 2 ] D o l b e cR ，E lK h a k a n iMA ，S e r v e n t iAM ，e ta 1 ．M i c r o s t r u c t u r ea n dp h y s i c a lp r o p e r t i e so fn a n o s t r u c t r e dt i no x i d et h i nf i l m s g r o w nb ym e a n so fp u l s e dl a s e rd e p o s i t i o n 【J ] ．7 F h i nS o l i dF i l m s ，2 0 0 2 ，4 1 9 1 ／2 2 3 0 2 3 6 ． D u t t aK ，D eSK ．O p t i c a la n dn o n l i n e a re l e c t r i c a lp r o p e r t i e so fS n 0 2 - p o l y a n i l i n en a n o c o m p o s i t e s [ J ] ．M a t e rL e t t ，2 0 0 7 ，61 2 7 4 9 6 7 4 9 7 1 ． [ 3 ] O r e lB ，L a v r e f ii ；一；t a n g a rU ，C r n j a k O r e lZ ，e ta 1 ．S t r u c t u r ea n dF T I Rs p e c t r o s c o p i cs t u d i e so fg e l x e r o g e l o x i d et r a n s i t i o n so f S n 0 2a n dS n 0 2 S bp o w d e r sa n dd i p c o a t e df i l m sp r e p a r e dv i ai n o r g a n i cs e l g e lr o u t e [ J ] ．J o u r n a lo fC r y s t a l l i n eS o l i d s ，19 9 4 ， 1 6 7 3 2 7 2 2 8 8 ． [ 4 ] R o b e r t s o nL ．E l e c t r o n i cs t r u c t u r eo fS n 0 2 ，G e 0 2 ，P b 0 2 ，T e 0 2a n dM g F 2 [ J ] ．JP h y sC S o l i dS t a t eP h y s ，1 9 7 9 ，1 2 6 4 7 6 7 4 7 7 6 ． [ 5 ] Z H A OS ，Z H O UY ，W A N GS ，e ta 1 ．E f f e c to fa m b i e n to x y g e np r e s s u r eo ns t r u c t u r a l ，o p t i c a la n de l e c t r i c a lp r o p e r t i e so fS n 0 2 t h i nf i l m s [ J ] ．R a r eM e t a l s ，2 0 0 6 ，2 5 6 69 3 6 9 5 ． [ 6 ] D i e nE ，L a u r e n tJM ，S m i t hA ．C o m p a r i s o no fo p t i c a la n de l e c t r i c a lc h a r a c t e r i s t i c so fS n 0 2 ．b a s e dt h i nf i l m s [ J ] ．J o u r n a lo ft h e E u r o p e a nC e r a m i cS o c i e t y ，1 9 9 9 ，1 9 6 ／7 7 8 7 7 8 9 ． [ 7 ] S a a d e d d i nI ，H i l a lHS ，P e c q u e n a r dB ．S i m u l t a n e o u sd o p i n go fZ na n dS bi nS n 0 2c e r a m i c s E n h a n c e m e n to fe l e c t r i c a l c o n d u c t i v i t y [ J ] ．S o l i dS t a t eS c i e n c e s ，2 0 0 6 ，8 1 7 1 3 ． [ 8 ] C z a p l aA ，K u s i o rE ，B u c k oM ．O p t i c a lp r o p e r t i e so fn o n s t o i c h i o m e t r i ct i no x i d ef i l m so b t a i n e db yr e a c t i v es p u t t e r i n g [ J ] ．T h i n S o l i df i l m s ，1 9 8 9 ，1 8 2 1 ／2 1 5 2 2 ． [ 9 ] S h u k t aS ，Z h a n gP ，C h oHJ ，e ta 1 ．R o o mt e m p e r a t u r eh y d r o g e nr e s p o n s ek i n e t i c so fn a n o m i c r o i n t e g r a t e dd o p e dt i no x i d es e n s o r [ J ] ．S e n s o r sa n dA c t u a t o r sB ，C h e m i c a l ，2 0 0 7 ，1 2 0 2 5 7 3 5 8 3 ． [ 10 ] K h o d o r o vA ，G o m e sMJM ．P r e p a r a t i o na n do p t i c a lc h a r a c t e r i z a t i o no fl a n t h a n u mm o d i f i e dl e a dz i r e o n a t et i t a n a t et h i nf i l m so n i n d i u m d o p e dt i no x i d e c o a t e dg l a s ss u b s t r a t e [ J ] ．T h i nS o l i dF i l m s ，2 0 0 6 ，5 1 5 4 ／5 1 7 8 2 1 7 8 7 ． [ 11 ] A u k k a r a v i t t a y a p u nS ，T h a n a c h a y a n o n tC ，T h e a p s i r iT ，e ta 1 ．T e m p e r a t u r ep r o g r a m m e dd e s o r p t i o no fF - d o p e dS n 0 2f i l m s d e p o s i t e db yi n v e r t e d p y r o s o lt e c h n i q u e [ J ] ．J o u r n a lo fT h e r m a lA n a l y s i sa n dC a l o r i m e t r y ，2 0 0 6 ，8 5 3 8It 一815 ． [ 1 2 】H a nCH ，J o u s s e a u m eB ，R a s c l eMC ，e ta 1 ．N a n o c r y s t a l l i n eF - d o p e dt i nd i o x i d em a t e r i a l s t e x t u r e ，m o r p h o l o g ya n d p h o t o s e n s i t i z a t i o nw i t hap e r y l e n e s u b s t i t u t e do r g a n o t i n [ J ] ．J o u r n a lo fF l u o r i n eC h e m i s t r y ，2 0 0 4 ，12 5 8 12 4 7 12 5 4 ． [ 1 3 ] L i nW ，Z h a n gYF ，L iY ，e ta 1 ．S t r u c t u r a lc h a r a c t e r i z a t i o n sa n de l e c t r o n i cp r o p e r t i e so f T i - d o p e dS n 0 2 1 1 0 s u r f a c e Af i r s t p r i n c i p l e ss t u d y [ J ] ．T h eJ o u r n a lo fC h e m i c a lP h y s i c s ，2 0 0 6 ，1 2 4 5 1 8 ． [ 14 ] D h a g eSR ，C h o u b eV ，R a v iV ．N o n l i n e a rI Vc h a r a c t e r i s t i c so fd o p e dS n 0 2 [ J ] ．M a t e r i a l sS c i e n c ea n dE n g i n e e r i n gB ，2 0 0 4 ， 1 1 0 2 1 6 8 1 7 1 ． [ 1 5 ] S a n t o P e n aJ ，B r o u s s eT ，S d c h e zL ，e ta 1 ．A n t i m o n yd o p i n ge f f e c to nt h ee l e c t r o c h e m i c a lb e h a v i o ro fS n 0 2t h i n f i l me l e c t r o d e s [ J ] ．J o u r n a lo fP o w d e rS o u r c e s ，2 0 0 1 ，9 7 ／9 8 2 2 3 2 2 3 4 ． [ 16 ] L i mCB ，O hS ．M i c r o s t r u c t u r ee v o l u t i o na n ds e n s i t i v i t i e so fP d d o p e dS n 0 2 b a s e ds e n s o rp r e p a r e db yt h r e ed i f f e r e n tc a t a l y s t a d d i t i o np r o c e s s e s [ J ] ．S e n s o r sa n dA c t u a t o r sB ，1 9 9 6 ，3 0 3 2 2 3 2 3 1 ． [ 1 7 ] K a n gSZ ，Y a n gYK ，C u iZ Y ，e ta 1 ．H i g hc o l o rp u r i t ya n de x c e l l e n tt h e r m o s t a b i l i t yo fp h o t o l u m i n e s c e n c eo fS n 0 2n a n o p a r t i c l e s d o p e dw i t hC d “i o n s [ J ] ．C o l l o i d sa n dS u r f a c e sA ，P h y s i c o c h e m i c a la n dE n g i n e e r i n gA s p e c t s ，2 0 0 7 ，2 9 4 1 3 13 7 1 3 9 ． [ 1 8 ] H EQ i u x i n g ，T UW e p i n g ，H UJ i a n q i n g ．E l i m i n a t i o no fh a r da g g r e g a t i o no fb i s m u t h d o p e dt i nd i o x i d en a n o m e t e rp o w d e r s p r e p a r e db yw e tc h e m i c a lm e t h o d [ J ] ．化工学报，2 0 0 6 ，5 7 6 1 4 9 0 1 4 9 5 ． [ 19 ] K h e l a s h v i l iG ．B e h r e n sS ，H i n s c hA ，e ta 1 ．P r e p a r a t i o na n dc h a r a c t e r i z a t i o no fl o wp l a t i n u ml o a d e dP t S n 0 2e l e c t r o c a t a l y t i c f i l m sf o rs c r e e np r i n t e dd y es o l a rc e l lc o u n t e re l e c t r o d e [ J ] ．T h i nS o l i dF i l m s ，2 0 0 7 ，515 7 ／8 4 0 7 4 4 0 7 9 ． [ 2 0 ] [ 2 1 ] [ 2 2 ] 2 3 ] J a i nK ，P a n tRP ，L a k s h m i k u m a rST ．E f f e c to fN id o p i n go nt h i c kf i l mS n 0 2g a ss e n s o r [ J ] ．S e n s o r sa n dA c t u a t o r sB ， C h e m i c a l ，2 0 0 6 ，1 1 3 2 8 2 3 8 2 9 ． B u r g a r dD e t l e f ，G o e b b e r tC h r i s t i a n ，N a s sR n d i g e r ．S y n t h e s i so fn a n o c r y s t a l l i n e ，r e d i s p e r s a b l ea n t i m o n y d o p e dS n O2p a r t i c l e s f o rt h ep r e p a r a t i o no fc o n d u c t i v e ，t r a n s p a r e n tc o a t i n g [ J ] ．JS o l G e lS c iT e c h n o l ，19 9 8 ，I3 1 7 8 9 ～7 9 2 ． H i r a lT ，K o m a t s uM ，N a k a s h i m aA ，e ta 1 ．C o a t i n gs o l u t i o nf o rf o r m i n gt r a n s p a r e n tc o n d u c t i v ec o a t i n ga n dp r o c e s sf o rp r e p a r i n g s a m e U SP a t e n t ，5 3 7 6 3 0 8 [ P ] ．1 9 9 4 1 2 2 7 ． C o b i a n uC ，S a v a n i uC ，S i c i l i a n oP ，c ta 1 ．S n 0 2s o l g e ld e r i v e dt i nf i l m sf o ri n t e r g r a t e dg a ss e n s o r s [ J ] ．S e n s o r sa n dA c t u a t o r s 万方数据 第3 期刘述忠掺锑氧化锡材料制备方法研究进展 5 l B ，2 0 0 1 ，7 7 1 3 4 7 6 5 0 2 ． [ 2 4 ] L a n t t oV 。G o l o v a n o vV ．Ac o m p a r i s o no fc o n d u c t a n c eb e h a v i o u rb e t w e e nS n 0 2a n dC d Sg a s s e n s i t i v ef i l m s [ J ] ．S e n s o r sa n d A c t u a t o r sB ，1 9 9 5 ，2 4 ／2 5 1 3 6 1 4 6 1 8 ． [ 2 5 ] F r a n kG ，K a u e rE ，K 0 s t l i nH ．T r a n s p a r e n th e a t r e f l e c t i n gc o a t i n g sb a s e do nh i g h l yd o p e ds e m i c o n d u c t o r s [ J ] ．T h i nS o l i d F i l m s ，1 9 8 1 ，7 7 1 3 1 0 7 一I1 8 ． [ 2 6 ] C a l d a r a r uM ，O v e n s t o nA ，S p r n c e a n aD ，e ta 1 ．S u r f a c ed y n a m i c si nt i nd i o x i d e c o n t a i n i n gc a t a l y s t sI I I ．C a t a l y s i sa n dt h e s u r f a c ec o n d u c t i v i t yo fa n t i m o n y d o p e dt i nd i o x i d e [ J ] ．A p p l i e dC a t a l y s i sA G e n e r a l ，1 9 9 6 ，1 4 1 1 ／2 3 1 4 4 ． [ 2 7 ] A l b e r tJ o n a t h a nD ，C o m i s k e yB a r r e t t ．E l e c t r o s t a t i c a l l ya d d r e s s a b l ee l e c t r o p h o r e t i cd i s p l a y USP a t e n t ，7 3 5 2 3 5 3 [ P ] ． 2 0 0 8 0 4 0 1 ． [ 2 8 ] T uM ，S uY ，C h a n gS ，e ta 1 ．G a NU Vp h o t o d e t e c t o rb yu s i n gt r a n s p a r e n c ya n t i m o n y d o p e dt i no x i d ee l e c t r o d e [ J ] ．J o u r n a lo f C r y s t a lG r o w t h ，2 0 0 7 ，2 9 8 7 4 4 7 4 7 ． [ 2 9 ] 张立德，牟季美．纳米材料和纳米结构[ M ] ．北京科学出版社，2 0 0 1 ． [ 3 0 ] 张君，赵青南，陈甲林．镀S i O 膜玻璃基片上S n O S b 薄膜的溶胶一凝胶制备及表征[ J ] ．硅酸盐学报，2 0 0 5 ，3 3 5 5 5 3 5 5 8 ． [ 31 ] S e oM ，A k u t s uY ，K a g e m o t oH ．P r e p a r a t i o na n dp r o p e r t i e so fS b d o p e dS n 0 2 ／m e t a ls u b s t r a t e sb ys o l g e la n dd i pc o a t i n g [ J ] ． C e r a m i c sI n t e r n a t i o n a l ，2 0 0 7 ，3 3 4 6 2 5 6 2 9 ． [ 3 2 ] 李懋强．湿化学法合成陶瓷粉料的原理和方法[ J ] ．硅酸盐学报，1 9 9 4 ，2 2 1 8 5 9 1 ． [ 3 3 ] 姚敏琪，卫英慧，胡兰青，等．溶胶一凝胶法制备纳米粉体[ J ] ．稀有金属材料与工程，2 0 0 2 ，3 1