超声波-化学共沉淀法制备纳米ITO粉.pdf

第6 0 卷第1 期 20 08 年2 月 有色金属 N o n f e r r o u sM e “l l s V 0 1 ．6 0 ，N o ．1 F e b r u a r y 20 08 超声波一化学共沉淀法制备纳米I T O 粉 宋宁，戴永年，钟晓林，姜宏伟，邓又铵 昆明理工大学材料与冶金工程学院，昆明6 5 0 0 9 3 摘要以I n , S n 硫酸盐为原料，采用超声波与化学共沉淀相结合的方法制备纳米I T O 粉末，用T E M ，S E M ．X R D ，B E T 等现 代分析测试手段对制备的粉末进行表征。在反应温度为6 0 - 7 5 “ C ，I n 3 浓度 1 6 0 9 ／L ，氨水浓度 4 0 0 9 ／L ，终点p H 为6 ．8 ～8 的 条件下．得到的纳米I T O 粉末颗粒呈球状．团聚少、分散性好，I n 2 0 3 S n 0 2 质t 9 1 ．平均粒径 1 5 l n 2 ／g 。 关键词材料合成与加工工艺；纳米I T O 粉体；化学共沉淀法；超声波 中图分类号T N 3 0 4 ；T F S 0 3 ．2 4 ；T F l 2 3文献标识码A 文章编号1 0 0 1 0 2 1 1 2 0 0 8 0 1 0 0 1 1 一0 6 铟锡氧化物 I n d i u mT i nO x i d e ，简称I T o 是一种 重要的铟材料。由于I T O 材料的广泛用途【1 - 2 J ，I T O 纳米粉末的制备方法受到普遍关注。目前，国内外制 备I T O 纳米粉末的方法很多[ 3 - 5 】，在工业上应用广 泛的是液相法制备超细粉，基本方法是选择一种或多 种可溶性金属盐，按成分计量配成溶液，使各元素呈 离子或分子态，再用一种沉淀剂，将所需物质均匀沉 淀、结晶出来，经脱水或者加热等过程而制得超细粉。 李风光[ 6 - 7 】等以纯铟、S n C l 4 为原料，采用化学液相沉 淀法制备了平均粒径为3 0 u r n 的单相纳米级I n 2 q S n 0 2 粉体。高愈尊[ 8 J 等采用化学共沉淀法制备了 粉末粒度为2 0 u r n ，颗粒接近球形的立方结构的I T O 纳米粉。B ．C ．K i m 【9J 等以I n N Q 3 x H E O 和S n C l , x H 2 0 为原料，用共沉淀法合成了粒径约为1 5 n m 的 立方的I T O 粉。化学沉淀法工艺简单[ 1 0 - 14 | ，操作方 便，对设备的要求又不高，投资少。生产成本低，产物 纯度高，成份可控，组分均匀，易于实现工业化生产， 生产出来的粉体分散性好，但阴离子的洗涤较为困 难，粉体易团聚是该方法存在的主要问题。 针对化学共沉淀法制备纳米I T O 粉体中存在的 问题，将超声波应用于制备纳米I T O 粉末的过程，利 用超声空化所产生的独特的反应环境，来控制或减少 纳米I T O 粉末的团聚。为了获得球状纳米I T O 粉， 将纯金属I n 和s n 直接采用浓H 2 S 0 4 浸出，并将微波 用于I T O 粉前驱体的干燥和煅烧，大大地缩短了纳 米I T O 粉末的制备周期。着重讨论在超声化学共沉 淀法制备纳米I T O 粉体前驱体中的I n 3 浓度、氨水 浓度、反应体系的温度和p H 值、反应时间、分散剂、搅 拌速率、超声波的介入等因素对纳米1 “ 1 “ O 粉性能的 影响。并通过T E M ，S E M ，X R D ，B E T 等分析测试手 段对超声波条件下制备的纳米I T O 粉末及前驱体进 行表征。 1实验方法 1 ．1 试验原料 主要原料为自产4 N 铟 I n ，化学成分见表1 ； 4 N 锡 S n ；N H 3 H 2 0 A R ；H 2 S 0 4 A R ；无水乙醇 A R ；M i l l i ．Q 超纯水机制去离子水等。 表14 N 铟的化学成分 T a b l e1C h e m i c a lc o m p o s i t i o no fi n d i u m 垂茎 垒些塾望壁墅墅坐 垒 w ／％ ≤ 9 9 ．9 9 6 2 0 ．0 0 0 40 ．0 0 0 50 ．0 0 0 50 ．0 0 0 40 ．0 0 0 50 ．0 0 0 30 ．0 0 0 40 ．0 0 0 50 ．0 0 0 3 收稿日期2 0 0 6 0 2 2 8 基金项目云南省戴永年院士突出贡献奖资助项目 2 0 0 2 1 2 作者简介宋宁 1 9 6 0 一 ，女，安徽太和县人，副教授．博士，主要 从事有色金属冶金物理化学及金属材料等方面的研究； 戴永年 1 9 2 9 一 ．男，云南通海县人，教授，博士生导师， 中国工程院院士。主要从事真空冶金和有色金属冶金物 理化学及材料等方面的研究。 1 ．2 试验步骤 按比例称取4 N 的I n 和S n 分别用4 m o l ／L 的 H 2 S 0 4 溶解制成一定浓度的硫酸铟和硫酸锡水溶 液，均匀混合后，于恒温超声水浴中，在剧烈搅拌下 慢慢滴加2 5 ％～2 8 ％的N H 4 - H 2 0 至一定的p H 值，采用超声波分散加剧烈搅拌一段时间后，离心分 离洗涤沉淀 直到用B a C h 检验无s 辑一为止 ，然后 万方数据 1 2有色金属第6 0 卷 对沉淀物进行微波干燥、煅烧后处理，获得疏松不团 聚的I T O 纳米粉。 I ．3 试验装置 纳米I T O 粉体合成反应的实验装置如图1 所 示。整个装置放人超声波清洗器中，反应过程中，体 系的温度由超声波清洗器控温窗口来显示。 1 ．4 分析测试 用S T A4 4 9 C 型热分析仪对I T O 粉末前驱体进 行T G D T A 分析，了解热处理中样品发生的物理、 化学变化，并由此制定前驱体热处理制度。用D 8 。 A D V A N C E 型X r a y 衍射分析仪对I T O 粉末进行 了物相分析。用P H I L I P S X L 3 0 型S E M 表征I T O 粉末的晶形、组成变化及粒度大小，并通过S E M 的 辅助设备E D S 进行成分分析。用H ．8 0 0 型T E M 表 征I T O 纳米粉有无超声处理的形貌差异，并用B E T 法测定粉末比表面积。 电棚． 图I 纳米I ，r O 粉体合成反应的实验装置 F i g ．1 S c h e m eo fe x p e r i m e n t a ls e t u p 2 试验结果与讨论 2 ．1 超声波对前驱体颗粒的成核和生长的影响 超声波对前驱体颗粒有较大的影响，主要表现 在加速形核和控制晶核的长大上。用液相法制备超 细、尺寸均一的粉料，必须在成核阶段保证生成足够 数量的晶核，不使已形成的晶核生长，在晶核生长阶 段控制工艺参数使晶核同步生长，制得尺寸均一的 超细颗粒。根据这一理论【l 引，在形核初期生成大量 的晶核是有利的，也是必须的。而实际上在形核初 期，临界晶核 o 的形成是需要一定能量的，这一 能量也就是成核能 △瓯 。成核能借助于体系内部 的能量起伏来获得，由于超声空化时周期性放出的 局部高能量加大了单位体积的能量高低起伏，成核 速率增大。因此在超声场下形核阶段瞬间可生成足 够数量的超细晶核，此时空化产生的上亿万个气泡 还会在颗粒的表面上引起反应液的显微涡动，在反 应液内引起搅拌作用，加速了反应体系的扩散，使得 刚生成的在热力学上不稳定的晶核通过扩散可捕获 反应液中的基团长大成为颗粒而稳定存在，这些能 稳定存在的晶核大量生成迅速降低了溶液的过饱和 度，从而抑制了二次成核与晶核的进一步长大。在 晶核的生长阶段，由于颗粒在B r o w n 运动、范德华 引力、搅拌力等作用下相互靠近碰撞而不断产生团 聚，此时大量空泡的破灭可产生强大的冲击波，冲击 波对团聚颗粒反复冲击，破坏了颗粒间的表面吸附。 使团聚颗粒剥离、脱落下来，同时引起氢键等化学结 合力的断裂而使团聚颗粒相互脱离，有效地控制了 颗粒的再次团聚。此外，超声空化作用产生的高温 和在固体颗粒表面产生的大量微气泡也大大降低了 微小晶粒的比表面自由能，抑制了晶核的聚结与长 大。总之，超声波通过影响前驱体颗粒形成与生长 的动力学过程及微粒间的相互作用，有效地防止与 控制了沉淀反应过程中形成的微小颗粒的长大与团 聚，从而获得粒径细小，分散程度高的前驱体颗粒。 因此用超声波分散的纳米I T 0 粉末与不用超声波 分散的纳米I T O 粉末微粒尺寸相比粒径较小，分散 性明显好，粒径分布更窄。 2 ．2 p H 对I T O 粉末粒径的影响 在制备纳米I T O 粉末前驱体铟锡氢氧化物的 过程中，p H 是一个重要的指标，控制适当的p H 对 获取高品质纳米I T O 粉末起到决定性作用。如果 p H 值太低，沉淀反应不完全，随着终点p H 值的增 大，I T O 粉颗粒粒径减小，并且I T O 前驱体铟锡氢 氧化物无定形态所占比例增大。如果p H 值太高， I T O 粉容易反溶，从而导致产量低。并影响粉体成分 比例。终点p H 值对I T O 粉末的影响见图2 。 g 罨 图2I T O 粉末粒度与p H 值的关系 F i g ．2R e l a t i o n s h i pb e t w e e ng r a n u l a r i t ya n dp H 2 ．3 反应温度对I T O 粉末粒度的影响 万方数据 第1 期宋 宁等超声波一化学共沉淀法制备纳米I T O 粉 1 3 随着反应体系温度的升高，I T O 粉颗粒粒径增 大。这是由于反应温度不仅影响沉淀生成速度，而 且对已形成的晶粒的增长速度也有很大的影响。随 反应温度的升高，晶粒的生成和增长速度都会增大， 且温度越高，晶体颗粒之间的碰撞也越频繁，故晶体 之间的团聚作用也越明显。但温度过低，又不利于 反应的进行。反应体系温度对I T O 粉颗粒粒径的 影响如图3 所示。 图31 1 ’O 粉末粒度与温度的关系 F i g ．3R e l a t i o n s h i pb e t w e e ng r a n u l a r i t ya n dt e m p e r a t u r e 2 ．4 反应时间对I ．r O 粉末粒度的影响 反应时间太短，反应不完全，但反应时间过长， 溶液中的小品粒溶解而大晶粒继续长大，势必导致 I T O 粉发生团聚，制得的纳米粉体粒径变大。反应 时间与颗粒粒度之间的关系如图4 所示。 E 专 图4I T O 粉末粒度与时间的关系 F i g ．4R e l a t i o n s h i pb e t w e e ng r a n u l a r i t y a n dr e t e n t i o nt i m e 2 ．5 分散剂对r r o 粉末粒度的影响 分散剂的作用是使粉末颗粒超细化。控制晶体 的晶相和形貌，改善粉末的特性。由对比试验结果 可知，当不使用超声波时，加入分散剂后，使所得 I T O 粉末的粒径减小，而且能保证在老化过程中，颗 粒不再长大。试验中使用的分散剂为1 l O T w e e n 一 8 0 ，用量为2 m L 。当使用超声波时，使用分散剂的 作用不明显，为了减少污染和降低成本，选用超声波 而不添加任何分散荆。 2 ．6I n 3 浓度对I T O 粉末粒度和回收率的影响 I n 3 浓度 c a 对产物的粒子尺寸大小及分布有 很大的影响。当物料浓度很低时，由于晶核生长速 度高于成核速度，使得粒子尺寸较大；当物料浓度较 高时，反应瞬间晶核形成速度较快，由于成核速度明 显高于晶核生长速度，使得粒子尺寸较小，而当物料 浓度过高时，由于粒子密度高，B r o w n 运动使得粒子 由于相互碰撞而长大。同时团聚现象加重。试验结 果表明，物料溶液的浓度控制在4 5 ～1 6 0 9 ／L ，可以 获得较细的I T O 粉末，尤其控制在8 0 ～1 0 0 9 ／L 效 果更加理想。在颗粒粒径变化允许的范围内，应尽 量增大I n 3 的浓度，因为I n 3 浓度越低，产物的回 收率 就越低，不利于实际应用。试验结果分别见 图5 和图6 。 图5I T O 粉末粒度与I n 3 浓度的关系 F i g ．5R e l a t i o n s h i pb e t w e e ng r a n u l a r i t ya n d I n 3 c o n e n t r i t i o n 图6 前驱体回收率与I n 3 浓度的关系 F i g ．6R e l a t i o n s h i pb e t w e e nr e c o v e r yr a t ea n d I n 3 e o n e n t r i t i o n 万方数据 1 4有色金属 第6 0 卷 2 ．7 氨水浓度对I T O 粉末粒度和回收率的影响 由试验结果可知，当I n 3 浓度一定时，随着氨 水浓度的增大，I T O 粉颗粒粒径呈减小趋势。当氨 水浓度增加到一定值时，溶液强烈带胶性，生成胶 体。不利于过滤，见图7 。当I n 3 浓度比较高时，滴 加低浓度的氨水，反应时间延长，I T O 前驱体颗粒粒 径变大，较易过滤，回收率相当高，而滴加高浓度的 氨水，反应时间虽短，但反应不彻底。试验中I n 3 浓度为9 3 ．1 9 ／L ，随着氨水浓度的增大，I T O 粉颗粒 粒径呈减小趋势，I T O 粉回收率相对降低，见图8 。 E 专 C ／ m o l L ’1 图7I T O 粉末粒度与氨水浓度的关系 F i g ．7R e l a t i o n s h i pb e t w e e ng r a n u l a r i t ya n d a m m o n i ac o h e n t r i t i o n 1 1 9 0 舯 7 0 C ] m o l ‘L - ’ 图8 前驱体回收率与氨水浓度的关系 F i g ．8R e l a t i o n s h i pb e t w e e nr e c o v e r yr a t ea n d a m m o n i ac o n e n t r i t i o n 2 ．8 纳米I T O 粉末样品及前驱体的表征 2 ．8 ．1纳米I T O 粉前驱体T G D T A 及T G ．D S C 表 征。未经热处理的I T O 粉前驱体主要是铟锡氢氧 化物，图9 是I T O 粉前驱体的T G D T A 分析曲线和 T G ．D S C 分析曲线。D S C 曲线在7 5 ℃及1 2 0 ℃附近 有两个吸热峰，对应的T G 值有较大失重，此为I T O 前驱体表面弱吸附水及有机试剂的脱附，2 6 3 ℃左右 处有一个大的吸热峰，对应的T G 曲线有失重台阶， 这是强化学键合水的脱附。D S C 曲线随即出现一 个放热峰，对应的T G 值无明显失重，表明此时发生 了晶型转变。两个图出现的峰和失重曲线相似，由 此为制定前驱体热处理制度提供了理论依据。 a 一T G ．D T A 图； b 一T G ．D S C 图 图9I T O 粉前驱体T G ．D T A 图和T G ．D S C 图[ 1 6 】 F i g ．9T h e r m a la n a l y s i sr e s u ko fI T Op r e c u r s o rw i t hT G - D T Aa n dT G D S C 2 ．8 ．2 纳米I T O 粉末X R D 表征。为掌握I T O 粉 末的晶形和组成变化情况，对超声分散处理和未超 声分散处理的纳米I T O 粉末进行X R D 分析，X 射 线衍射图谱如图1 0 所示。 2 ．8 ．3 纳米I T O 粉末及前驱体铟锡氢氧化物的 T E M 和S E M 表征。从S E M 图片可观察到纳米 I T O 粉末晶粒大小形貌和粒径分布。图1 1 为未经 超声波分散的I T O 粉末及前驱体铟锡氢氧化物的 S E M 图。由图l l 可见，未经超声波分散的I T O 粉 末及前驱体铟锡氢氧化物的团聚厉害，颗粒较粗，且 分散性不好。经超声波分散的I T O 粉末的T E M 图 如图1 2 所示。从图1 2 可看出。纳米I T O 粉末颗粒 呈球状，团聚少、分散性好，I n 2 0 3 S n 0 2 质量 9 I ，平均粒径为2 0 r i m ，比表面积为4 1 ．0 6 m ／g 。 万方数据 第1 期 宋宁等超声波一化学共沉淀法制备纳米I T O 粉 1 5 一一一一一 心』加支d 是贼- 2 0 ／ 5 a 一超声处理； b 一未处理 图1 0 超声处理和未处理的纳米I T O 粉末X R D 图 F i g ．1 0X R Dp a t t e r n so fI T On a n o p o w d e ru l t r a s o n i cp r o c e s s e da n du n t r e a t e d a 一I T O 粉末； b 一I T O 前驱体 图l l 无超声分散的I T O 粉末S E M 图 F i g ．11S E Mp a t t e r no fu n t r e a t e dI T On a n o p o w d e r 图1 2 经超声分散的I T O 粉的T E M 图 F i g ．1 2 T E Mp a t t e r no fu l t r a s o n i cp r o c e s s e d I T On a n o p o w d c r 参考文献 3结论 ．0 0 I 以硫酸铟、硫酸锡金属盐为原料，氨水作为 沉淀剂，用无水乙醇对样品作后处理，超声化学共沉 淀法制备粒径最小的纳米I T O 粉体，随p H 减小，反 应温度升高，氨水浓度降低，反应时间延长，生成的 纳米I T O 粉粒径增大。I n 3 浓度过低，沉淀离子长 得较大，I n 3 浓度过高，沉淀形成非常迅速，胶体粒 子易聚成大颗粒，不易分散。加入分散剂能使所得 I T O 粉末的粒径减小。最佳反应条件为I n 3 浓度 1 6 0 9 ／L ，氨水浓度 4 0 0 9 ／L ，反应温度6 0 - - 7 5 ℃， 反应终点p H 值6 ．8 ～8 ．0 ，超声波分散5 ～3 0 m i n ， 剧烈搅拌，缓慢滴定。 2 产品纳米I T O 粉末样品纯度高，平均粒径 2 0 n m 1 5 m 2 儋 ，颜色为浅绿色。 3 I T O 粉的回收率随着I n 3 浓度和氨水浓度 的增大而提高。 4 用超声波分散的纳米I T O 粉末与不用超声 波分散的纳米I T O 粉末微粒尺寸相比粒径较小，且 分散性明显要好，粒径分布更窄。 【1 ] 何小虎，韦莉．铟锡氧化物及其应用[ J ] ．稀有金属与硬质合金，2 0 0 3 ，3 1 4 5 1 5 7 [ 2 ] 吕志伟，姚吉升，陈志飞．纳米I T O 粉体的制备技术及其应用[ J ] ．有色矿冶，2 0 0 3 ，1 9 5 4 0 4 2 ． [ 3 ] 刘吉平，廖莉玲．无机纳米材料[ M ] ．北京科学出版社，2 0 0 3 1 3 3 ． [ 4 ] 高濂，李蔚．纳米陶瓷[ M ] ．北京化学工业出版社，2 0 0 1 1 9 ． [ 5 ] 张维佳，王天民，糜碧，等．纳米I T O 粉末及高密度I T O 靶制备工艺的研究现状[ J ] ．稀有金属材料与工程，2 0 0 4 ，3 3 5 4 4 9 4 5 3 [ 6 ] 李风光，郭丽荣，刘东平，等．化学液相共沉淀制备纳米级I n 2 0 3 S n O z ／／兔q * [ J ] ．粉末冶金工业，1 9 9 9 ，9 3 2 2 2 4 [ 7 ] 李风光，刘东平，邓培，等．纳米级球形I n 2 0 3 s 吗 粉末的制备及性能研究[ J ] ．稀有金属与硬质合金，1 9 9 9 ，1 3 8 9 1 5 1 7 ． [ 8 ] 高愈尊，李永洪，张泰宋．称铟锡氧化物纳米粉的显微结构[ J ] ．中国有色金属学报，1 9 9 8 ，8 2 2 7 8 2 8 1 万方数据 1 6 ’ 有色金属 第6 0 卷 [ 9 ] K i mBC ，K i mJJ ，C h a n gSH ．S y n t h e s i so fc u b i ca n dr h o m b o h e d r a lp h a s e dn a n o c r y s t a l l i n eS n 0 2d o p e dI n 2 0 3 [ I T O ] p o w d e r s w i t hc o p r e c i p i t a t i o nm e t h o d [ J ] ．M a tR e sS o c ，2 0 0 0 ， 5 8 1 2 7 3 2 ． [ 1 0 ] 温俊杰，李荐．超声波强化冶金过程研究进展[ J ] ．四川有色金属，2 0 0 2 ， 4 1 7 2 0 ． [ 1 1 ] D a b i nY u ，D e h a oW a n g ，J a nL u ，e ta 1 ．P r e p a r a t i o no fc o r u n d u l T ls t r u c t u r eS n d o p e dI n 2 0 3n a n o p a r t i e l e sv i ac o n t r o l l e d c o p r e c i p i t a t i n ga n dp o s t a r m e a l i n gr o u t e [ J ] ．I n o r g a n i cC h e m i s t r yC o m m u n i c a t i o n s ，2 0 0 2 ，5 7 4 7 5 4 7 7 ． [ 1 2 ] S h u - G u a n gC h e n ，C h e n - H u iL i ，w e i ．H a oX i o n g ，e ta 1 ．P r e p a r a t i o no fi n d i u m t i no x i d e I T O a c i c u l a eb ya n o v dc o n c e n t r a ‘ t i o n - p r e c i p i t a t i o na n dp O S t ．c a l c i n a t i o nm e t h o d [ J ] ．M a t e r i a l sL e t t e r s ，2 0 0 4 ，5 8 3 ／4 2 9 4 2 9 8 ． [ 1 3 ] H u a ．R u iX u ，G u i - S h e n gZ h u ，H u a i ．Y i n gZ h o u ，e ta 1 ．P r e p a r a t i o no fm o n o d i s p e r s e dt i n d o p e di n d i u mo x i d en a n o p o w d e r sl I I l - d e rm o d e r a t ec o n d i t i o n s [ J ] ．M a t e r i a l sL e t t e r s2 0 0 5 ，5 9 1 1 9 2 1 ． [ 1 4 ] C h o iH L ，P a r kC ．E f f e c to fu l t r a s o n i ct r e a t m e n to nr i p e n i n go ft i t a n i u mo x a l a t es a l tf r o ma o l u r i o n [ J ] ．TM a t tS e i ，1 9 9 9 ，3 4 1 5 3 5 9 1 3 5 9 6 ． [ 1 5 ] 陈彩风，陈志刚．超声场中湿法制备氧化铝纳米粉[ J ] ．江苏大学学报，2 0 0 3 ，2 4 1 7 9 8 2 ． [ 1 6 ] 周洪庆，吕军华，沈晓冬，等．I T O 纳米粉制备及表面修饰研究[ J ] ．南京工业大学学报，2 0 0 4 ，2 6 4 2 7 3 0 ． P r e p a r a t i o no fI n d i u mT i nO x i d eN a n o m e t e rP o w d e r sb yU l t r a s o n i cC o - p r e c i p i t a t i o nM e t h o d S O N GN i n g 。D A IY o n g - n i a n ，Z H O N GX i a o - l i n ，J I A N GH o n g - w e i ，D E N GY o u a n F a c u l t yo fM a t e r i a l sa n dM e t a l l u r g i c a lE n g i n e e r i n g ，K u n m i n gU n i v e r s i t yo fS c i e n c e a n dT e c h n o l o g y ，K u n m i n g6 5 0 0 9 3 ，C h i n a A b s t r a e t T h en a n o m e t e rp o w d e r so fI n d i u mT i nO x i d e I T O a r ep r e p a r e dw i t hI n 2 S 0 4 3a n dS n s 0 4 2a sr a w m a t e r i a l sb ya nu l t r a s o n i cc o - p r e c i p i t a t i o nm e t h o d ．A n dt h eI T On a n o m e t e rp o w d e r sa r ec h a r a c t e r i z e db yu s i n g T E M 。S E Ma n dX R D ．U n d e rt h eo p t i m a lc o n d i t i o no fr e a c t i n gt e m p e r a t u r eo f6 0 ～7 5 ℃，I n 3 c o n c e n t r a t i o n 1 6 0 9 ／L 。a m m o n i aw a t e rd o s a g e 4 0 0 9 ／L ，a n dp Hv a l u eo f6 ．8 ～8 ，t h eI T Op o w d e r sw i t hc u b l i cs t r u c t u r e ， w e l ld i s t r i b u t i o n ，f i n e rd i s p e r s i n gi nm a t r i x ，I n 2 0 3 S n 0 2 m a s s 9 l ，t h em e a ng r a i ns i z ei s 1 5 m 2 ／ga r eo b t a i n e d ． K e y w o r d s m a t e r i a ls y n t h e s i sa n dw o r k i n gt e c h n o l o g y ；I T On a n o m e t e rp o w d e r s ；C O p r e c i p i t a t i o n ；u l t r a - s o n i c 万方数据