沈阳富创精密设备股份有限公司集成电路装备零部件精密制造数字化升级改造项目环境影响报告.docx

192 一、建设项目基本情况 建设项目名称 沈阳富创精密设备股份有限公司 集成电路装备零部件精密制造数字化升级改造项目 项目代码 2112-210112-04-02-862194 建设单位联系人 张雷 联系方式 19997878969 建设地点 辽宁省沈阳市浑南区飞云路18-5号 地理坐标 （123度28分1.520，41度43分10.890秒） 国民经济 行业类别 C3562半导体器件专用设备制造 建设项目 行业类别 三十二、专用设备制造业-70、电子和电工机械专用设备制造-其他（仅分割、焊接、组装的除外；年用非溶剂型低VOCs含量涂料10吨以下的除外） 建设性质 新建（迁建） 改建 R扩建 技术改造 建设项目 申报情形 R首次申报项目 不予批准后再次申报项目 超五年重新审核项目 重大变动重新报批项目 项目审批（核准/ 备案）部门（选填） 沈阳市浑南区工业和信息化局 项目审批（核准/备案）文号 （选填） 浑南工信备案【2021】32号 总投资（万元） 6000 环保投资 （万元） 36.5 环保投资占比（） 0.61 施工工期 15个月 是否开工建设 R否 是 用地（用海） 面积（m2） 0 专项评价设置情况 无 规划情况 沈阳市中心城区高新区单元（编码GNGX）控制性详细规划沈政【2019】80号 规划环境影响 评价情况 无 规划及规划环境影响评价符合性分析 1、沈阳市中心城区高新区单元（编码GNGX）控制性详细规划符合性 表1-1 本项目与沈阳市中心城区高新区单元（编码GNGX）控制性详细规划符合性分析一览表 编号 文件要求 符合情况 1 1、 规划范围东至富民南街，南至三环高速，西至沈营大街，北至远航西路，单元面积约8.8平方公里。 二、规划定位高新区单元是集高新技术产业、行政办公、生活居住、研发孵化于一体的产城融合发展的综合型功能区。 本项目在沈阳市中心城区高新区单元内，属于建设项目环境影响评价分类管理名录（2021年版）三十二、专用设备制造业-70、电子和电工机械专用设备制造-其他（仅分割、焊接、组装的除外；年用非溶剂型低VOCs含量涂料10吨以下的除外）类别。 2 三、用地布局居住用地为二类居住用地，主要分布在汇泉路及白塔堡河两侧。公共管理与公共服务设施用地包括行政办公用地、文化设施用地及宗教用地，主要分布在世纪路和金辉街两侧。商业服务业设施用地主要分布在世纪路和金辉街两侧。工业用地为一类工业用地，主要分布在沿三环路北侧、飞云路两侧及世纪路北、新成街两侧。绿地与广场用地主要为白塔堡河两侧公园绿地及市政设施、道路的防护绿地。 本项目位于辽宁省沈阳市浑南新区飞云路18-5号，用地性质为工业用地，本项目属于建设项目环境影响评价分类管理名录（2021年版）三十二、专用设备制造业-70、电子和电工机械专用设备制造-其他（仅分割、焊接、组装的除外；年用非溶剂型低VOCs含量涂料10吨以下的除外）类别，各类污染物有效处理，对居住和公共设施等方面基本无干扰，本项目严格依法办理环评手续，本项目属于允许类项目。 根据上述分析可知，本项目符合沈阳市中心城区高新区单元（编码GNGX）控制性详细规划要求。 其他符合性分析 1、“三线一单”相符性分析 （1）本项目“三线一单”符合性分析 根据关于以改善环境质量为核心加强环境影响评价管理的通知的要求，切实加强环境影响评价管理，落实“生态保护红线、环境质量底线、资源利用上线和环境准入负面清单”（以下简称“三线一单”）约束，更好地发挥环评制度从源头防范环境污染和生态破坏的作用，加快推进改善环境质量。 本项目“三线一单”符合性分析详见表1-2。 表1-2 本项目与“三线一单”符合性分析一览表 “三线一单”要求 本项目情况 符合情况 生态保护 红线 本项目位于辽宁省沈阳市浑南新区飞云路18-5号，不在沈阳市生态保护红线范围内，不在浑南区生态保护红线范围内。 符合 环境质量 底线 项目环境空气质量数据选取2021年沈阳市环境质量状况公报，环境空气六项污染物中PM2.5年平均浓度均不能满足环境空气质量标准（GB 3095-2012）中二级标准，项目所在区域为不达标区。本项目严格落实环评中提出的环保设施和措施，使各项污染物均能连续稳定达标排放。厂界东侧及南侧声环境质量符合声环境质量标准（GB 3096-2008）中4a类标准的要求；厂界西侧及北侧声环境质量符合声环境质量标准（GB 3096-2008）中2类标准的要求。本项目严格落实声环境环保措施，如密闭厂房，设备基础减震等，使设备噪声对周围贡献值很小，因此项目建成后对环境影响可接受，符合环境质量底线要求。 符合 资源利用 上线 本项目运营过程中消耗一定量的电能源、水能源，资源消耗量相对区域资源利用总量较少；项目建设土地不涉及基本农田，土地资源消耗符合要求。本项目生产废水经场内污水处理系统处理后通过市政管网排入浑南新城桃仙污水处理厂；因此项目符合资源利用上限要求。 符合 环境准入 负面清单 参考国家发改委、商务部制定的市场准入负面清单，国家工信部发布的淘汰落后产能公告，环保部会同国务院有关部门指定的“高污染、高环境风险”产品名录，本项目不在其中；本项目不属于沈阳市建设项目环境准入限制政策目录（2021年版）中范围，本项目不属于高污染、高能耗和资源型的产业类型。因此本项目应为环境准入允许类别。 符合 根据上述分析可知，本项目符合“三线一单”要求。 （2）沈阳市人民政府关于实施“三线一单”生态环境分区管控的意见（沈政发【2021】10号）符合性 表1-3 本项目与沈阳市人民政府关于实施“三线一单”生态环境分区管控的意见符合性分析一览表 序号 文件要求 本项目情况 符合情况 1 （一）严格落实生态环境准入要求。“三线一单”成果应用是推动产业绿色发展、高质量发展的重要支撑。市生态环境局负责发布环境管控单元生态环境准入清单，各区、县（市）政府和有关部门要严格落实生态环境准入要求，将生态环境分区管控成果应用于城市开发建设、资源利用、生态环境要素管理、环境监管与执法、规划环评审查和建设项目环评审批等工作。 本项目位于辽宁省沈阳市浑南新区飞云路18-5号，用地性质为工业用地，管控单元编码为ZH21011220026，位于浑南区环境重点管控单元（大气环境受体敏感重点管控区），不在沈阳市生态保护红线范围内，不在浑南区生态保护红线范围内；参考国家发改委、商务部制定的市场准入负面清单，国家工信部发布的淘汰落后产能公告，环保部会同国务院有关部门指定的“高污染、高环境风险”产品名录，本项目不在其中；本项目不属于沈阳市建设项目环境准入限制政策目录（2021年版）中范围，本项目不属于高污染、高能耗和资源型的产业类型。因此本项目应为环境准入允许类别。 符合 （3）沈阳市生态环境准入清单（2021年版）符合性 沈阳市生态环境准入清单（2021年版）是基于“三线一单”编制成果，以生态保护红线、环境质量底线、资源利用上线为约束，立足沈阳城市战略定位，严格落实法律法规及国家与地方标准，从空间布局约束、污染物排放管控、环境风险防控、资源利用效率四个方面提出的生态环境准入要求。根据查询可知，本项目选址所在地环境管控单元编码为ZH21011220026，属于重点管控单元（大气环境受体敏感重点管控区）。本项目与沈阳市生态环境准入清单（2021年版）符合性分析详见表1-4。 表1-4 本项目与沈阳市生态环境准入清单（2021年版）符合性分析一览表 沈阳市生态环境准入清单（2021年版） 要求 本项目情况 符合情况 空间布局约束 （1）建设项目必须符合国家和辽宁省相关行业产业政策，符合国家产业结构调整指导目录（2019年本）和沈阳市建设项目环境准入限制政策目录（2021年版）相关要求，禁止淘汰类和限制类的项目准入； （2）不予批准城市建成区、地级市及以上城市规划区除热电联产以外的燃煤发电项目和大气污染防治重点控制区除“上大压小”和热电联产以外的燃煤发电项目。 （3）新建燃煤发电项目原则上应采用60万千瓦以上超超临界机组，平均供电耗煤低于300克标准煤/千瓦时。 （4）在已经实行清洁能源供热的区域内，不得建设燃煤或生物质燃料锅炉。城市建成区的改建生物质燃料锅炉需满足超低排放要求。 （5）城市建成区原则上不再新建每小时40吨/小时及以下的燃煤锅炉。 本项目符合国家和辽宁省相关行业产业政策，符合国家产业结构调整指导目录（2019年本）和沈阳市建设项目环境准入限制政策目录（2021年版）相关要求，本项目属于允许类项目。本项目不新建燃煤锅炉。 符合 污染物排放管控 （1） 城市建成区内单台容量100吨及以上燃煤锅炉为重点，实行除尘器超低排放升级改造。 （2） 新、改、扩建涉VOCs排放建设项目要严格执行（行业、国家或省级）排放标准，加强无组织排放控制，制定挥发性有机物无组织排放控制标准。 （3）涉VOCs排放企业执行“一厂一策”管理。 本项目不新建燃煤锅炉且不涉及VOCs排放。 符合 环境风险防控 / / / 资源开发效率要求 （1） 将禁燃区内禁止燃用的燃料组合分为I类（一般）、Ⅱ类（较严）和Ⅲ类（严格），Ⅱ类（较严）高污染燃料包括除单台出力大于等于20蒸吨/小时锅炉以外燃用的煤炭及其制品；石油焦、油页岩、原油、重油、渣油、煤焦油。Ⅰ类（一般）高污染燃料包括单台出力小于20蒸吨/小时的锅炉和民用燃煤设备燃用含硫量大于0.5、灰分大于10的煤炭及其制品；石油焦、油页岩、原油、重油、渣油、煤焦油。 （2）在禁燃区内禁止销售、燃用高污染燃料；禁止新、扩建燃用高污染燃料的设施，已建成的高污染燃料设施应当拆除或改用天然气、页岩气、液化石油气、电或者其他清洁能源；禁止直接燃用生物燃料。 本项目预计年新增生产腔体类零部件300套；匀气盘80套；平板类零部件50套；内衬类零部件200套；其他零部件3000个；本项目不涉及锅炉，取暖依托现有中央空调。 符合 2、产业政策符合性 根据产业结构调整指导目录（2019年本），本项目不属于鼓励类、限制类和淘汰类，属于允许类；本项目工艺及所有设备无目录中规定的淘汰类工艺设备；本项目在国家发展改革委和商务部市场准入负面清单（2020年版）中不属于禁止或许可所列事项，属于允许事项。综上所述，本项目符合国家产业政策。 3、与其他现行相关环境管理政策相符性 （1）沈阳市建设项目环境准入限制性政策目录（2021年版）符合性分析 表1-5 本项目与沈阳市建设项目环境准入限制性政策目录（2021年版）符合性分析一览表 文件要求 本项目情况 符合情况 生态保护红线区内禁止新建排污口，排放污水、有毒有害物质或者倾倒固体废弃物；禁止擅自取土、挖砂、采石、开矿；禁止私自挖塘、挖沟、筑坝、开采地下水；生态保护红线区内的现有建成或者在建项目应当控制规模，不得增加污染负荷。 本项目不在生态保护红线区内。 符合 建设项目必须符合国家和辽宁省相关行业产业政策；国家产业结构调整指导目录（2019年修正本）、对于属于淘汰类和限制类的项目，尤其是涉及落后产品和落后生产工艺装备的项目，一律不得审批。建设项目必须符合国家发展改革委和商务部市场准入负面清单（2020年版）、对于禁止准入事项，市场主体不得进入，行政机关不予审批。 本项目属于允许类，且本项目属于先进生产设备工艺的项目，符合国家发展改革委和商务部市场准入负面清单（2020年版）。 符合 在自然保护区的核心区和缓冲区内，不得建设任何生产设施。在自然保护区的实验区内，不得建设污染环境、破坏资源或者景观的生产设施；建设其他项目，其污染物排放不得超过国家和地方规定的污染物排放标准。在自然保护区的实验区内已经建成的设施，其污染物排放超过国家和地方规定的排放标准的，应当限期治理；造成损害的，必须采取补救措施。在自然保护区的外围保护地带建设的项目，不得损害自然保护区内的环境质量；已造成损害的，应当限期治理。 本项目不在自然保护区内。 符合 （2） 辽宁省打赢蓝天保卫战三年行动方案（2018-2020年）（辽政发【2018】31号）相符性分析 表1-6 本项目与辽宁省打赢蓝天保卫战三年行动方案（2018-2020年）符合性分析一览表 文件要求 本项目情况 符合情况 各地区要完成生态保护红线、环境质量底线、资源利用上线、环境准入清单编制工作，严格执行高耗能、高污染和资源型行业准入条件，环境空气质量未达标城市要制定更严格的产业准入门槛。积极推行区域、规划环境影响评价，新、改、扩建钢铁、石化、化工、焦化、建材、有色等项目的环境影响评价，应满足区域、规划环境影响评价要求。 本项目建设区域不涉及生态保护红线。 符合 推进清洁取暖。坚持从实际出发，宜电则电、宜气则气、宜煤则煤、宜热则热，确保北方地区群众安全取暖过冬。严格执行北方地区冬季清洁取暖规划（20172021年），按照由城镇到农村分层次全面推进的总体思路，稳步实施清洁燃煤供暖，有序推进天然气供暖，积极推广电供暖，科学发展热泵供暖，探索推进生物质能供暖，拓展工业余热供暖，加快提高清洁取暖比重，落实低电价电源，保证电力供应。 本项目取暖依托现有中央空调。 符合 严控“两高”行业产能。严控新上“两高”行业项目，严禁新增钢铁、电解铝、水泥和平板玻璃等产能。新、改、扩建涉及大宗物料运输的建设项目，原则上不得采用公路运输。加大落后产能淘汰力度，严格执行质量、环保、能耗、安全等法规标准。严防“地条钢”死灰复燃。严格执行钢铁、水泥、平板玻璃等行业产能置换。 本项目不属于两高企业。 符合 深化工业污染治理。持续推进工业污染源全面达标排放，按照国家部署和相关规范将烟气在线监测数据作为执法依据，加大超标处罚和联合惩戒力度，未达标排放的企业一律依法停产整治。建立覆盖所有固定污染源的企业排放许可制度，2020年底前，完成排污许可管理名录规定的行业许可证核发 项目环评完成后进行排污许可管理名录规定的行业许可证申请与核发。 符合 （3） 与“水十条”相符性分析 表1-7 本项目与“水十条”符合性分析一览表 序号 国务院“水十条” 辽宁省“水十条” 本项目情况 符合情况 1 二、（五）调整产业结构。依法淘汰落后产能。自2015年起，各地要依据部分工业行业淘汰落后生产工艺装备和产品指导目录、产业结构调整指导目录及相关行业污染物排放标准结合水质改善要求及产业发展情况制定并实施分年度的落后产能淘汰方案，报工业和信息化部、环境保护部备案。 三、（二）1.依法淘汰落后产能。依据部分工业行业淘汰落后生产工艺装备和产品指导目录、产业结构调整指导目录及相关行业污染物排放标准，结合水质改善要求及产业发展情况，按照法制化、市场化原则，制定并实施年度落后产能淘汰方案。 本项目不属于落后产能，属于国家产业政策允许类项目。 符合 2 二、（六）合理确定发展布局、结构和规模。充分考虑水资源、水环境承载能力，以水定城、以水定地、以水定人、以水定产。重大项目原则上布局在优化开发区和重点开发区，并符合城乡规划和土地利用总体规划。鼓励发展节水高效现代农业、低耗水高新技术产业以及生态保护型旅游业，严格控制缺水地区、水污染严重地区和敏感区域高耗水、高污染行业发展，新建、改建、扩建重点行业建设项目实行主要污染物排放减量置换。推动污染企业退出。城帀建成区内现有钢铁、有色金属、造纸、印染、原料药制造、化工等污染较重的企业应有序搬迁改造或依法关闭。 三、（二）3.优化产业空间布局。重大项目原则上布局在优化开发区和重点开发区，并符合城乡规划和土地利用总体规划。鼓励发展节水高效现代农业、低耗水高新技术产业以及生态保护型旅游业，严格控制缺水地区、水污染严重地区和敏感区域高耗水、高污染行业发展，新建、改建、扩建重点行业建设项目实行主要污染物排放减量置换。 本项目选址合理，不属于产能过剩项目，不属于高能耗、高污染行业。 符合 3 二、（七）加强工业水循环利用。推进矿井水综合利用，煤炭矿区的补充用水、周边地区生产和生态用水应优先使用矿井水，加强洗煤废水循环利用。鼓励钢铁、纺织印染、造纸、石油石化、化工、制革等高耗水企业废水深度处理回用。 三、（二）4.推进循环发展。加强清洁生产审核。加强工业水循环利用。推进矿井水综合利用，煤炭矿区补充用水、周边地区生产和生态用水优先使用矿井水，加快洗煤废水循环利用，并在沈煤集团等重点企业开展试点。达标的建筑施工排水优先用于生态补水。鼓励钢铁、纺织印染、造纸、石油石化、化工、制革等高耗水企业废水深度处理回用，不断提高中水回用率，提高水循环利用率。 本项目运营期生产废水经污水管道收集后排入二期污水处理系统处理；处理后的生产废水通过污水管道经厂内废水总排口外排，再通过市政管网排入浑南新城桃仙污水处理厂处理，最终沿沈抚运河排入北沙河；水帘循环水、原子层沉积设备自带水罐用水循环使用，不外排；均有效处置。 符合 （4）沈阳市大气污染防治条例（2019修正）符合性 表1-8 本项目与沈阳市大气污染防治条例（2019修正）符合性分析一览表 序号 文件要求 本项目情况 符合情况 1 高污染燃料禁燃区内，禁止销售、燃用高污染燃料；禁止新建、扩建燃用高污染燃料的设施。现有燃用高污染燃料的设施应当在规定的期限内逐步停止使用或者改用天然气、液化石油气、管道煤气、电等清洁能源。 本项目取暖依托现有中央空调。 符合 2 市人民政府应当依据国土空间总体规划组织编制供热专项规划或者热电发展规划，鼓励大型热电联产项目和大型区域热源项目建设，推进热电联产和集中供热。集中供热管网未覆盖的区域，应当因地制宜优先选用清洁能源供热。 3 市人民政府应当制定民用散煤替代和补贴政策，推广使用太阳能、风能、电能、燃气、沼气、地热能等清洁能源。市和区、县（市）人民政府应当采取措施，推广使用洁净型煤、优质煤炭和民用清洁燃烧炉具。 （5）沈阳市水污染防治条例（2012修正）符合性 表1-9 本项目与沈阳市水污染防治条例（2012修正） 符合性分析一览表 序号 文件要求 本项目情况 符合 情况 1 禁止向地表水体及其保护区排放、倾倒下列物质（一）工业废渣、城市垃圾和其他废弃物；（二）油类、酸液、碱液或者剧毒废液；（三）放射性固体废弃物或者含有高放射性和中放射性物质的废水；（四）含有汞、镉、砷、铬、铅、氰化物、黄磷等的可溶性剧毒废渣；（五）经消毒处理，未达到国家排放标准的含病原体的污水；（六）其他污染地表水体的物质。 本项目运营期生产废水经污水管道收集后排入二期污水处理系统处理；处理后的生产废水通过污水管道经厂内废水总排口外排，再通过市政管网排入浑南新城桃仙污水处理厂处理，最终沿沈抚运河排入北沙河；水帘循环水、原子层沉积设备自带水罐用水循环使用，不外排；均有效处置。 符合 2 市和区、县（市）人民政府应当通过合理规划，推动生态工业园区建设，鼓励和引导符合新型工业化要求的工业企业入驻园区，严格控制审批新建、改建、扩建新增水污染物的工业建设项目。 本项目位于辽宁省沈阳市浑南新区飞云路18-5号，利用原有厂房，不新增用地，不在工业园区；本项目按要求申请总量。 符合 3 排入城市排水管网并进入污水集中处理设施进行处理的污水，应当符合污水集中处理设施的进水水质标准要求；有下列情形之一的，应当进行预处理，并达到规定的标准（一）排放含有毒有害水污染物名录内的污染物；（二）医疗卫生机构产生的含有病原体的污水；（三）含有难以生物降解有机污染物的废水；（四）可能影响公共污水处理设施正常运行的废水。 本项目运营期生产废水经污水管道收集后排入二期污水处理系统处理；处理后的生产废水通过污水管道经厂内废水总排口外排，再通过市政管网排入浑南新城桃仙污水处理厂处理，最终沿沈抚运河排入北沙河；水帘循环水、原子层沉积设备自带水罐用水循环使用，不外排；均有效处置。 符合 （6）沈阳市噪声污染防治条例（2019修正）符合性 表1-10 本项目与沈阳市噪声污染防治条例（2019修正）符合性分析一览表 序号 文件要求 本项目情况 符合情况 1 从事工业生产的单位和个人，应当对生产设施合理布局，采取隔声、消声、减震等环境噪声污染防治措施，减轻环境噪声对周围生活环境的影响。 本项目已对生产设施合理布局均在厂房内摆放，并采取隔声、消声、减震等环境噪声污染防治措施。 符合 2 在城市范围内设置工业设施或者从事机械加工金属、石材、木材等工业生产活动，产生的环境噪声，不得超过国家规定的工业企业厂界环境噪声排放标准。 本项目位于辽宁省沈阳市浑南新区飞云路18-5号；使用低噪声设备、厂房隔音等措施，厂界东侧及南侧声环境质量符合声环境质量标准（GB 3096-2008）中4a类标准的要求；厂界西侧及北侧声环境质量符合声环境质量标准（GB 3096-2008）中2类标准的要求。 符合 （7）选址可行性分析 本项目选址于辽宁省沈阳市浑南新区飞云路18-5号，用地性质为工业用地，利用沈阳富创精密设备股份有限公司现有生产厂房，项目无新增用地，项目所在地东侧紧邻新岛街，东侧隔路为通用电气发电部件（沈阳）有限公司，南侧为辽宁通信服务有限公司，南侧隔飞云路为红塔沈阳工业有限公司，西侧为沈阳芯源微电子设备有限公司，北侧中国科学院沈阳自动化研究所南区及沈阳富创精密设备股份有限公司后院厂房。本项目最近敏感点为东北侧260m的隔白塔堡河的中华园小区，本项目废气污染物均经过环保设施有效处理后达标排放，不会对其造成影响。本项目为加强环境管理，方便后续环境管控，确定后续以整厂厂界为单位进行环境管控。 厂界外500米范围内无国家、省、市级自然保护区及重点文物保护对象，无自然保护区、风景名胜区、集中水源地保护区等特殊敏感区，无重要旅游景点。本项目符合沈阳市中心城区高新区单元（编码GNGX）控制性详细规划的要求。大气环境满足环境空气质量标准（GB 3095-2012）中二级标准要求，厂界东侧及南侧声环境质量满足声环境质量标准（GB 3096-2008）中4a类标准的要求；厂界西侧及北侧声环境质量满足声环境质量标准（GB 3096-2008）中2类标准的要求，在严格落实本报告表提出的污染防治措施，并保证各项污染物稳定达标排放前提下，项目选址合理。 113 二、建设项目工程分析 建 设 内 容 1、建设内容及规模 本项目位于辽宁省沈阳市浑南新区飞云路18-5号，用地性质为工业用地，利用沈阳富创精密设备股份有限公司现有生产厂房，总占地面积36116.04m2，总建筑面积7182.69m2，项目中心坐标为东经12328′1.520″，北纬4143′10.890″。 本项目在公司全厂原有的智能制造软件基础上，购置MES、PLM、虚拟仿真、UG等软件，对其进行软件的数字化升级改造，并利用现有厂房闲置位置新增抛光、喷砂、悬浮液等离子喷涂、原子层沉积、微弧氧化等设备；在现有机加区新增机加设备；新增一套纯水制备系统；新增实验室设备；通过信息系统和智能装备的协同与集成，实现结构化数据的自动生成，达到设计、生产、管理智能互通，打造集成电路装备零部件精密制造智能化工厂，增加产能（对集成电路装备核心零部件精密制造智能工厂环境影响报告表（沈环保浑南审字〔2017〕100号）所提及到的机加产品方案进行扩产），预计年新增生产腔体类零部件300套；匀气盘80套；平板类零部件50套；内衬类零部件200套；其他零部件3000个。由于本项目所涉及的建设区域分别分布在A、B、C座厂房内部，较为分散，为方便环境管控及管理，本项目厂界决定按整厂厂界考虑。本项目组成内容见下表2-1。 表2-1 项目组成一览表 类型 名称 主要建设内容 备注 主体工程 机加设备摆放区 依托既有A座生产厂房，位于A座生产厂房中部，本项目占用建筑面积240m2，钢结构，1F 利旧 用于摆放本项目新增机加设备 拟建 喷砂设备摆放区 依托既有B座生产厂房，位于B座生产厂房西北侧，本项目占用建筑面积64m2，钢结构，1F 利旧 用于摆放本项目新增喷砂设备 拟建 原子层沉积设备摆放区 依托既有C座生产厂房，位于C座生产厂房西侧，本项目占用建筑面积193m2，钢结构，1F 利旧 用于摆放本项目新增原子层沉积设备 拟建 微弧氧化设备摆放区 依托既有C座生产厂房左侧局部二层车间，位于C座生产厂房左侧局部二层车间的一层，本项目占用建筑面积74m2，钢结构，1F 利旧 用于摆放本项目新增微弧氧化设备 拟建 抛光设备摆放区 依托既有C座生产厂房，位于C座生产厂房西北侧，本项目占用建筑面积320m2，钢结构，1F 利旧 用于摆放本项目新增抛光设备 拟建 悬浮液等离子喷涂设备摆放区 依托既有C座生产厂房，位于C座生产厂房西北侧，本项目占用建筑面积32m2，钢结构，1F 利旧 用于摆放本项目新增悬浮液等离子喷涂设备 拟建 储运工程 成品库 位于生产车间C座，建筑面积913m2，用于存放成品 依托 原料库 本项目不设置原料库，原料暂存生产车间外标志黄线内存放，即来即加工 依托 化学品 仓库 建筑面积56m2，用于存放原辅料中的化学品 依托 辅助工程 污水 处理站 位于生产车间C座左侧局部二层车间内，内部分为两层一层北侧与南侧为污水处理部分，内设两座污水处理系统，其中本项目所涉及的二期污水处理系统位于一层北侧，主要工艺为化学沉淀法，设计处理能力200m3/d 依托 纯水制备 位于生产车间C座左侧局部二层车间内的二层部分，新增1套纯水制备系统，纯水制备系统终端出水量≥10m3/h（25℃），回收率≥85 拟建 实验室 位于生产车间C座，建筑面积80m2，用于成品检验 依托 一般固废暂存间 依托原有一般固废暂存间，建筑面积70m2 依托 危废 暂存间 依托原有危废暂存间，建筑面积65m2 依托 公用工程 供水 生产用水由市政管网提供 依托 供电 由浑南新区供电局供电管网提供 依托 供热 依托现有中央空调 依托 排水 生产废水经污水管道收集后排入二期污水处理系统处理；处理后的生产废水通过污水管道经厂内废水总排口外排，再通过市政管网排入浑南新城桃仙污水处理厂处理，最终沿沈抚运河排入北沙河 依托 环保工程 废气 有组织 喷砂废气经密闭设备自带集气装置100集气后，通过设备自带旋风布袋除尘器处理后，经过1根15m排气筒（DA013）有组织排放 拟建 喷涂废气经密闭设备自带集气装置100集气后，通过1套脉冲反冲式除尘器处理后，经过1根15m排气筒（DA014）有组织排放 拟建 原子层沉积废气在密闭设备内利用氮气进行吹扫，吹扫出来的废气经设备自带过滤棉及水罐后，经过1根15m排气筒（DA015）有组织排放 拟建 无组织 污水处理加盖密闭，定期喷洒除臭剂，无组织排放；表面抛光废气通过水帘吸收处理及自然沉降后无组织排放 拟建 废水 生产废水经污水管道收集后排入二期污水处理系统处理；处理后的生产废水通过污水管道经厂内废水总排口外排，再通过市政管网排入浑南新城桃仙污水处理厂处理，最终沿沈抚运河排入北沙河 依托 水帘循环水、原子层沉积设备自带水罐用水循环使用不外排 拟建 噪声 低噪声设备，厂房隔声、车间内合理布局、基础减震 拟建 固废 一般工业固体废物 废金属屑 集中收集于一般固废暂存间（依托），外售 / 表面抛光地面沉积灰 定期清扫车间地面，集中收集于一般固废暂存间（依托），外售 / 水帘吸收抛光颗粒物 定期清理，集中收集于一般固废暂存间（依托），外售 / 回收砂料 回用于喷砂工序 / 回收喷涂料 回用于悬浮液等离子喷涂工序 / 废石英砂 集中收集于一般固废暂存间（依托），厂家回收 / 废活性炭 / 废过滤器PP滤芯 / 废膜元件 / 废零件 / 废包装 / 危险废物 废切削液 统一收集至危废暂存间（依托），由有资质单位进行处置 / 废过滤棉 / 废微弧氧化液 / 废机油及其油桶 / 污水处理污泥 定期委托有资质单位进行抽吸清掏处置 / 废油抹布 统一收集至危废暂存间（依托），由有资质单位进行处置 / 土壤及 地下水 加强危废间重点防渗（65m2，已做重点防渗）、污水处理站重点防渗（336m2，已做重点防渗）的管理；加强一般固废暂存间一般防渗（70m2，已做一般防渗）的管理；加强厂房及厂区简单防渗（已做简单防渗）的管理 依托 环境风险 加强危废间的管理，加强TMA原料罐的管理；编制突发环境事件应急预案 / 本项目依托可行性分析见下表2-2。 表2-2 依托可行性一览表 类型 名称 主要建设内容 环保手续履行情况 可行性 主体工程 机加设备摆放区 依托既有A座生产厂房，位于A座生产厂房中部，本项目占用建筑面积240m2，本项目所涉及的车间现在为闲置状态，有剩余空间摆放本项目新增设备 集成电路装备核心零部件精密制造智能工厂（沈环保浑南审字〔2017〕100号），已验收 可行 喷砂设备摆放区 依托既有B座生产厂房，位于B座生产厂房西北侧，本项目占用建筑面积64m2，本项目所涉及的车间现在为闲置状态，有剩余空间摆放本项目新增设备 IC装备大型真空零部件制造厂房建设项目（审批意见2005/11/7），已验收（沈环保浑南验字〔2014〕0009号） 可行 原子层沉积设备摆放区 依托既有C座生产厂房，位于C座生产厂房西侧，本项目占用建筑面积193m2，本项目所涉及的车间现在为闲置状态，有剩余空间摆放本项目新增设备 沈阳富创精密设备有限公司建设项目（沈环保浑南审字〔2009〕164号），已验收 可行 微弧氧化设备摆放区 依托既有C座生产厂房左侧局部二层车间，位于C座生产厂房左侧局部二层车间的一层，本项目所涉及的车间现在为闲置状态，有剩余空间摆放本项目新增设备 集成电路装备核心零部件精密制造智能工厂（沈环保浑南审字〔2017〕100号），已验收 可行 抛光设备摆放区 依托既有C座生产厂房，位于C座生产厂房西北侧，本项目占用建筑面积320m2，本本项目所涉及的车间现在为闲置状态，有剩余空间摆放本项目新增设备 沈阳富创精密设备有限公司建设项目（沈环保浑南审字〔2009〕164号），已验收 可行 悬浮液等离子喷涂设备摆放区 依托既有C座生产厂房，位于C座生产厂房西北侧，本项目占用建筑面积32m2，钢结构，1F，本本项目所涉及的车间现在为闲置状态，有剩余空间摆放本项目新增设备 可行 储运工程 成品库 位于生产车间C座，建筑面积913m2，用于存放成品，且存放时间较短，可容纳本项目新增产能 为半导体零部件表面处理及清洗项目（浑环分审字〔2012〕60号）所批，已验收（沈环保浑南验字〔2014〕0009号） 可行 化学品仓库 建筑面积130m2，用于存放原辅料中的化学品，存放量较小，有剩余空间 为集成电路核心零部件精密制造智能工厂扩建项目（沈环浑南审字〔2019〕54号）所批，已验收 可行 辅助工程 污水处理站 污水处理站二期污水处理系统设计处理能力200m3/d，设计去除率约为50。本项目生产废水产生量为0.24m3/d，产生量较小，现根据集成电路装备核心零部件精密制造智能工厂建设项目竣工环境保护验收监测报告全厂废水实测排水量为46.4m3/d，未超过现有设计处理能力，可依托现有污水处理站处理生产废水 污水处理站二期污水处理系统为新建硝酸、氢氟酸储槽及锅炉项目（沈环浑南审字〔2019〕29号）所批，已验收 可行 实验室 位于生产车间C座，建筑面积80m2，用于成品检验，闲置区域较大，可分别摆放本项目所需设备 为半导体零部件表面处理及清洗项目（浑环分审字〔2012〕60号）所批，已验收（沈环保浑南验字〔2014〕0009号） 可行 一般固废暂存间 一般固废暂存间建筑面积为70m2，原有固废占地约40m2，剩余30m2，本项目需要10m2，满足本项目使用 为半导体零部件表面处理及清洗项目（浑环分审字〔2012〕60号）所批，已验收（沈环保浑南验字〔2014〕0009号） 可行 危废暂存间 危废暂存间建筑面积为65m2，原有危废占地约30m2，剩余35m2，本项目需要10m2，满足本项目使用 为集成电路核心零部件精密制造智能工厂扩建项目（沈环浑南审字〔2019〕54号）所批，已验收 可行 2、项目主要构筑物 本项目构筑物情况见下表2-3。 表2-3 项目厂区构筑物情况一览表 序号 项目 占地面积 （m2） 建筑面积 （m2） 楼层数 建筑高度（m） 结构 1 生产车间 36116.04 7182.69 1F（C座左侧含局部二层车间） 8 钢结构 （利旧） 本项目主要设备布设情况 1 机加设备摆放区 / 240 1F 8 钢结构 （厂房利旧，设备拟建） 2 喷砂设备摆放区 / 64 1F 8 钢结构 （厂房利旧，设备拟建） 3 原子层沉积设备摆放区 / 193 1F 8 钢结构 （厂房利旧，设备拟建） 4 微弧氧化设备摆放区 / 74 1F（C座左侧局部二层车间） 4 钢结构 （厂房利旧，设备拟建） 5 抛光设备摆放区 / 320 1F 8 钢结构 （厂房利旧，设备拟建） 6 悬浮液等离子喷涂设备摆放区 / 32 1F 8 钢结构 （厂房利旧，设备拟建） 7 实验设备摆放区 / 80 1F 8 钢结构 （厂房利旧，设备拟建） 8 纯水制备设备摆放区 / 40 2F（C座左侧局部二层车间） 8 钢结构 （厂房利旧，设备拟建） 3、项目生产设备组成 本项目主要生产设备情况见下表2-4。 表2-4 项目主要生产设备一览表 序号 设备名称 规格 新增数量 单位 一、生产设备 1 氦质谱检漏仪 / 1 台 2 普压手动喷砂机 / 3 台 3 加压手动喷砂机 / 1 台 4 倒置金相显微镜 / 1 台 5 尘埃粒子理化分析仪 / 1 台 6 超纯水处理系统 / 1 台 7 多功能集成高真空检测设备 / 1 台 8 硬度计 / 1 台 9 全降膜螺杆式热泵机组 / 2 台 10 车铣复合加工中心 I-800V/8 1 台 11 流体抛光机 / 1 台 12 五轴联动数控抛光机 QG-813 1 台 13 湿式吸尘机 QG-DC-3 1 台 14 微弧氧化电源 RZWH-III-100 1 台 15 微弧氧化槽 / 3 台 16 表处部打磨车间水帘 / 6 台 17 悬浮液等离子喷涂设备 / 1 台 18 原子层沉积设备